專(zhuān)利名稱(chēng)：剝離裝置及剝離方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種剝離裝置及剝離方法，尤其涉及一種適用于在將粘接劑層的一個(gè)面被隔離片(separator)遮蓋的粘接性薄片粘貼到了被粘接體上的狀態(tài)下，將所述隔離片從粘接劑層剝離的剝離裝置及剝離方法。
背景技術(shù)：
眾所周知，為了使有機(jī)EL基板、顯示面板等板狀或者片狀的工件層疊成一體，將粘接性薄片夾在這些工件之間進(jìn)行粘接。作為所述粘接性薄片，例如采用在一對(duì)呈薄膜狀的隔離片之間夾持粘接劑層而成的基材片，先將其中一個(gè)隔離片剝離而露出的粘接面粘貼到工件上，再將另一個(gè)隔離片剝 離而使粘接面露出，從而能夠在該露出的粘接面上粘合工件。已知，在這樣剝離隔離片時(shí)，通過(guò)將透明膠帶粘貼到隔離片的表面上并拉拽該透明膠帶來(lái)進(jìn)行剝離。但是，每次進(jìn)行剝離時(shí)都要用到透明膠帶的剝離裝置存在這樣的缺點(diǎn)由于必然存在要進(jìn)行廢棄處理的透明膠帶，所以運(yùn)行成本增加而不經(jīng)濟(jì)。于是，提出了可以不用透明膠帶來(lái)進(jìn)行剝離的裝置(例如，參見(jiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。專(zhuān)利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)平7-157187號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)I中所述的剝離裝置這樣構(gòu)成，為了將層壓于基板上的保護(hù)膜剝離，通過(guò)將針(needle)扎入保護(hù)膜，且使支承基板的工作臺(tái)在水平方向上移動(dòng)，從而保護(hù)膜被針勾掛而能夠從基板上剝離。但是，專(zhuān)利文獻(xiàn)I所述的剝離裝置存在這樣的問(wèn)題由于是在保持將針扎入保護(hù)膜的狀態(tài)下進(jìn)行剝離，所以有可能因保護(hù)膜在剝離過(guò)程中撓曲變形等而導(dǎo)致針從保護(hù)膜中拔出，無(wú)法擔(dān)保剝離的可靠性。而這樣的問(wèn)題在保護(hù)膜的剛性高的情況下，或者是在保護(hù)膜極其薄的情況下，會(huì)更加顯著。另外，由于被剝離下來(lái)的保護(hù)膜呈懸吊在針的頂端側(cè)的狀態(tài)，所以必須積極地將其分離。因此，需要向保護(hù)膜的面吹氣使保護(hù)膜從針脫落，會(huì)帶來(lái)膜被吹飛到非意圖的方向的問(wèn)題。而且，由于是直到剝離動(dòng)作的最終階段為止使用針的構(gòu)成，所以存在轉(zhuǎn)移到下一個(gè)剝離動(dòng)作的時(shí)間長(zhǎng)、剝離效率也低的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是著眼于這樣的問(wèn)題而提出來(lái)的，其目的在于，提供一種剝離裝置及剝離方法，在用針形成剝離開(kāi)起始部時(shí)通過(guò)吸附機(jī)構(gòu)對(duì)隔離片進(jìn)行吸附，且在維持該吸附的狀態(tài)下使吸附機(jī)構(gòu)向剝離方向位移而能夠?qū)⒏綦x片從粘接劑層剝離，而且還能夠提高剝離效率。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用了這樣的構(gòu)成。
