專利名稱：基板運送裝置以及基板運送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于單張運送例如半導(dǎo)體晶片及平板顯示器用玻璃 板等的基板的基板運送裝置以M板運送方法。
本發(fā)明基于2006年9月11日在日本提出申請的特愿2006-246134 號而主張優(yōu)先權(quán)，并在此引用其內(nèi)容。
背景技術(shù)：
在設(shè)置在制造半導(dǎo)體裝置的工廠及制造液晶裝置、PDP、 EL裝置等的 平板顯示器的工廠等的基板運送裝置中，運送半導(dǎo)體晶片及玻璃板等的基 板且使用裝載器或機械手臂等在薄膜形成裝置、蝕刻裝置、試驗裝置等的 各種處理裝置和運送經(jīng)路之間進行基板的交接。在這樣的基板運送裝置 中，基板一般是在收納在能夠收納多張基板的盒中的狀態(tài)下進行運送的。
于是，近年隨著液晶電視等的平板顯示器的大畫面化等而將基板大型 化。因此，使收納基板的盒等也大型化、重量化，隨之使運送速度降低， 其結(jié)果例如導(dǎo)致制品庫存的增大等，難以進行高效率地運送。
因此，高速地一張張地運送基板的單張運送受到關(guān)注(參照專利文獻1)。
專利文獻l:特開平9-58844號/〉報
但是，在單張運送基板時，與借助盒運送時相比增加了運送的個體數(shù)。 因此，為了實現(xiàn)和以往相同或在以往之上的處理速度而必須更高速地運送 基板。
特別是在主輸送器和從該主輸送器水平地分支的分支輸送器之間的 基板的交接速度，在使基板的高速運送實現(xiàn)時變得非常重要。因此，期待 一種使主輸送器和分支輸送器之間的基板的交接速度提升的技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述的問題點而提出的，目的在于使主輸送器和分支輸 送器之間的基板的交接速度提升。
為了達成上述目的，本發(fā)明的基板運送裝置的特征為，具有主輸送器，單張運逸基板；分支輸送器，從上述主輸送器水平地分支；支承部， 在上述主輸送器上以及上述分支輸送器上使上述基板浮起且支承該基板； 基板交接部，在上述主輸送器和上述分支輸送器之間不使姿態(tài)發(fā)生變化地 交接由該支承部浮起支承的上述基板。
根據(jù)該基板運送裝置，！41被支承部浮起支承在主輸送器上以及分支 輸送器上，且在該狀態(tài)下不使姿態(tài)發(fā)生變化地交接基板。
因此，基板在等同于沒有摩擦阻力的狀態(tài)下在主輸送器和分支輸送器 之間被交接。
此外，在本發(fā)明的基板運送裝置中能夠采用如下的構(gòu)成上述基板交 接部具有把持部件，該把持部件把持上述基板的外緣且能夠向上述分支輸 送器的上述M的運送方向移動。
此外，在本發(fā)明的基板運送裝置中能夠采用如下的構(gòu)成上述支承部 使用壓縮空氣使上述基板浮起而支承基板。
接著，本發(fā)明的基板運送方法的特征為，被主輸送器單張運送的基板 在上述主輸送器上被浮起而被支承，在上述主輸送器上浮起而被支承的上
上述主輸送器水平地分支的分支輸送器上。
根據(jù)該基板運送方法，基板在主輸送器上被浮起而被支承，維持該狀 態(tài)而不使姿態(tài)發(fā)生變化地被交接至分支輸送器上。
因此，基板在等同于沒有摩擦阻力的狀態(tài)下被從主輸送器交接至分支 輸送器上。
接著，本發(fā)明的基板運送方法的特征為，在相對于主輸送器水平地分 支的分支輸送器上被浮起而被支承的基板，維持浮起而被支承的狀態(tài)而不 使姿態(tài)發(fā)生變化地被交接至上述主輸送器上。
根據(jù)該基板運送方法，基板在分支輸送器上被浮起而被支承，維持該 狀態(tài)而不使姿態(tài)發(fā)生變化地被交接至主輸送器上。
因此，基板在等同于沒有摩擦阻力的狀態(tài)下被從分支輸送器交接至主 輸送器上。
根據(jù)本發(fā)明，基板在等同于沒有摩擦阻力的狀態(tài)下在主輸送器和分支 輸送器之間被交接。因此，即使在高速化交接速度時也不會產(chǎn)生由于施加 沖擊而導(dǎo)致的基板的損傷。
因此，根據(jù)本發(fā)明，能夠使主輸送器和分支輸送器之間的基板的交接
4速度提升。


