專利名稱：機械手以及基板搬送裝置的制作方法
機械手以及基板搬送裝置技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明公開的實施方式涉及機械手以及基板搬送裝置。
背景技術(shù)：
以往，已知用于進行對液晶面板的玻璃基板那樣的基板的搬送以及相對于收納盒 的取出和放入的基板搬送裝置。
所述基板搬送裝置具有機械手，所述機械手具備多個叉，將基板載置于所述叉上 進行搬送。而且，基板搬送裝置將所述叉插入基板的收納盒(下面，記載為“盒”)內(nèi)來進行 基板的取出和放入。
然而，在所述基板的搬送和取出放入時，存在著由于發(fā)生所謂的摩擦帶電或剝離 帶電等而使基板帶有靜電的情況，在所述靜電放電的時候，有可能導(dǎo)致基板元件的損傷等。
因此，近年來，出現(xiàn)了使用靜電除去裝置等除電器對基板進行除電的基板搬送裝 置(例如，參照專利文獻I)。
另外，專利文獻I公開的基板搬送裝置將在機械手的基部設(shè)置的靜電除去裝置所 產(chǎn)生的離子化氣體經(jīng)由沿叉配置的配管從叉上的噴出孔噴出，通過將基板所帶的靜電中和 來進行除電。
專利文獻1:日本特開2000-82732號公報
然而，在現(xiàn)有的基板搬送裝置中，存在如下問題在將離子化氣體經(jīng)由配管導(dǎo)通期 間發(fā)生離子的再結(jié)合，從而無法高效地中和靜電。發(fā)明內(nèi)容
實施方式的一個方式就是鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供能夠高效地對 基板進行除電的機械手和基板搬送裝置。
實施方式的一個方式涉及的機械手具備多個叉、產(chǎn)生部和噴出部。多個叉用于載 置基板。產(chǎn)生部設(shè)于所述叉的內(nèi)部，用于產(chǎn)生離子化的氣體。噴出部用于將由所述產(chǎn)生部 產(chǎn)生的所述氣體噴出。
此外，實施方式的一個方式涉及的基板搬送裝置具有上述機械手。
根據(jù)實施方式的一個方式，能夠高效地對基板進行除電。


圖1是表示包括第一實施方式涉及的機械手和基板搬送裝置的基板搬送系統(tǒng)的 結(jié)構(gòu)例的圖。
圖2是表示第一實施方式涉及的機械手的結(jié)構(gòu)例的圖。
圖3是表示靜電除去裝置的設(shè)置例的圖。
圖4A是蓋的俯視圖。
圖4B是安裝有蓋的叉的第一縱剖視圖。
圖4C是安裝有蓋的叉的第二縱剖視圖。
圖5A是表示叉的第一除電區(qū)域的圖。
圖5B是表示叉的第二除電區(qū)域的圖。
圖6是表示變形例涉及的蓋的圖。
圖7A是表不噴出孔的第一成形例的圖。
圖7B是表示噴出孔的第二成形例的圖。
圖8A是表示離子的第一噴出方向例的圖。
圖8B是表示離子的第二噴出方向例的圖。
圖9A是表示第二實施方式涉及的機械手的結(jié)構(gòu)例的圖。
圖9B是表示第三實施方式涉及的機械手的結(jié)構(gòu)例的圖。
標號說明
1:基板搬送系統(tǒng)；
10 :基板搬送裝置；
11 :升降機構(gòu)；
12 :回轉(zhuǎn)機構(gòu)；
13 :伸縮機構(gòu)；
14 :支承部件；
15、15A、15B :機械手；
16 :基部；
20 :控制器；
30 :盒；
100 :基板；
150 :叉；
150a :螺孔；
151 :吸附部；
152U52A :帽；
152a :安裝部；
152b :連接孔；
152c :噴出孔；
153 :靜電除去裝置；
154、154A、154B :配管；
155 :噴出孔；
155a:空氣積存部；
156 :開口部；
157 :蓋；
200 :螺釘。
具體實施方式
下面，參照附圖詳細說明本申請公開的機械手和基板搬送裝置的實施方式。另外，本發(fā)明不受下面所示的實施方式限定。
