技術(shù)編號(hào)：4282333
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于單張運(yùn)送例如半導(dǎo)體晶片及平板顯示器用玻璃 板等的基板的基板運(yùn)送裝置以M板運(yùn)送方法。本發(fā)明基于2006年9月11日在日本提出申請(qǐng)的特愿2006-246134 號(hào)而主張優(yōu)先權(quán)，并在此引用其內(nèi)容。背景技術(shù)在設(shè)置在制造半導(dǎo)體裝置的工廠及制造液晶裝置、PDP、 EL裝置等的 平板顯示器的工廠等的基板運(yùn)送裝置中，運(yùn)送半導(dǎo)體晶片及玻璃板等的基 板且使用裝載器或機(jī)械手臂等在薄膜形成裝置、蝕刻裝置、試驗(yàn)裝置等的 各種處理裝置和運(yùn)送經(jīng)路之間進(jìn)行基板的交接。在...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。