圖l是表示本發(fā)明的一實施方式的基板運送裝置的示意圖。
圖2是表示主輸送器的詳細構(gòu)成的圖。
圖3是表示分支輸送器的板交接部的構(gòu)成的圖。
附圖標記說明
P 玻璃板(基板)
1 基板運送裝置
10 主輸送器
12 空氣浮起單元(支承部)
15 輸送部
20 分支輸送器
40 板交接部(J4l交接部)
44 把持部件
具體實施例方式
以下，參照

本發(fā)明的基板運送裝置以;5L^板運送方法的一實 施方式。另夕卜，以下的附圖中，為了令各部件為能夠識別的大小而將各部 件的比例尺進行了適宜地變更。
圖1是表示本實施方式的基板運送裝置1的示意圖。 基板運送裝置l是在制造液晶裝置、PDP、 EL裝置等的平板顯示器的 工廠中一張張地單張運送玻璃板P的裝置，具有主輸送器10、相對于 主輸送器IO在水平面內(nèi)分支的多個分支輸送器20、總括地控制這些的未 圖示的控制部等。
主輸送器IO是水平地栽置玻璃板P且在一定的速度下將其向沿著其 表面的方向運送的裝置，包括利用空氣使玻璃板P浮起而非接觸地支承玻 璃板的空氣浮起單元12 (支承部)和輸送部15等(參照圖2以及圖3)。 即，在本實施方式中，本發(fā)明中的支承部的功能被組裝入主輸送器10的 一部分中。
主輸送器IO被大致直線狀地配置在工廠的清潔室內(nèi)的地板面上。并且，在主輸送器10的多個位置上相對于主輸送器10大致垂直且水平地連 結(jié)有分支輸送器20的一端。
分支輸送器20是與主輸送器10相同地水平地載置玻璃板P且在一定 的速度下將其向沿著其表面的方向運送的裝置，包括空氣浮起單元12和 輸送部15等。即在本實施方式中，本發(fā)明中的支承機構(gòu)的功能也被組裝 入分支輸送器10的一部分中。
進而，分支輸送器20為了將在主輸送器10上運送的玻璃板P交接至 分支輸送器20，或相反地將在分支輸送器20上運送的玻璃板P交接至主 輸送器10，而具有在主輸送器10和分支輸送器20之間進行玻璃板P的 交接的板交接部40 (基板交接部)。
在分支輸送器20的另一端側(cè)上配置/連結(jié)有薄膜形成裝置5、蝕刻裝 置6、試驗裝置7等各種處理裝置。在薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試 驗裝置7等各種處理裝置上分別平行地配置有兩個分支輸送器20。
例如，與薄膜形成裝置5連結(jié)的分支輸送器21、 22(分支輸送器20) 中，分支輸送器21是用于將玻璃板P運入至薄膜形成裝置5中的輸送器， 分支輸送器22是用于將玻璃板P從薄膜形成裝置5中運出的輸送器。
同樣，分支輸送器23、 25 (分支輸送器20)是用于將玻璃板P運入 至蝕刻裝置6、試驗裝置7中的輸送器，分支輸送器24、 26 (分支輸送器 20)是用于將玻璃板P從蝕刻裝置6、試驗裝置7中運出的輸送器。
另外，將玻璃板P運入至各種處理裝置中的分支輸送器21、 23、 25 相對于將玻璃板P從各種處理裝置中運出的分支輸送器22、 24、 26而配 置在主輸送器10的上游側(cè)。
圖2是表示主輸送器10的詳細構(gòu)成的圖。
主輸送器10如上所述，是借助空氣使玻璃板P浮起且將其向水平方 向上的一個方向運送的裝置，包括多個空氣浮起單元12和輸送部15等。
空氣浮起單元12是具有平面狀的上表面的部件，在其上表面(栽置 面)上以大致均等的密度設(shè)置噴出壓縮空氣的多個流體噴出孔13?？諝?浮起單元12被形成為俯視矩形狀，且以其長度方向與玻璃板P的運送方 向一致的方式設(shè)置。此外，空氣浮起單元12的橫向方向(寬度方向)形 成為比玻璃板P的寬度方向(與運送方向垂直的方向)稍窄。
并且，壓縮空氣被從未圖示的壓縮空氣供給裝置供給至空氣浮起單元 12,從而使壓縮空氣從各流體噴出孔13噴出。從而，借助從各流體噴出在空氣浮起單元12上的玻璃板P浮起而能夠 非接觸地支承玻璃板P。
輸送部15具有多個輥16和安裝在該多個輥16周圍的帶17。此外， 在帶17的表面上沿著帶17的長度方向(主輸送器10的運送方向)以均 等的間隔設(shè)置有多個突起18。
輸送部15沿著玻璃板P的運送方向配置在空氣浮起單元12的兩側(cè)。 并且， 一對的輸送部15的配置間隔(距離)與玻璃板P的寬度大致相同。