(第一實施方式)
首先，用圖1說明包括第一實施方式涉及的機械手和基板搬送裝置的基板搬送系 統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例。圖1是表示包括第一實施方式涉及的機械手15和基板搬送裝置10的基板搬 送系統(tǒng)I的結(jié)構(gòu)例的圖。
另外，為了便于理解說明，在圖1中圖示了包含以豎直向上為正方向的Z軸的三維 直角坐標系。所述直角坐標系在下面說明所采用的其他附圖中有時也會示出。
如圖1所示，基板搬送系統(tǒng)I具有基板搬送裝置10、控制器20和盒30。
基板搬送裝置10是將呈多層收納在盒30中的基板100 —張一張地取出和放入并 進行搬送的裝置。這里，對基板搬送裝置10的結(jié)構(gòu)例進行說明。
如圖1所示，基板搬送裝置10具有升降機構(gòu)11、回轉(zhuǎn)機構(gòu)12、伸縮機構(gòu)13、支承部 件14、機械手15和基部16。升降機構(gòu)11是支承于基部16的、用于進行沿包含圖中的X軸 和Z軸的XZ平面升降的動作的機構(gòu)，所述基部16固定于地板等。
回轉(zhuǎn)機構(gòu)12是支承于升降機構(gòu)11的、用于進行繞與Z軸平行的旋轉(zhuǎn)軸線回轉(zhuǎn)的 動作的機構(gòu)。伸縮機構(gòu)13是支承于回轉(zhuǎn)機構(gòu)12的、用于進行沿XY平面伸縮的動作的機構(gòu)。 另外，在圖1中圖示了一對伸縮機構(gòu)13，但為了使附圖便于理解，將一個伸縮機構(gòu)13從中途 省略了圖示。
基板搬送裝置10通過這些升降機構(gòu)11、回轉(zhuǎn)機構(gòu)12和伸縮機構(gòu)13構(gòu)成所謂的多 關(guān)節(jié)臂。另外，所述多關(guān)節(jié)臂的各關(guān)節(jié)由未圖示的伺服馬達進行驅(qū)動?？刂破?0是用于保 存所述伺服馬達的指示程序、并按照所述指示程序控制多關(guān)節(jié)臂的動作的控制裝置。
并且，在所述多關(guān)節(jié)臂的末端部經(jīng)由支承部件14安裝有機械手15。
機械手15具有多個板狀的叉150，將基板100載置于所述叉150。另外，叉150由 支承部件14支承，所述支承部件14被支承在伸縮機構(gòu)13的端部(即多關(guān)節(jié)臂的末端部)。 而且，下面，有時將叉150的用于載置基板100的一側(cè)的面記載為“載置面”。
盒30是基板100的收納裝置，以基板100的板面平行地朝向圖中的XY平面的方 式將基板100呈多層地收納于所述盒30。
并且，基板搬送裝置10在從盒30搬出基板100時，以沿著作為搬出對象的基板 100的下表面的方式將叉150插入以多層收納的基板100的間隔中，來載置基板100并將基 板100搬出。
而且，基板搬送裝置10在將基板100向盒30搬入時，在載置有作為搬入對象的基 板100的狀態(tài)下將叉150插入盒30，從而搬入基板100。
下面，利用圖2說明第一實施方式涉及的機械手15的結(jié)構(gòu)例。圖2是表不第一實 施方式涉及的機械手的結(jié)構(gòu)例的圖。另外，在圖2中示出了從Z軸的正方形觀察到的情況 的俯視圖。
如圖2所示，機械手15具有叉150。另外，如已使用圖1說明了的，機械手15具備 多個叉150，但在下面，僅對其中一個叉圖示說明。
叉150具備吸附部151、帽152、靜電除去裝置153、配管154和噴出孔155。
吸附部151是包括由彈性材料構(gòu)成的吸附墊的部件，在叉150載置基板100時，所 述吸附部151利用空氣的抽吸力等吸附基板100。通過所述吸附部151，既能夠緩沖基板100，又能夠?qū)⒒?00穩(wěn)定地載置到叉150。