具體地，一種剝離裝置，在將具有一個(gè)面被隔離片遮蓋的粘接劑層的粘接性薄片粘貼到被粘接體上的狀態(tài)下，將所述隔離片從粘接劑層剝離，其特征在于，包括工作臺(tái)，其對(duì)所述被粘接體進(jìn)行支承；針，其對(duì)所述隔離片的端部從端部的上表面進(jìn)行扎入；支承機(jī)構(gòu)，其對(duì)所述針進(jìn)行可位移地支承，以便在所述隔離片上形成剝離起始部；和吸附機(jī)構(gòu)，其對(duì)所述隔離片進(jìn)行吸附，在通過(guò)所述針來(lái)形成剝離起始部時(shí)利用所述吸附機(jī)構(gòu)對(duì)隔離片賦予吸附力，當(dāng)形成了剝離起始部時(shí)，使所述吸附機(jī)構(gòu)與被粘接體相對(duì)地離開(kāi)，以便能夠?qū)⑺龈綦x片剝離。在本發(fā)明中，采用如下結(jié)構(gòu)所述吸附機(jī)構(gòu)包含與預(yù)定的減壓泵連接的吸附墊來(lái)構(gòu)成，該吸附墊通過(guò)設(shè)置成能夠以第一旋轉(zhuǎn)中心軸和第二旋轉(zhuǎn)中心軸為中心旋轉(zhuǎn)而能夠相對(duì)于被粘接體離開(kāi)或靠近，以所述第二旋轉(zhuǎn)中心軸為中心的吸附墊的旋轉(zhuǎn)半徑比以所述第一旋轉(zhuǎn)中心軸為中心的吸附墊的旋轉(zhuǎn)半徑短。另外，優(yōu)選所述針在俯視來(lái)看通過(guò)所述吸附墊的中心的線(xiàn)上扎入所述隔離片。并且，還可以這樣構(gòu)成所述針通過(guò)X、Y、Z軸驅(qū)動(dòng)裝置而被支承，通過(guò)驅(qū)動(dòng)這些驅(qū)動(dòng)裝置來(lái)進(jìn)行所述扎入及形成剝離起始部的動(dòng)作。另外，也可以采用這樣的結(jié)構(gòu)所述粘接劑層為反應(yīng)性熱熔粘接劑，在粘接性薄片通過(guò)該粘接劑層而粘貼于所述被粘接體上的狀態(tài)下將所述隔離片剝離。并且，本發(fā)明的剝離方法，在將具有一個(gè)面被隔離片遮蓋的粘接劑層的粘接性薄片粘貼到被粘接體上的狀態(tài)下，將所述隔離片從粘接劑層上剝離，其特征在于，包括將所述被粘接體支承在工作臺(tái)上的工序；用針對(duì)所述隔離片的端部從端部的上表面進(jìn)行扎入的工序；當(dāng)所述針扎入隔離片時(shí)，通過(guò)吸附墊對(duì)該隔離片賦予吸附力的工序；使所述針位移，以便在所述隔離片上形成剝離起始部的工序；和在吸附了所述隔離片的狀態(tài)下，使所述吸附墊與被粘接體相對(duì)地離開(kāi)而將所述隔離片從粘接劑層上剝離的工序。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，由于采用了用針形成剝離起始部、通過(guò)吸附機(jī)構(gòu)對(duì)隔離片賦予吸附力且從被粘接體離開(kāi)的結(jié)構(gòu)，所以隔離片在被保持于吸附機(jī)構(gòu)上的狀態(tài)下被剝離。因此，能夠可靠地進(jìn)行隔離片剝離的同時(shí)，還可以將該隔離片有規(guī)律地進(jìn)行回收。并且，由于針被用于剝離的初始動(dòng)作，所以還可以轉(zhuǎn)移到將下一個(gè)隔離片進(jìn)行剝離的動(dòng)作。另外，在采用了將吸附墊設(shè)置成以第二旋轉(zhuǎn)中心軸為中心的旋轉(zhuǎn)半徑比以第一旋轉(zhuǎn)中心軸為中心的旋轉(zhuǎn)半徑短的情況下，通過(guò)以第二旋轉(zhuǎn)中心軸為中心的吸附墊的旋轉(zhuǎn)，可以將基于吸附的初始剝離方向容易地設(shè)定為相對(duì)于隔離片的面傾斜的方向，能夠順利地進(jìn)行剝離阻力最大的初始剝離動(dòng)作。