專利名稱：晶圓置放架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種置物架，尤指一種除可防止晶圓在存放時產(chǎn)生 破裂及污損之外，也可同時達到易于取用及搬運功效的晶圓置放架。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)的晶圓在制成之后通常是放置在一個具有數(shù)個容置區(qū)的盒 體中，作為收藏存放，以利后續(xù)制程時利用機械手臂進行夾取使用。但是由于該晶圓是較薄、質(zhì)輕及易脆的物體，因此，當置于容置區(qū) 中時，并不適合以直接層疊的方式收藏存放，因此必須使用具有數(shù)個容 置區(qū)的大型盒體才能放置較多的晶圓，且當晶圓放置于容置區(qū)時，為防 止這些晶圓因搬運時產(chǎn)生碰撞， 一般盒體的各容置區(qū)的周緣皆會設(shè)計有 數(shù)個凸出部，以作為各晶圓的定位使用，倘若各凸出部將晶圓定位的較 牢固時，該機械手臂則必須以較強的外力才能將晶圓取下，造成某些晶 圓的損傷，而由于該晶圓是屬精密度較高的物體，因此就算輕微的破裂 及污損仍會導(dǎo)致其特性的極大影響，故，以目前收藏存放晶圓的盒體而 言，較無法符合實際使用的所需。新型內(nèi)容因此，本實用新型的主要目的是在于，可將所需的晶圓集中置放于 承載單元中，除可防止晶圓于存放時產(chǎn)生破裂及污損之外，也可同時達 到易于取用及搬運的功效。為達上述的目的，本實用新型是一種晶圓置放架，包含至少兩個呈相對應(yīng)設(shè)置的側(cè)板；數(shù)個兩端分別設(shè)于各側(cè)板相對應(yīng) 一 面上且鄰近各側(cè) 板兩側(cè)及底緣的支撐桿；數(shù)個兩端分別設(shè)于各側(cè)板相對應(yīng)一面上且鄰近 各支撐桿相對應(yīng)內(nèi)側(cè)緣的固定桿；以及數(shù)個分別相對應(yīng)設(shè)于各固定桿內(nèi) 側(cè)緣的承載單元。

圖1是本實用新型的立體分解示意圖
圖2是本實用新型的立體外觀示意圖
圖3是本實用新型的使用狀態(tài)示意圖
其中:
1側(cè)板
2支撐桿
21固定組件
3固定牙干
31固定組件
4承載單元
41底板
411固定組件
42延伸板
43嵌槽
具體實施方式
圖1、圖2、圖3，分別為本實用新型的立體分解示意圖、本實用新 型的立體外觀示意圖及本實用新型的使用狀態(tài)示意圖。如圖所示本實 用新型是一種晶圓置放架，其由至少兩個側(cè)板l、數(shù)個支撐桿2、數(shù)個固 定桿3以及數(shù)個承載單元4所構(gòu)成。
上述所沖是的側(cè)板1呈相對應(yīng)設(shè)置。
各支撐桿2兩端分別設(shè)于上述兩個側(cè)板1相對應(yīng)的一面上且鄰近各 側(cè)板1的兩側(cè)及底緣，而各支撐桿2的兩端是分別配合固定組件21與側(cè) 板1固接。
各固定桿3其兩端分別設(shè)于上述兩個側(cè)板1相對應(yīng)的一面上且鄰近 各支撐桿2相對應(yīng)的內(nèi)側(cè)緣，而各固定桿3的兩端分別配合固定組件31 與側(cè)板1固接。
各承載單元4分別相對應(yīng)設(shè)于上述各固定桿3的內(nèi)側(cè)緣，其中各承 載單元4包含有配合固定組件411與固定桿3固接的底板41、數(shù)個垂直設(shè)于底板41上的延伸板42、及數(shù)個由各延伸板42間所定義出的嵌槽43。 如是，利用上述的結(jié)構(gòu)構(gòu)成一全新的晶圓置放架。當本實用新型在運用時，可以利用自動化的工具(如機械手臂， 圖未示)將晶圓5吸取，并由上往下(或由下往上)逐一放置于各承載 單元4相對應(yīng)的嵌槽43中，藉以完成晶圓5的集中置放，以防止晶圓于 存放時產(chǎn)生破裂及污損；而使用時，可將本實用新型以直立的方式設(shè)置 于所需的制程設(shè)備(如升降機構(gòu)，圖未示)上，并以側(cè)板1作為設(shè)于 制程設(shè)備上的抵靠，且配合各支撐桿2及固定桿3增加結(jié)構(gòu)強度，以利 本實用新型的晶圓置放架可承受制程設(shè)備作動或移動時的外力，并利用 該制程設(shè)備由下往上(或由上往下)移動該晶圓置放架，使自動化的工 具可逐一吸附該晶圓5進行取用，如此，即可使本實用新型達到易于取 用及搬運晶圓5的功效。綜上所述，本實用新型晶圓置放架可有效改善現(xiàn)有技術(shù)的種種缺點， 可將所需的晶圓集中置放于承載單元中，除可防止晶圓在存放時產(chǎn)生破 裂及污損之外，也可同時達到易于取用及搬運的功效，進而使本實用新 型的產(chǎn)生能更進步、更實用、更符合使用者的所須，確已符合創(chuàng)作專利 申請的要件，爰依法提出專利申請。
權(quán)利要求1、一種晶圓置放架，其特征是包括有至少兩個側(cè)板，呈相對應(yīng)設(shè)置；數(shù)個支撐桿，其兩端分別設(shè)于上述兩個側(cè)板相對應(yīng)的一面上且在各側(cè)板的兩側(cè)及底緣；數(shù)個固定桿，其兩端分別設(shè)于上述兩個側(cè)板相對應(yīng)的一面上且在各支撐桿相對應(yīng)的內(nèi)側(cè)緣；以及數(shù)個承載單元，分別相對應(yīng)設(shè)于上述各固定桿的內(nèi)側(cè)緣。
2、 如權(quán)利要求1所述的晶圓置放架，其特征在于各支撐桿的兩 端分別配合固定組件與側(cè)板固接。
3、 如權(quán)利要求1所述的晶圓置放架，其特征在于各固定桿的兩 端分別配合固定組件與側(cè)板固接。
4、 如權(quán)利要求1所述的晶圓置放架，其特征在于各承載單元包 含有配合固定組件與固定桿固接的底板、數(shù)個垂直設(shè)于底板上的延伸板、 及數(shù)個由各延伸板間所定義出的嵌槽。
專利摘要本實用新型是一種晶圓置放架，包含至少兩個呈相對應(yīng)設(shè)置的側(cè)板；數(shù)個兩端分別設(shè)于各側(cè)板相對應(yīng)一面上且鄰近各側(cè)板的兩側(cè)及底緣的支撐桿；數(shù)個兩端分別設(shè)于各側(cè)板相對應(yīng)一面上且鄰近各支撐桿相對應(yīng)內(nèi)側(cè)緣的固定桿；以及數(shù)個分別相對應(yīng)設(shè)于各固定桿內(nèi)側(cè)緣的承載單元。藉此，可將所需的晶圓集中置放于承載單元中，除可防止晶圓于存放時產(chǎn)生破裂及污損之外，也可同時達到易于取用及搬運的功效。
文檔編號B65G1/02GK201148275SQ20072031096
公開日2008年11月12日 申請日期2007年12月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月19日
發(fā)明者周士杰 申請人:可士達科技有限公司