另外，在圖2中，示出了在叉150的末端部附近設(shè)有一個吸附部151的例子，但并 不限定于此，當(dāng)然也可以在一個叉150的多個位置設(shè)置多個吸附部151。
帽152是用于將中空的叉150的末端部封閉的保護部件。在帽152可以設(shè)置用于 將后述的配管154與噴出孔155連接起來的連接孔。對于這一點在后面利用圖4A 圖4C 進行敘述。
靜電除去裝置153是用于產(chǎn)生離子化氣體(下面，為了方便而記載為“離子”)的所 謂的離子的產(chǎn)生部。而且，靜電除去裝置153將產(chǎn)生的離子向后述的配管154送出。另外， 如在圖2中用虛線示出的那樣，靜電除去裝置153設(shè)于叉150的內(nèi)部。
在此，用圖3對靜電除去裝置153的設(shè)置例進行敘述。圖3是表示靜電除去裝置 153的設(shè)置例的圖。
如圖3所示，靜電除去裝置153設(shè)于叉150的內(nèi)部。此時，靜電除去裝置153例如 通過預(yù)先設(shè)于叉150的開口部156而設(shè)于叉150的內(nèi)部。
另外，靜電除去裝置153例如由螺釘200等通過在叉150的載置面貫穿設(shè)置的螺 孔150a進行固定。而且，開口部156的蓋157例如通過使用螺釘?shù)穆莺?、或基于嵌合形?的嵌合等而固定。
由此，能夠容易地進行靜電除去裝置153的安裝和更換之類的維護作業(yè)。另外，在 圖2和圖3中，示出了在后述的噴出孔155的附近設(shè)有一個靜電除去裝置153的例子，但并 不限定于此，也可以與噴出孔155的配置位置等對應(yīng)地在一個叉150設(shè)置多個靜電除去裝 置 153。
回到圖2的說明，對配管154進行說明。配管154是用于將從靜電除去裝置153 送出的離子向后述的噴出孔155導(dǎo)通的導(dǎo)通管。另外，配管154可以采用導(dǎo)管那樣的硬質(zhì) 材料、軟管那樣的軟質(zhì)材料中的任意一種。在本實施方式中，配管154采用輕量且容易取回 的軟質(zhì)材料。
噴出孔155貫通叉150的外殼設(shè)置，是用于將靜電除去裝置153產(chǎn)生的尚子噴出 的所謂的噴出部。所述噴出孔155至少設(shè)于叉150的末端部附近。另外，對于在所述末端 部附近設(shè)置的優(yōu)點在后面使用圖5A和圖5B敘述。
而且，如圖2所示，噴出孔155設(shè)于吸附部151的附近。由此，能夠?qū)σ蚺c基板100 接觸而容易發(fā)生剝離帶電等的吸附部151的附近重點地進行除電。
此時，以重點朝向吸附部151噴出離子的方式成形噴出孔155的形狀。對于這一 點在后面利用圖7A和圖7B進行敘述。
而且，優(yōu)選的是，如圖2所示，上述的靜電除去裝置153設(shè)于所述噴出孔155的附 近。由此，能夠?qū)涔?54在內(nèi)的離子導(dǎo)通路徑形成得較短，因此能夠抑制離子的再結(jié) 合，能夠聞效地進行基板100的除電。
另外，在圖2中，示出了在叉150的末端部附近并列設(shè)置兩個噴出孔155的例子， 但并不限定噴出孔155的個數(shù)和配置位置。
而且，在圖2中，示出了從叉150的末端部沿圖中的X軸依次配置噴出孔155、吸附 部151和靜電除去裝置153的例子，但并不限定為所述配置順序。例如，根據(jù)靜電除去裝置 153的尺寸、配管154的取回容易度和叉150的厚度等機械要素的各種條件，采取適當(dāng)?shù)呐渲庙樞蚣纯伞?br> 接著，用圖4A對用圖2表示的帽152的詳細情況進行說明。圖4A是帽152的俯視圖。另外，在圖4A中表示的是從Z軸的正方向觀察帽152時的俯視圖。