輸送部15的各輥16的上端以位于同一水平面內(nèi)的方式配置，從而設(shè) 置在帶17的表面上的突起18配置為位于比空氣浮起單元12的上表面稍 稍靠上方的位置。并且，突起18與栽置在空氣浮起單元12上的玻璃板P 的下表面的外緣(寬度方向的兩端側(cè))抵接。
輸送部15的各輥16借助未圖示的馬達等而以同一的旋轉(zhuǎn)速度向同一 方向旋轉(zhuǎn)。從而，能夠借助空氣浮起單元12非接觸地支承玻璃板P且能 夠借助輸送部15沿著空氣浮起單元12運送玻璃板P。
此外，輸送部15構(gòu)成為能夠借助未圖示的升降裝置向上下方向移動。
在借助升降裝置使輸送部15上升時，各突起18位于比空氣浮起單元 12的上表面稍稍靠上方的位置。此時，輸送部15的突起18與玻璃板P 的下表面抵接且能夠運送玻璃板P。
另一方面，在使輸送部15下降時，各突起18位于比空氣浮起單元 12的上表面靠下方的位置。此時，輸送部15 (各突起18)從玻璃板P分 離，玻璃板P處于被完全地非接觸支承在空氣浮起單元12上的狀態(tài)。因
此，只要不對玻璃板P施加外力，玻璃板P就能夠在停止在空氣浮起單元 12上的狀態(tài)下被保持。
并且，主輸送器10構(gòu)成為連結(jié)多個空氣浮起單元12和輸送部15。 即，使各空氣浮起單元12和各輸送部15相互地接近而沿著水平方向并列 配置。此時，各空氣浮起單元12的上表面(載置面)調(diào)整為位于同一水 平面內(nèi)。
圖3是表示分支輸送器20的構(gòu)成的圖。
如該圖所示，分支輸送器2 0與主輸送器10相同地具有空氣浮起單元 12和輸送部15，且如上所述，具有在主輸送器10和分支輸送器20之間 交接玻璃板P的板交接部40。
板交接部40包括一對的線性促動器42、和被各線性促動器42連結(jié)
7驅(qū)動而往復(fù)移動的把持部件44等。 一對的線性促動器42沿著輸送部15 而被平行地配置在分支輸送器20的空氣浮起單元12和輸送部15之間。 此外，板交接部40，各把持部件44能夠在與分支輸送器20的空氣浮起 單元12的上表面大致為同一高度的水平面內(nèi)從分支輸送器20的一端向另 一端側(cè)向分支輸送器20的玻璃板P的運送方向(玻璃板P的寬度方向) 移動與玻璃板P的寬度方向同一長度的量。
并且，在分支輸送器20的空氣浮起單元12的長度方向(玻璃板P 的運送方向)中， 一對的把持部件44被控制為總是位于同一位置。
把持部件44構(gòu)成為，能夠把持玻璃板P的外緣部分，具體而言能夠 把持玻璃板P的寬度方向的一邊附近?？梢越柚奖３植ＡО錚的側(cè)表 面而把持玻璃板P，也可以借助夾持玻璃板P的上表面和下表面而把持玻 璃板P。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，板交接部40，借助一對的把持部件44把持玻璃板 P的外緣，并且借助在分支輸送器20的一端附近的往復(fù)移動而能夠在主 輸送器10和分支輸送器20之間不使姿態(tài)發(fā)生變化地交接玻璃板P。
如此，在本實施方式中，本發(fā)明的基板交接部(板交接部40)被組 裝入至分支輸送器20中。
接著，說明基板運送裝置l的動作(基板運送方法)。
說明將在主輸送器10上運送的玻璃板P交接至分支輸送器20上的情 況(分支輸送器21、 23、 25的動作)。
首先，將壓縮空氣供給到主輸送器10以及分支輸送器20的各空氣浮 起單元12， ^^縮空氣從各流體噴出孔13噴出。此外，驅(qū)動輸送部15， 使各輥16以一定的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)。此時，借助未圖示的升降裝置使各輸 送部15上升。
并且，在主輸送器10的上游側(cè)， 一張張地載置玻璃板P，從而玻璃 板P被單張運送。另外，玻璃板P例如以使其長度方向與運送方向相一致 的方式被載置在主輸送器10上。
若被栽置在主輸送器10上的玻璃板P移動到與分支輸送器20的分支 部分，則板交接部40的把持部件44移動到分支輸送器20的一端，把持 主輸送器10上的玻璃板P的外緣。與此同時，主輸送器10以及分支輸送 器20的輸送部15借助未圖示的升降裝置下降。