并且，在針以俯視來(lái)看在通過(guò)吸附墊的中心的線(xiàn)上扎入隔離片的結(jié)構(gòu)中，可以使由針將隔離片的端部挑起的力和由吸附墊產(chǎn)生的初始吸附力相互作用，能夠可靠地形成剝離起始部并防患剝離不良于未然。另外，在針借助于X、Y、Z軸驅(qū)動(dòng)裝置而被支承的結(jié)構(gòu)中，通過(guò)使驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)而使針沿著可預(yù)先設(shè)定的移動(dòng)軌跡位移，從而能夠進(jìn)行用針扎入隔離片來(lái)形成剝離起始部的動(dòng)作，因而不需要使工作臺(tái)及被粘接體在平面內(nèi)移動(dòng)就可以進(jìn)行剝離。另外，如果粘接劑層是反應(yīng)性熱熔粘接劑的話(huà)，在隔離片扎入于粘接劑層時(shí)形成的針孔可以在板狀部件的粘合過(guò)程中通過(guò)熔融而被填補(bǔ)，能夠避免發(fā)生板狀部件層疊后在這些板狀部件之間留下氣泡的問(wèn)題。另外，所述反應(yīng)性熱熔粘接劑是指通過(guò)加熱熔融而顯現(xiàn)流動(dòng)性并濡濕被粘接體，但固化反應(yīng)通過(guò)對(duì)熔融狀態(tài)的粘合劑進(jìn)一步施加能量來(lái)進(jìn)行。在本發(fā)明中，所述能量雖然沒(méi)有特別的限制，但作為該能量，可以列舉加熱、活化光照等，從對(duì)被粘接體的影響及生產(chǎn)效率方面來(lái)看，尤其優(yōu)選活化光照。


圖I是本實(shí)施方式的剝離裝置的概要主視圖。圖2是表示剝離對(duì)象的概要立體圖。圖3是表示剝離動(dòng)作開(kāi)始狀態(tài)的主要部分主視圖。圖4是圖I的局部概要俯視圖。圖5是表示形成剝離起始部狀態(tài)的主要部分主視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明10剝離裝置11隔離片IlA剝離起始部12粘接劑層13基板(被粘接體)15工作臺(tái)16 針18支承機(jī)構(gòu)19吸附機(jī)構(gòu)30 X軸馬達(dá)(X軸驅(qū)動(dòng)裝置)31 Z軸馬達(dá)(Z軸驅(qū)動(dòng)裝置)33 Y軸馬達(dá)(Y軸驅(qū)動(dòng)裝置)35吸附墊40輸出軸(第一旋轉(zhuǎn)中心軸)41輸出軸(第二旋轉(zhuǎn)中心軸)
S粘接性薄片
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在圖I中，粘貼裝置10作為這樣的裝置構(gòu)成在將具有一個(gè)面被隔離片11遮蓋的粘接劑層12的粘接性薄片S粘貼到作為被粘接體的基板13上的狀態(tài)下，將所述隔離片11從粘接劑層12上剝離。隔離片11與一般被稱(chēng)之為剝離片的部件實(shí)質(zhì)上是相同的，作為材質(zhì)可以例示聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯等。該隔離片由粘接劑層12側(cè)的面經(jīng)剝離處理后的厚度為1011111 6011111、尤其優(yōu)選為5011111左右的薄膜來(lái)構(gòu)成。另外，粘接劑層12雖然沒(méi)什么特別的限定，但優(yōu)選由反應(yīng)性熱熔粘接劑構(gòu)成，其層厚為10 ii m 40 ii m，尤其優(yōu)選為20 y m左右。