如圖4A所示，帽152具有安裝部152a和連接孔152b。安裝部152a是相當(dāng)于與配管154連接的連接器的部件(參照圖中的箭頭)。
連接孔152b將配管154和噴出孔155 (參照圖2)連接起來，形成離子的導(dǎo)通路徑。在此，對于這一點使用圖4B和圖4C進一步詳細說明。
圖4B是安裝有帽152的叉150的第一縱剖視圖，圖4C是安裝有帽152的叉150 的第二縱剖視圖。另外，在圖4B和圖4C中表示的是從Y軸的正方向觀察叉150時的縱剖視圖。
如圖4B所示，帽152與配管154連接且安裝到中空的叉150的末端部，由此，形成了在配管154導(dǎo)通的離子朝向噴出孔155的導(dǎo)通路徑。
此時，如圖4B所示，連接孔152b形成為例如在從Y軸的正方向觀察時呈L字形狀， 由此，能夠從在叉150的載置面?zhèn)仍O(shè)置的噴出孔155向噴出方向301噴出離子。
即，在將帽152安裝到叉150的情況下，連接孔152b設(shè)于與叉150的噴出孔155 連接的位置。
而且，如圖4C所示，也可以將連接孔152b形成為例如從Y軸的正方向觀察時呈T 字形狀。在該情況下，能夠從在叉150的載置面?zhèn)仍O(shè)置的噴出孔155向噴出方向301噴出離子，同時，從在叉150的載置面的對置面?zhèn)仍O(shè)置的噴出孔155向噴出方向302噴出離子。
這樣，通過將連接孔152b設(shè)置于帽152，從而能夠容易地一并進行對中空的叉150 的末端部的保護和所產(chǎn)生的離子的導(dǎo)通路徑的形成。即，能夠使叉150的組裝和維護作業(yè)等效率化。
接著，對于在叉150的末端部附近設(shè)置噴出孔155的優(yōu)點使用圖5A和圖5B說明。 圖5A是表示叉150的第一除電區(qū)域的圖，圖5B是表示叉150的第二除電區(qū)域的圖。
另外，圖5A對應(yīng)于將圖4B所示的帽152安裝在叉150的末端部的情況，圖5B對應(yīng)于將圖4C所示的帽152安裝在叉150的末端部的情況。
并且，在圖5A和圖5B簡要地示出了在盒30收納有三張基板100的情況。
如圖5A所示，將收納于盒30的中層的基板100作為搬出對象，將叉150沿所述中層的基板100的下表面插入盒30。
此時，如圖5A所示，一邊從叉150的末端部附近的噴出孔155 (參照圖4B)向噴出方向301噴出離子，一邊將叉150插入，由此能夠?qū)π本€所示的區(qū)域401進行除電。S卩，能夠?qū)ψ鳛榘岢鰧ο蟮闹袑拥幕?00的下表面整個區(qū)域高效地進行除電。
而且，如圖5B所示，一邊從兩個方向的噴出孔155 (參照圖4C)分別向噴出方向 301和噴出方向302噴出離子，一邊將叉150插入，由此能夠?qū)^(qū)域401和區(qū)域402 —起進行除電。即，不僅是作為搬出對象的中層的基板100的下表面整個區(qū)域，而且對于下層的基板100的上表面整個區(qū)域也一并能夠高效地進行除電。
另外，如圖5B所示，例如，在中層的基板100與叉150的距離比下層的基板100與叉150的距離長的情況下，也可以使向噴出方向302噴出的離子的風(fēng)量相對較大。圖5B中的表示噴出方向302的箭頭比表示噴出方向301的箭頭相對地長，即表示了這一點。另外，風(fēng)量的調(diào)節(jié)并不特別限定方法，例如也可以通過噴出孔155的直徑的大小來進行調(diào)節(jié)。
而且，圖5A和圖5B舉例示出了將基板100搬出的情況，但在將基板100搬入的情況下當(dāng)然也能夠得到同樣的優(yōu)點。
另外，至此對將噴出孔155設(shè)于叉150的情況進行了敘述，但噴出孔155也可以設(shè)置在帽152。因此，對于所述變形例使用圖6進行說明。