并且，使把持部件44沿著分支輸送器20移動，而玻璃板P被從主輸
8送器10上運送至分支輸送器20上。
若玻璃板P被運送至分支輸送器20上，則主輸送器10以及分支輸送 器20的輸送部15借助未圖示的升降裝置再次上升。與此同時，基于板交 接部40的把持部件44的玻璃板P的把持被解除，而玻璃板P被分支輸送 器20向從主輸送器10分離的方向運送。
并且，玻璃板P被分支輸送器20運送而被交接至薄膜形成裝置5、 蝕刻裝置6、試驗裝置7等各種處理裝置中。
被交接至各處理裝置(薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試驗裝置7等) 中的玻璃板P，在各種處理裝置中實施既定的處理之后被向各處理裝置的 外部運出。
如此，在將在主輸送器上被運送的玻璃板P交接至分支輸送器20上 時，玻璃板P在主輸送器10上被浮起而被支承，且維持該狀態(tài)且不使姿 態(tài)發(fā)生變化地將玻璃板P交接至分支輸送器20上。
因此，玻璃板P在等同于沒有摩擦阻力的狀態(tài)下被從主輸送器10交 接至分支輸送器20上。
接著，說明將玻璃板P從分支輸送器20交接至主輸送器10的情況(分 支輸送器22、 24、 26的動作)。
將玻璃板P從分支輸送器20交接至主輸送器10的動作是使將玻璃板 P從主輸送器10交接至分支輸送器20的動作大致反轉(zhuǎn)的動作。
首先，將壓縮空氣供給至主輸送器10以及分支輸送器20的各空氣浮 起單元12，使壓縮空氣從各流體噴出孔13噴出。此外，驅(qū)動輸送部15， 使各輥16在一定的旋轉(zhuǎn)速度下旋轉(zhuǎn)。此時，借助未圖示的升降裝置使輸 送部15上升。
接著，玻璃板P被從薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試驗裝置7等的 各種處理裝置交接至分支輸送器20上。玻璃板P被分支輸送器20運送， 移動到分支輸送器20的端部。與此同時，板交接部40的把持部件44把 持分支輸送器20上的玻璃板P的外緣(與運送方向相反側(cè)的側(cè)表面附近)。
接著，沿著分支輸送器20移動把持部件44且移動到分支輸送器20 的一端，而玻璃板P被從分支輸送器20上運送至主輸送器10上。
并且，解除借助把持部件44的玻璃板P的把持。與此同時，主輸送 器10以及分支輸送器20的輸送部15借助未圖示的升降裝置上升。
由此，主輸送器10的輸送部15的突起18與玻璃板P的下表面的寬度方向兩端抵接，玻璃板P被交接至主輸送器IO上而被單張運送。
如此，在將玻璃板P從分支輸送器20交接至主輸送器20上時，玻璃 板P在分支輸送器20上被浮起而被支承，且維持該狀態(tài)且不使姿態(tài)發(fā)生 變化地將玻璃板P交接至主輸送器10上。
因此，玻璃板P在等同于沒有摩擦阻力的狀態(tài)下被從分支輸送器20 交接至主輸送器10上。
如以上說明那樣，本實施方式的基板運送裝置l具有主輸送器IO， 單張運送玻璃板P;分支輸送器20，相對于該主輸送器IO水平地分支； 空氣浮起單元12，在主輸送器10上以及分支輸送器20上使玻璃板P浮 起而支承該玻璃板P;板交接部40，在主輸送器10和分支輸送器20之間 不使姿態(tài)發(fā)生變化地交接被該空氣浮起單元12浮起支承的玻璃板P。
根據(jù)這樣的本實施方式的基板運送裝置1，玻璃板P在等同于沒有摩 擦阻力的狀態(tài)下在主輸送器10和分支輸送器20之間被交接。因此，即使 在高速化了交接速度時，也不會產(chǎn)生由施加沖擊而導(dǎo)致的玻璃板P的損 傷。
因此，根據(jù)本實施方式的基板運送裝置1，能夠使主輸送器10和分 支輸送器20之間的玻璃板P的交接速度提升。
另外，上述實施方式所示的各構(gòu)成部件的諸多形狀或組合或者動作順 序等是一例，在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)能夠基于設(shè)計要求等進行種 種變更。
例如，在上述實施方式中，說明了使用壓縮空氣使玻璃板P浮起且支 承玻璃板P的情況，但是并不限定于此。例如，也可以借助將在空間內(nèi)傳 播的振動波施加在玻璃板P上而使玻璃板P浮起而支承玻璃板P。