在本實(shí)施方式中，如圖2所不，粘接性薄片S在基板13的多處以同等的大小隔著等間隔被粘貼在多處。所述剝離裝置10構(gòu)成為具備對(duì)基板13進(jìn)行支承的工作臺(tái)15 ;在隔離片11的端部上從表面扎入的針16 ;支承機(jī)構(gòu)18，對(duì)所述針16進(jìn)行可位移地支承，以便在隔離片11上形成剝離起始部11A(參見(jiàn)圖5);對(duì)隔離片11進(jìn)行吸附的吸附機(jī)構(gòu)19 ;將被吸附機(jī)構(gòu)19吸附的隔離片11回收的回收機(jī)構(gòu)20 ;以及對(duì)這些機(jī)構(gòu)進(jìn)行整體控制的未予圖示的控制裝置。所述工作臺(tái)15包括位于內(nèi)部的未予圖示的腔室和與該腔室連通地在工作臺(tái)15的上表面開(kāi)口的多個(gè)吸附孔，所述工作臺(tái)15被設(shè)置成通過(guò)與所述腔室連接的未予圖示的減壓泵的驅(qū)動(dòng)，能夠?qū)⒒?3吸附并對(duì)該基板13進(jìn)行固定支承。該工作臺(tái)15被設(shè)成可通過(guò) 位于下表面?zhèn)鹊闹眲?dòng)式馬達(dá)Ml在X軸方向上移動(dòng)。所述針16以從上方扎入隔離片11的端部、且將該端部朝向從粘接劑層12離開(kāi)的上方拉起的方式動(dòng)作，以形成剝離起始部11A。該針16沿著圖I中與紙面正交的方向設(shè)置有多個(gè)，在本實(shí)施方式中采用3根(參見(jiàn)圖4)，它們的上端以能夠通過(guò)調(diào)節(jié)旋鈕24A調(diào)節(jié)突出長(zhǎng)度的狀態(tài)被保持塊24保持。如圖3所示，針16的傾斜角度0被設(shè)定為45° 60°的范圍。這是因?yàn)楫?dāng)小于45°時(shí)，因在隔離片11上打滑而難以扎入該隔離片11中；如果超過(guò)60°的話(huà)，形成剝離起始部IlA時(shí)的阻力過(guò)大。另外，如圖3所示，針16扎入隔離片11的位置優(yōu)選為從隔離片11的端緣離開(kāi)了距離LI的內(nèi)側(cè)，作為L(zhǎng)I可以例示為約1mm。所述支承機(jī)構(gòu)18除了包括對(duì)針16進(jìn)行支承的塊24以外，還包含將該塊24以能夠在圖I中左右方向上移動(dòng)的方式支承的X軸馬達(dá)30 ;將該X軸馬達(dá)30以能夠在上下方向上移動(dòng)的方式支承的Z軸馬達(dá)31 ;和將該Z軸馬達(dá)31以能夠在圖I中與紙面正交的方向(Y軸方向)上移動(dòng)的方式支承的Y軸馬達(dá)33。Y軸馬達(dá)33通過(guò)未予圖示的框架被支承。因此，針16可以在X軸、Y軸及Z軸這三個(gè)彼此正交的軸向上位移。所述吸附機(jī)構(gòu)19包含連接于未予圖示的減壓泵上的吸附墊35來(lái)構(gòu)成。該吸附墊35與所述針16的根數(shù)對(duì)應(yīng)地以3個(gè)為一組被旋轉(zhuǎn)塊37支承(參見(jiàn)圖4)，該旋轉(zhuǎn)塊37可相對(duì)旋轉(zhuǎn)地支承在臂38的自由端側(cè)。臂38能夠通過(guò)馬達(dá)M2在鉛直面內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)塊37能夠通過(guò)設(shè)于臂38的自由端側(cè)的馬達(dá)M3在鉛直面內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。