圖6是表示變形例涉及的帽152A的圖。另外，在圖6中示出了從Y軸的正方向觀察到的情況。
如圖6所示，變形例涉及的帽152A具備連接孔152b和噴出孔152c。通過將帽 152A安裝于叉150的末端部，從而將連接孔152b與配管154連接起來。
并且，噴出孔152c將通過配管154導(dǎo)通到連接孔152b的離子噴出。即，根據(jù)所述帽152A，在叉150的末端部附近不必設(shè)置噴出孔155就能夠噴出離子，因此能夠使叉150的加工作業(yè)等效率化。
接著，使用圖7A和圖7B對以使離子重點朝向上述的吸附部151噴出的方式成形噴出孔155的形狀的情況進行說明。圖7A是表示噴出孔155的第一成形例的圖，圖7B是表示噴出孔155的第二成形例的圖。另外，在圖7A和圖7B中，省略了帽152的圖示，僅示出了連接孔152b。
如圖7A所示，噴出孔155以使離子向朝著吸附部151的噴出方向303噴出的方式斜著成形。此時，將連接孔152b成形為與所述噴出孔155的成形對應(yīng)的形狀即可。例如， 圖7A示出了呈銳角折回的形狀的連接孔152b。
由此，能夠?qū)σ蚺c基板100接觸而容易發(fā)生剝離帶電等的吸附部151的附近重點地進行除電。
而且，也可以將噴出孔155成形為，在吸附部151與基板100接觸的前后使離子的噴出方向變化的形狀。
例如，如圖7B所示，也可以以具有空氣積存部155a的方式成形噴出孔155。另外， 圖7B在上部示出了吸附部151與基板100接觸前的情況，并在下部示出了吸附部151與基板100接觸后的情況。
在該情況下，如圖7B的上部所示，在吸附部151與基板100接觸之前，離子朝向沿著Z軸的噴出方向301噴出。即，在吸附部151與基板100接觸之前，能夠以遍及基板100 的下表面整體的方式噴出離子。
而且，如圖7B的下部所示，在吸附部151與基板100接觸之后，離子沿空氣積存部 155a對流(參照圖中的噴出方向304)。即，在吸附部151與基板100接觸之后，能夠重點對基板100的下表面中吸附部151的附近噴出離子。
由此，能夠根據(jù)基板100相對于叉150的放置狀況高效地進行除電。
另外，到此為止，列舉在叉150的末端部附近并列設(shè)置兩個噴出孔155的情況為例進行了說明。并且，在上述的圖2的說明中，敘述了對所述噴出孔155的個數(shù)和配置位置并不限定。
與所述噴出孔155的個數(shù)和配置位置相關(guān)地，對于離子的噴出方向也不限定。因此，利用圖8A和圖8B對所述尚子的噴出方向進行說明。
圖8A是表示離子的第一噴出方向例的圖，圖8B是表示離子的第二噴出方向例的圖。另外，在圖8A和圖8B中，都與圖7A和圖7B所示的情況同樣地，示出了重點朝向吸附 部151噴出離子的例子。而且，沿吸附部151的周緣配置有四個噴出孔155。
如圖8A所示，噴出孔155可以設(shè)置成，分別沿朝著吸附部151的中心點P的噴出 方向305噴出尚子。
而且，也可以是不朝向吸附部151的中心點P，而是如圖SB的噴出方向306所示， 以使離子沿吸附部151的周緣對流這樣的形狀設(shè)置噴出孔155。該方式可以成形為通過例 如使噴出孔155和連接孔152b (參照圖4A等)一起彎曲而成的導(dǎo)通管來對應(yīng)。
由此，能夠?qū)σ蚺c基板100接觸而容易發(fā)生剝離帶電等的吸附部151的附近重點 地進行除電。
如上所述，第一實施方式涉及的機械手具備多個叉、作為產(chǎn)生部的靜電除去裝置 和作為噴出部的噴出孔。多個叉用于載置基板。靜電除去裝置設(shè)于叉的內(nèi)部，用于產(chǎn)生離 子化的氣體。噴出孔用于將由產(chǎn)生部產(chǎn)生的氣體噴出。
因此，根據(jù)第一實施方式涉及的機械手，能夠高效地對基板進行除電。
