專利名稱：搬運(yùn)物浮起組件、搬運(yùn)物浮起裝置及載物臺裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及以非接觸方式使玻璃基板等搬運(yùn)物浮起的搬運(yùn)物浮起 組件、搬運(yùn)物浮起裝置、及具有它的載物臺裝置。
背景技術(shù)：
過去，已知通過空氣以非接觸方式使玻璃基板等搬運(yùn)物浮起的技 術(shù)。例如在專利文獻(xiàn)1中公開了如下技術(shù)通過吹氣流路從移動臺的 下面吹出空氣使其浮起，并且通過吸氣流路吸引空氣，提高平面移動 剛性(即，保持剛性)的技術(shù)。專利文獻(xiàn)1:(日本)特開平6-56234號公報(bào)但是，由于從移動臺的下面只是吹出空氣且進(jìn)行吸引，不能得到 基板的充分的保持剛性，所以在搬運(yùn)基板并進(jìn)行處理時，會以較大的 振幅振動，不能充分滿足處理的要求精度。具體地說，在用攝像機(jī)檢 查基板上時，有可能出現(xiàn)焦點(diǎn)模糊、或在基板上涂敷涂敷液時產(chǎn)生涂 敷不勻的情況。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于以上情況而提出的，將提高使搬運(yùn)物浮起時的保持 剛性作為課題。發(fā)明者為了解決上述課題而銳意探討的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，若使吹氣流路 的孔徑比吸氣流路的孔徑小，則從吹氣流路吹出的空氣產(chǎn)生壓力損失， 由此提高基板的保持剛性，可以降低振動。但是，問題在于若這時吹 氣流路的孔徑過小，則孔容易堵塞，另一方面，若使吸氣流路的孔徑 過大，則需要很大的吸氣泵。為此，發(fā)現(xiàn)在吹氣流路上設(shè)置流路截面 積不連續(xù)變化的部分，使空氣產(chǎn)生壓力損失，可以在不產(chǎn)生上述問題 而提高基板的保持剛性并降低振動，從而完成了本發(fā)明。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)物浮起組件，包括從設(shè)置在一個主面?zhèn)鹊拇?氣口吹出空氣的吹氣流路、及從設(shè)置在一個主面?zhèn)鹊奈鼩饪谖諝?的吸氣流路，其特征在于，吹氣流路具有流路截面積不連續(xù)變化的部 分。通過該搬運(yùn)物浮起組件，可以在流路截面積不連續(xù)變化的部分使 空氣產(chǎn)生壓力損失。從而，可以提高基板的保持剛性。吹氣流路最好具有小流路及流路截面積比小流路大的大流路。這 樣，由于流路截面積在小流路和大流路的邊界不連續(xù)變化，所以可以 在該部分使空氣產(chǎn)生壓力損失。吹氣流路最好交替配置多個小流路和多個大流路而構(gòu)成。這樣， 通過交替配置小流路和大流路，可以充分利用壓力損失。吹氣流路最好在沿著一個主面的方向上延伸。這樣，既利用壓力 損失，又可以較薄地構(gòu)成搬運(yùn)物浮起組件。吹氣流路最好具有大體彎曲成直角的彎曲部，在該彎曲部設(shè)的大 流路。這樣，可以將大流路和小流路有效配置在有限的空間中，并且 可以利用壓力損失。吸氣流路最好沿著與一個主面大體垂直的方向延伸，除了該吸氣 流路的部分實(shí)質(zhì)上由吹氣流路占據(jù)。這樣，可以在有限的空間內(nèi)充分 利用壓力損失。在與一個主面相對的另一個主面上最好設(shè)有多個用于向吹氣流路 導(dǎo)入空氣的導(dǎo)入口，多個導(dǎo)入口在不同的位置與吹氣流路連通。這樣， 通過選擇一個導(dǎo)入口而堵塞其他導(dǎo)入口，可以調(diào)整吹氣流路的長度， 可以進(jìn)行壓力損失的微調(diào)整。多個大流路中的至少某一個最好內(nèi)壁面構(gòu)成立方體或長方體，流 入側(cè)和流出側(cè)的小流路分別與該大流路的相互對置的第1及第2的內(nèi) 壁面相連接；流入側(cè)的小流路與第1內(nèi)壁面的一個角部相連接，流出側(cè)的小流路與位于距離一個角部最遠(yuǎn)的位置的第2內(nèi)壁面的一個角部相連接。這樣，可以利用壓力損失。另外，多個大流路中的至少某一個，最好內(nèi)壁面構(gòu)成立方體或長方體，流入側(cè)和流出側(cè)的小流路分別與該大流路的相鄰的第1及第2 的內(nèi)壁面相連接；流入側(cè)及流出側(cè)中的一個小流路與第1內(nèi)壁面的一 個角部相連接，與一個小流路不同的另一個小流路，同和在第1內(nèi)壁 上的位于一個角部的對角線上的角部一起形成一個頂部的第2內(nèi)壁面 的一個角部相連接。這樣，可以利用壓力損失。另外，最好是多個大流路中的至少某一個的內(nèi)壁面構(gòu)成立方體或 長方體，流入側(cè)和流出側(cè)的小流路分別與該大流路的相鄰的第1及第2 的內(nèi)壁面相連接；流入側(cè)及流出側(cè)中的一個小流路與第1內(nèi)壁面的中 央部相連接，與一個小流路不同的另一個小流路，與位于距離一個小 流路連接位置最遠(yuǎn)的位置的第2內(nèi)壁面的角部相連接。