另外，臂38以沿著圖I中與紙面正交的方向成一對(duì)的關(guān)系配置，且所述旋轉(zhuǎn)塊37位于這些臂38的自由端側(cè)之間。本實(shí)施方式中的吸附機(jī)構(gòu)19沿Y軸方向設(shè)有多個(gè)，以各個(gè)吸附機(jī)構(gòu)19分別為與在Y軸方向上排列的每個(gè)隔離片對(duì)應(yīng)的方式構(gòu)成。所述吸附墊35能夠以馬達(dá)M2的輸出軸40為第一旋轉(zhuǎn)中心軸沿圖I中箭頭Al方向旋轉(zhuǎn)。另外，也能夠以所述馬達(dá)M3的輸出軸41為第二旋轉(zhuǎn)中心軸沿箭頭A2方向旋轉(zhuǎn)。由此，能夠使吸附墊35相對(duì)于基板13的上表面離開(kāi)或靠近。另外，以馬達(dá)M3的輸出軸41為中心的吸附墊35的旋轉(zhuǎn)半徑被設(shè)定成比以馬達(dá)M2的輸出軸40為中心的吸附墊35的旋轉(zhuǎn)半徑短。構(gòu)成第二旋轉(zhuǎn)中心軸的輸出軸41的位置被設(shè)成可位于進(jìn)行剝離的隔離片11的面內(nèi)上方，另一方面，構(gòu)成第一旋轉(zhuǎn)中心軸的輸出軸40的位置被設(shè)定在從該隔離片11的上表面間隔開(kāi)的外側(cè)上方。因此，使吸附墊35吸附隔離片11并賦予后述的剝離力時(shí)的剝離方向朝箭頭A2的方向較大地傾斜，從而有效地作用初始的剝離力；另一方面，當(dāng)剝離開(kāi)始以后，進(jìn)行完全剝離時(shí)，通過(guò)使臂38沿箭頭Al方向旋轉(zhuǎn)，從而可以將隔離片11迅速地剝離。此外，如圖3所示，吸附墊35吸附隔離片11的位置處于從隔離片11離開(kāi)了距離L2的內(nèi)側(cè)，作為L(zhǎng)2可以例示約為2_。因此，吸附位置的最靠端緣的位置與針11扎入的位置之間的距離約為1mm。所述回收機(jī)構(gòu)20包括吸附帶45和傳送帶46來(lái)構(gòu)成，當(dāng)所述臂38旋轉(zhuǎn)位移到圖I中雙點(diǎn)劃線(xiàn)所示的位置時(shí)，吸附帶45位于臂28的自由端上方，而傳送帶46位于該吸附帶45的下表面?zhèn)?。吸附?5在將被吸附墊35吸附的隔離片11臨時(shí)吸附的狀態(tài)下，使隔離片11移動(dòng)到傳送帶46側(cè)并將其夾在與該傳送帶46之間，被夾入的隔離片11被回收到設(shè)在傳送方向下游側(cè)的未予圖示的回收箱內(nèi)。此外，在此雖省略了圖示，但在所述臂38的自由端側(cè)設(shè)有輥，當(dāng)臂38位移至圖I中雙點(diǎn)劃線(xiàn)所示的位置時(shí)，將被剝離了的隔離片11夾在該輥與吸附帶45之間。而且，該輥通過(guò)吸附帶45旋轉(zhuǎn)而從動(dòng)旋轉(zhuǎn)，以便將隔離片11切實(shí)地送出到傳送帶46偵U。其次，對(duì)采用了所述剝離裝置10的剝離方法進(jìn)行說(shuō)明。在前工序中，如圖2所示，在基板13的預(yù)定位置上粘貼粘接性薄片S而形成剝離對(duì)象，該剝離對(duì)象被定位在工作臺(tái)15的上表面上。針16例如在圖I中雙點(diǎn)劃線(xiàn)所示的位置待機(jī)，另一方面，吸附墊35在比該圖中實(shí)線(xiàn)所示的位置更靠上方的位置待機(jī)。通過(guò)未予圖示的傳感器檢測(cè)出支承了剝離對(duì)象的工作臺(tái)15借助直動(dòng)馬達(dá)Ml從圖I中右側(cè)移動(dòng)并到達(dá)實(shí)線(xiàn)位置時(shí)，直動(dòng)馬達(dá)Ml便停止驅(qū)動(dòng)，其后轉(zhuǎn)移到剝離動(dòng)作。