(第二實施方式)
下面，利用圖9A說明第二實施方式涉及的機械手15A的結(jié)構(gòu)例。圖9A是表示第 二實施方式涉及的機械手15A的結(jié)構(gòu)例的圖。
另外，第二實施方式涉及的機械手15A與第一實施方式涉及的機械手15主要是配 管的結(jié)構(gòu)不同，因此在圖9A中僅示出與該配管相關(guān)的構(gòu)成要素，而省略其他構(gòu)成要素的圖 示。而且，對于與第一實施方式涉及的機械手15相同的構(gòu)成要素標以相同的標號。
如圖9A所示，第二實施方式涉及的機械手15A具備配管154A，其從靜電除去裝 置153延伸到叉150的外部；以及噴出孔155，其配置在所述配管154A上。
配管154A露出到叉150的外部，且以沿著叉150的長度方向(即，X軸方向)的方 式設(shè)置。噴出孔155沿所述配管154A配置有一個或多個。
另外，在圖9A中，示出了設(shè)有一對配管154A并在每個配管154A設(shè)有三個噴出孔 155的例子。
由此，能夠與叉150的內(nèi)部結(jié)構(gòu)無關(guān)地將噴出孔155設(shè)在靜電除去裝置153的附 近，即，能夠縮短配管154A，因此能夠抑制離子的再結(jié)合，能夠高效地進行基板100的除電。
而且，由于將配管154A沿叉150的長度方向設(shè)置，因此容易使離子遍及基板100 的整體，能夠高效地進行基板100的除電。
如上所述，第二實施方式涉及的機械手具備多個叉、作為產(chǎn)生部的靜電除去裝置、 配管和作為噴出部的噴出孔。多個叉用于載置基板。靜電除去裝置設(shè)于叉的內(nèi)部，用于產(chǎn) 生離子化的氣體。配管在叉的外部沿長度方向設(shè)置，并對由靜電除去裝置產(chǎn)生的氣體進行 導(dǎo)通。噴出孔用于將由配管導(dǎo)通的氣體噴出。
因此，根據(jù)第二實施方式涉及的機械手，能夠高效地對基板進行除電。
(第三實施方式)
下面，利用圖9B說明第三實施方式涉及的機械手15B的結(jié)構(gòu)例。圖9B是表示第 三實施方式涉及的機械手15B的結(jié)構(gòu)例的圖。
另外，第三實施方式涉及的機械手15B與第二實施方式涉及的機械手15A主要是 噴出孔的配置方向不同，因此在圖9B中僅示出與所述噴出孔相關(guān)的構(gòu)成要素，而省略其他構(gòu)成要素的圖示。而且，對于與第一實施方式涉及的機械手15和第二實施方式涉及的機械手15A相同的構(gòu)成要素標以相同的標號。
如圖9B所示，第三實施方式涉及的機械手15B具備配管154B，其從靜電除去裝置153延伸到叉150的外部；以及噴出孔155，其配置在所述配管154B上。
配管154B露出到叉150的外部，且沿著叉150的短邊方向(B卩，Y軸方向)延伸設(shè)置。噴出孔155沿所述配管154B配置有一個或多個。
另外，在圖9B中，示出了設(shè)有一對配管154B并在每個配管154B沿Y軸方向設(shè)有三個噴出孔155的例子。
由此，能夠與叉150的內(nèi)部結(jié)構(gòu)無關(guān)地將噴出孔155設(shè)在靜電除去裝置153的附近，即，能夠縮短配管154B，因此能夠抑制離子的再結(jié)合，能夠高效地對基板100進行除電。
而且，由于將配管154B沿叉150的短邊方向設(shè)置，因此容易使離子遍及多個叉150 之間。即，由于能夠使離子更容易遍及基板100的整體，因此能夠高效地進行對基板100的除電。
如上所述，第三實施方式涉及的機械手具備多個叉、作為產(chǎn)生部的靜電除去裝置、 配管和作為噴出部的噴出孔。多個叉用于載置基板。靜電除去裝置設(shè)于叉的內(nèi)部，用于產(chǎn)生離子化的氣體。配管在叉的外部沿短邊方向設(shè)置，并對由靜電除去裝置產(chǎn)生的氣體進行導(dǎo)通。噴出孔用于將由配管導(dǎo)通的氣體噴出。