此外，在上述實施方式中，輸送部15構(gòu)成為，借助未圖示的升降裝 置下降，從而在主輸送器10和分支輸送器20之間交接玻璃板P時，能夠 防止玻璃板P與輸送部15接觸。但是，本發(fā)明并不限定于此，也可以代 替輸送部15下降而借助空氣浮起單元12上升來防止玻璃板P與輸送部 15發(fā)生接觸。此時，交接側(cè)的輸送器的空氣浮起單元12的上表面位于與 上升后的空氣浮起單元12的上表面為同 一面的位置。
在上述實施方式中，說明了單張運送玻璃板P的情況，但是運送的對 象并不限定于此。例如，如果是半單體晶片等薄的板狀部件也能夠運送。
在上述實施方式中，說明了在分支輸送器20的另一端側(cè)配置/連結(jié)薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試驗裝置7等的各種處理裝置的情況，但是 各種裝置的配置并不限定于此。例如，也可以是在分支輸送器20的下游 側(cè)(另一端側(cè))還連結(jié)分支輸送器20的情況。
此外，除了薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試驗裝置7等的各種處理 裝置之外，也可以配置暫時地保存多個玻璃板P等的基板的儲料器。
在上述的實施方式中，說明了在薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試驗 裝置7等的各種處理裝置上配置運入玻璃板P的分支輸送器21、 23、 25 和運出玻璃板P的分支輸送器22、 24、 26的情況，但是上述裝置的配置 并不限定于此。例如，也可以是一個分支輸送器20進行玻璃板P的運入/ 運出的情況。
產(chǎn)業(yè)上的利用可能性
根據(jù)本發(fā)明，例如在單張運送半導(dǎo)體晶片及平板顯示器用玻璃板等的 基板時，基板在等同于沒有摩擦阻力的狀態(tài)下在主輸送器和分支輸送器之 間被交接。因此，即使在高速化了交接速度時，也不會產(chǎn)生由施加沖擊而 導(dǎo)致的基板的損傷，因此，能夠使主輸送器和分支輸送器之間的基板的交 接速度提升。
權(quán)利要求
1. 一種基板運送裝置，具有單張運送基板的主輸送器、從上述主輸送器水平地分支的分支輸送器、在上述主輸送器上以及上述分支輸送器上使上述基板浮起而支承該基板的支承部、在上述主輸送器和上述分支輸送器之間不使姿態(tài)發(fā)生變化地交接由該支承部浮起支承的上述基板的基板交接部。
2. 如權(quán)利要求l所述的基板運送裝置，其特征在于，上述14l交接 部具有把持部件，該把持部件能夠把持上述基板的外緣且向上述分支輸送 器的上述基板的運送方向移動。
3. 如權(quán)利要求2所述的基板運送裝置，其特征在于，上述支承部使 用壓縮空氣而使上述基板浮起而支承基板。
4. 一種基板運送方法，被主輸送器單張運送的基板在上述主輸送器 上被浮起而被支承，在上述主輸送器上浮起而被支承的狀態(tài)的上述基板維持浮起而被支 承的狀態(tài)而不使姿態(tài)發(fā)生變化地被交接至從上述主輸送器水平地分支的 分支輸送器上。
5. —種基板運送方法，基板在相對于主輸送器水平地分支的分支輸 送器上被浮起而被支承，在上述分支輸送器上為浮起狀態(tài)的上述基板維持浮起而被支承的狀 態(tài)而不使姿態(tài)發(fā)生變化地被交接至上述主輸送器上。
全文摘要
一種基板運送裝置，具有單張運送基板的主輸送器、從上述主輸送器水平地分支的分支輸送器、在上述主輸送器上以及上述分支輸送器上使上述基板(P)浮起且支承該基板(P)的支承部、在上述主輸送器和上述分支輸送器之間不使姿態(tài)發(fā)生變化地交接被該支承部浮起支承的上述基板的基板交接部。根據(jù)該基板運送裝置，能夠使主輸送器和分支輸送器之間的基板的交接速度提升。
文檔編號B65G49/06GK101512747SQ200780033188
公開日2009年8月19日 申請日期2007年2月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月11日
發(fā)明者平田賢輔, 村山晉, 水野智夫 申請人:株式會社Ihi