S卩，構(gòu)成支承機(jī)構(gòu)18的Y軸馬達(dá)33驅(qū)動(dòng)而使Z軸馬達(dá)在Y軸方向上移動(dòng)，使得保持塊24位于與應(yīng)最開(kāi)始進(jìn)行剝離的隔離片11的端部對(duì)應(yīng)的位置。隨后，驅(qū)動(dòng)X軸馬達(dá)30和Z軸馬達(dá)31，使保持塊24從圖I中雙點(diǎn)劃線(xiàn)所示的位置位移到實(shí)線(xiàn)所示的位置，從而使針16扎入到隔離片U。其扎入的深度除了設(shè)定成針16的頂端到達(dá)粘接劑層12的位置，也可以限定為不到達(dá)粘接劑層12的深度。當(dāng)針16扎入隔離片11時(shí)，在吸附墊35 —直旋轉(zhuǎn)位移到與隔離片11接觸的位置且賦予了吸附力的狀態(tài)下，使吸附墊35位移到例如約Imm左右上方。該位移通過(guò)驅(qū)動(dòng)第二馬達(dá)M3使旋轉(zhuǎn)塊37旋轉(zhuǎn)來(lái)進(jìn)行。此時(shí)，針16與吸附墊35的相對(duì)位置如圖4所示為針16從俯視來(lái)看位于通過(guò)吸附墊35中心的線(xiàn)上。在此狀態(tài)下，通過(guò)將針16從圖5中雙點(diǎn)劃線(xiàn)位置(初始扎入位置)位移到該圖中實(shí)線(xiàn)所示位置，從而對(duì)隔離片11的端部賦予朝上方翹起的力，并與吸附墊35—邊賦予吸附力一邊位移到上方約Imm的動(dòng)作相互作用，形成剝離起始部IIA0此外，所述吸附墊35的吸附力是由減壓泵的減壓而產(chǎn)生的。一旦像這樣形成剝離起始部11A，則對(duì)吸附墊35進(jìn)行保持的旋轉(zhuǎn)塊37沿圖I中箭頭A2朝右向旋轉(zhuǎn)，同時(shí)針16朝該圖中左側(cè)后退，從而隔離片11通過(guò)吸附墊35沿該方向剝離，針16的頂端從隔離片11拔出。而且，通過(guò)臂38沿箭頭Al方向朝右向旋轉(zhuǎn)，從而隔離片11從粘接劑層12上完全剝離。此時(shí)，工作臺(tái)13處于保持靜止位置的狀態(tài)。本實(shí)施方式中的針16采用了 3根，與此對(duì)應(yīng)的各吸附墊35分別進(jìn)行同樣的動(dòng)作。因此，隔離片11在寬度方向(Y軸方向)上的多處受到剝離力，從而能夠進(jìn)行與隔離片11、的寬度相對(duì)應(yīng)的剝離。當(dāng)所述臂38旋轉(zhuǎn)位移到圖I中雙點(diǎn)劃線(xiàn)所示的位置時(shí)，通過(guò)吸附墊35的吸附而被完全剝離了的隔離片11被吸附帶45所吸附。此時(shí)，吸附墊35通過(guò)壓力恢復(fù)等來(lái)解除該吸附，由此，隔離片11在被吸附帶45吸附的狀態(tài)下被傳送至傳送帶46側(cè)，在吸附帶45與該傳送帶46之間夾有隔離片11的狀態(tài)下，將由吸附帶45產(chǎn)生的吸附解除，隔離片11被傳送到傳送方向下游側(cè)，最后被回收到未予圖示的回收箱中。如果像這樣一張隔離片11被剝離，則針16就朝Y軸方向移動(dòng)，與對(duì)第一張隔離片11進(jìn)行了剝離的吸附機(jī)構(gòu)19相鄰的吸附機(jī)構(gòu)19接著工作，通過(guò)該吸附機(jī)構(gòu)19與針16相互作用并重復(fù)進(jìn)行同樣的動(dòng)作，從而將下一個(gè)隔離片11剝離。而且，當(dāng)沿Y軸方向的第一排的隔離片11全部被剝離時(shí)，工作臺(tái)15朝圖I中左側(cè)移動(dòng)并使下一排的隔離片11位于剝離位置，之后重復(fù)同樣的剝離。