因此，根據(jù)第三實施方式涉及的機械手，能夠高效地對基板進行除電。
另外，在上述的各實施方式中，對使靜電除去裝置所產(chǎn)生的離子通過配管從噴出孔噴出的情況進行了說明，但也可以不通過配管。例如，也可以將靜電除去裝置的離子的輸出口與噴出孔直接連接。而且，也可以采用這樣的閥方式在通常時用閥芯等將噴出孔封閉，借助從靜電除去裝置輸出離子時的壓力將噴出孔打開。
而且，在上述的各實 施方式中，所搬送的基板主要舉出液晶面板的玻璃基板的情況為例進行了說明，但當(dāng)然可以包括半導(dǎo)體晶片等所有的薄板狀基板。
其他效果和變形例能夠由本領(lǐng)域技術(shù)人員容易地導(dǎo)出。由此，本發(fā)明的更為廣泛的方式并不受如上所述地表現(xiàn)和記述的特定的詳細內(nèi)容以及代表性的實施方式限定。因此，能夠不脫離由所附的權(quán)利要求及其等同物所定義的總括性的發(fā)明的概念精神或范圍地進行各種各樣的變更。
權(quán)利要求
1.一種機械手，其特征在于， 所述機械手具備多個叉，所述多個叉用于載置基板；產(chǎn)生部，所述產(chǎn)生部設(shè)于所述叉的內(nèi)部，用于產(chǎn)生離子化的氣體；以及噴出部，所述噴出部用于將由所述產(chǎn)生部產(chǎn)生的所述氣體噴出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機械手，其特征在于， 所述噴出部設(shè)在所述叉的末端部附近的載置所述基板的面?zhèn)取?br> 3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機械手，其特征在于， 所述產(chǎn)生部設(shè)于所述噴出部的附近。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機械手，其特征在于， 所述叉具有在載置所述基板時吸附所述基板的吸附部，所述噴出部設(shè)于所述吸附部的附近。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的機械手，其特征在于， 所述噴出部將所述氣體朝所述吸附部噴出。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機械手，其特征在于， 所述機械手還具備帽，所述帽安裝在所述叉的末端部，所述帽具有連接孔，當(dāng)將所述帽安裝到所述末端部時，所述連接孔將導(dǎo)通管與所述噴出部連接起來，所述導(dǎo)通管對在所述產(chǎn)生部產(chǎn)生的所述氣體進行導(dǎo)通。
7.一種基板搬送裝置，其特征在于， 所述基板搬送裝置具有權(quán)利要求1 6中的任意一項所述的機械手。
全文摘要
本發(fā)明提供機械手和基板搬送裝置，能夠高效地對基板進行除電。為了解決上述課題，構(gòu)成機械手和具備所述機械手的基板搬送裝置，所述機械手具備多個叉、作為產(chǎn)生部的靜電除去裝置和作為噴出部的噴出孔。上述多個叉用于載置基板。上述靜電除去裝置設(shè)于上述叉的內(nèi)部，用于產(chǎn)生離子化的氣體。上述噴出孔用于將由上述靜電除去裝置產(chǎn)生的離子化的氣體噴出。
文檔編號B65G49/06GK103029988SQ20121036394
公開日2013年4月10日 申請日期2012年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月28日
發(fā)明者原田修, 錢景華 申請人:株式會社安川電機