因此，根據(jù)這樣的實(shí)施方式，由于采用了在通過(guò)針16形成剝離起始部IlA的同時(shí)用吸附墊35將隔離片11剝離的結(jié)構(gòu)，所以能夠得到切實(shí)地將該隔離片11剝離的效果。通過(guò)上述的記載公開(kāi)了用于實(shí)施本發(fā)明的最佳構(gòu)成和方法等，但本發(fā)明并不限于此。也就是說(shuō)，本發(fā)明雖然主要是對(duì)特定的實(shí)施方式進(jìn)行了特別的圖示和說(shuō)明，但本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以在不脫離本發(fā)明的技術(shù)思想和目的范圍的情況下，對(duì)以上所說(shuō)明的實(shí)施方式，在形狀、材料、數(shù)量及其他詳細(xì)的構(gòu)成等方面進(jìn)行各種變更。因此，由于上述公開(kāi)的對(duì)形狀等進(jìn)行了限定的記載是為了易于理解本發(fā)明所作的示例性的記載，而并不是限定本發(fā)明，所以使用去掉了其形狀等限定的一部分或者全部限定的部件名稱(chēng)進(jìn)行的記載是包含在本發(fā)明中的。例如，在上述實(shí)施方式中，對(duì)在Y軸方向設(shè)置了多個(gè)具有3個(gè)為I組的吸附墊35的吸附機(jī)構(gòu)19的情形做了圖示和說(shuō)明，然而也可以只設(shè)置一個(gè)吸附機(jī)構(gòu)，將其設(shè)置成能夠在Y軸方向上移動(dòng)。只是，如果采用上述結(jié)構(gòu)的話(huà)，當(dāng)進(jìn)行使被剝離的隔離片11移動(dòng)到回收機(jī)構(gòu)20側(cè)的動(dòng)作時(shí)，由于能夠通過(guò)相鄰的吸附機(jī)構(gòu)來(lái)進(jìn)行將下一個(gè)隔離片11剝離的動(dòng)作，所以在縮短剝離處理時(shí)間上更加有利。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然就在一個(gè)基板13上粘貼有多張粘接性薄片S的對(duì)象進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以適用于從粘貼有一張粘接性薄片S的基板上將隔離片11剝離的結(jié) 構(gòu)。并且，針16和吸附墊35的數(shù)量只要是相互對(duì)應(yīng)的數(shù)量即可，增加或者減少均無(wú)妨?？偠灾?，本發(fā)明只要根據(jù)隔離片11的寬度來(lái)決定針16和吸附墊35的使用數(shù)就可以。另外，也可以采用這樣的結(jié)構(gòu)，在所述工作臺(tái)15上設(shè)置升降機(jī)構(gòu)，使該工作臺(tái)15下降并相對(duì)地針16和吸附墊35間隔開(kāi)。
權(quán)利要求
1.一種剝離裝置，在將具有一個(gè)面被隔離片遮蓋的粘接劑層的粘接性薄片粘貼到被粘接體上的狀態(tài)下，將所述隔離片從粘接劑層剝離，其特征在于，包括 工作臺(tái)，其對(duì)所述被粘接體進(jìn)行支承； 針，其對(duì)所述隔離片的端部從端部的上表面進(jìn)行扎入； 支承機(jī)構(gòu)，其對(duì)所述針進(jìn)行可位移地支承，以便在所述隔離片上形成剝離起始部；和 吸附機(jī)構(gòu)，其對(duì)所述隔離片進(jìn)行吸附， 在通過(guò)所述針來(lái)形成剝離起始部時(shí)利用所述吸附機(jī)構(gòu)對(duì)隔離片賦予吸附力，當(dāng)形成了剝離起始部時(shí)，使所述吸附機(jī)構(gòu)與被粘接體相對(duì)地離開(kāi)，以便能夠?qū)⑺龈綦x片剝離。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的剝離裝置，其特征在于， 所述吸附機(jī)構(gòu)包含與預(yù)定的減壓泵連接的吸附墊來(lái)構(gòu)成，該吸附墊通過(guò)設(shè)置成能夠以第一旋轉(zhuǎn)中心軸和第二旋轉(zhuǎn)中心軸為中心旋轉(zhuǎn)而能夠相對(duì)于被粘接體離開(kāi)或靠近，以所述第二旋轉(zhuǎn)中心軸為中心的吸附墊的旋轉(zhuǎn)半徑比以所述第一旋轉(zhuǎn)中心軸為中心的吸附墊的旋轉(zhuǎn)半徑短。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的剝離裝置，其特征在于， 所述針在俯視來(lái)看通過(guò)所述吸附墊的中心的線(xiàn)上扎入所述隔離片。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的剝離裝置，其特征在于， 所述針通過(guò)X、Y、Z軸驅(qū)動(dòng)裝置而被支承，通過(guò)驅(qū)動(dòng)這些驅(qū)動(dòng)裝置來(lái)進(jìn)行所述扎入及形成剝離起始部的動(dòng)作。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中的任一項(xiàng)所述的剝離裝置，其特征在于， 所述粘接劑層為反應(yīng)性熱熔粘接劑，在粘接性薄片通過(guò)該粘接劑層而粘貼于所述被粘接體上的狀態(tài)下將所述隔離片剝離。
6.—種剝離方法，在將具有一個(gè)面被隔離片遮蓋的粘接劑層的粘接性薄片粘貼到被粘接體上的狀態(tài)下，將所述隔離片從粘接劑層上剝離，其特征在于，包括 將所述被粘接體支承在工作臺(tái)上的工序； 用針對(duì)所述隔離片的端部從端部的上表面進(jìn)行扎入的工序； 當(dāng)所述針扎入隔離片時(shí)，通過(guò)吸附墊對(duì)該隔離片賦予吸附力的工序； 使所述針位移，以便在所述隔離片上形成剝離起始部的工序；和 當(dāng)形成剝離起始部時(shí)對(duì)所述隔離片賦予了吸附力的狀態(tài)下，使所述吸附墊與被粘接體相對(duì)地離開(kāi)而將所述隔離片從粘接劑層上剝離的工序。
全文摘要
一種剝離裝置(10)，在將粘接性薄片(S)粘貼到基板(13)上的狀態(tài)下，將隔離片(11)從粘接劑層(12)上剝離，該裝置包括對(duì)基板(13)進(jìn)行支承的工作臺(tái)(15)；從上表面扎入隔離片(11)的針(16)；使該針(16)位移而形成剝離起始部(11A)的支承機(jī)構(gòu)(18)；以及將隔離片(11)吸附的吸附墊(35)。在形成剝離起始部(11A)時(shí)，吸附墊(35)對(duì)隔離片(11)賦予吸附力，在形成了剝離起始部(11A)的狀態(tài)下使吸附墊(35)向從基板離開(kāi)的方向旋轉(zhuǎn)，從而能夠?qū)⒏綦x片(11)剝離。
文檔編號(hào)B65H41/00GK102666333SQ20108004788
公開(kāi)日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2010年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月22日
發(fā)明者遠(yuǎn)藤幸一郎 申請(qǐng)人:三鍵株式會(huì)社