這樣，可以利 用壓力損失。最好具有多個上述的搬運(yùn)物浮起組件，多個搬運(yùn)物浮起組件層疊 與一個主面垂直的方向上。這樣，可以由有限的設(shè)置面積，利用更大 的壓力損失。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)物浮起裝置，其特征在于，具有多個上述的 搬運(yùn)物浮起組件，多個搬運(yùn)物浮起組件沿著一個主面的方向配置成二 維狀。在該搬運(yùn)物浮起裝置中，由于與吹氣流路連通的吹氣口和與吸氣 流路連通的吸氣口在一個主面?zhèn)扰渲贸啥S狀，所以能夠以較高的保 持剛性使在沿著一個主面的方向上延伸的搬運(yùn)物浮起。搬運(yùn)物浮起裝置最好包括多個具有貫通孔的定板，定板放置在二 維配置的多個搬運(yùn)物浮起組件的一個主面上，多個貫通孔與吹氣口及 吸氣口進(jìn)行氣密連通。這樣，由于能夠以不同于與搬運(yùn)物浮起組件面 相側(cè)的一側(cè)的定板主面為基準(zhǔn)面，所以可以提高進(jìn)行空氣吹出和吸引 的面的平面度本發(fā)明所涉及的載物臺裝置，其特征在于，包括上述的搬運(yùn)物 浮起裝置；及夾持搬運(yùn)物并通過搬運(yùn)物浮起裝置上的搬運(yùn)裝置。通過該載物臺裝置，可以通過搬運(yùn)裝置夾持搬運(yùn)物進(jìn)行搬運(yùn)。特 別是當(dāng)經(jīng)過搬運(yùn)物浮起裝置上時，由于能以足夠的保持剛性使搬運(yùn)物 浮起，所以可以充分降低振動。本發(fā)明可通過以下的詳細(xì)說明及附圖進(jìn)一步充分理解。這些都只 不過是個舉例，不應(yīng)認(rèn)為是限定本發(fā)明。根據(jù)本發(fā)明，可以提高使搬運(yùn)物浮起時的保持剛性。


圖1是表示實(shí)施方式所涉及的基板檢查系統(tǒng)的構(gòu)成的立體圖。 圖2是表示實(shí)施方式所涉及的基板檢査系統(tǒng)的構(gòu)成的俯視圖(龍 門(gantry)由點(diǎn)劃線表示)。圖3是表示搬運(yùn)裝置的構(gòu)成的部分放大部。 圖4是表示基板浮起組件的構(gòu)成的圖。圖5是對于基板浮起裝置具有的定板的多個孔，說明吸氣用貫通 孔(用白圈表示)和吹氣用貫通孔(用黑圈表示)二維排列的狀態(tài)的 圖。圖6是表示基板浮起裝置的定板和基板浮起組件的配置關(guān)系的截 面圖。圖7是表示基板浮起組件的變形例的圖。圖8是表示基板浮起組件的另一變形例的圖。圖9是基板浮起組件的另一變形例，只抽出吹氣流路及吸氣流路 來表示的立體圖。圖10是圖9中所示的變形例中，只抽出吹氣流路及吸氣流路來表 示的俯視圖、側(cè)視圖、及從A-A線到E-E線的向視圖。圖11是表示大流路和小流路的一個連接方式的立體圖。
圖12是表示大流路和小流路的另一個連接形式的立體圖。圖13是表示大流路和小流路的另一個連接形式的立體圖。圖14是表示作為大流路和小流路的比較例的連接方式的立體圖。符號說明10基板檢查系統(tǒng)11載物臺裝置12搬運(yùn)裝置14檢查裝置26基板浮起裝置28玻璃基板50、 100 基板浮起組件52 上面54 吹氣口56 吸氣口58 下面60導(dǎo)入孔64吸氣流路66吹氣流路68 小流路70 大流路80定板80a貫通孔200、 202、 204、 206、 208、 210 內(nèi)壁面R彎曲部 X搬運(yùn)方向具體實(shí)施方式
下面，參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。在附圖的說明中， 同一組件加相同標(biāo)號，其重復(fù)說明予以省略。圖1是表示實(shí)施方式所涉及的基板檢査系統(tǒng)10的構(gòu)成的立體圖。圖2是表示該基板檢查系統(tǒng)10的構(gòu)成的俯視圖。在圖2中龍門40由 點(diǎn)劃線表示。如圖1及圖2中所示，本實(shí)施方式所涉及的基板檢査系統(tǒng)10包括 載物臺裝置11、及檢查裝置14。載物臺裝置11包括搬運(yùn)裝置12、及 基板浮起裝置(搬運(yùn)物浮起裝置)26。搬運(yùn)裝置12包括基座16、 1對導(dǎo)軌18、 4個滑塊20、驅(qū)動機(jī)構(gòu) 22、及4個保持構(gòu)件24?；?6的外形呈長方體狀，放置在地面等水平面上。該基座16 的上面16a向規(guī)定方向延伸。該基座16的上面16a的延伸方向是玻璃 基板(搬運(yùn)物)28的搬運(yùn)方向?；?6的寬度比玻璃基板28的寬度 寬。在以下的說明中，如圖1中所示，將基座16的上面16a的延伸方 向稱為搬運(yùn)方向X，基座16的上面16a的法線方向稱為垂直方向Z， 與搬運(yùn)方向X及垂直方向Z雙方垂直的方向稱為寬度方向Y。一對導(dǎo)軌18設(shè)置在基座16的上面16a，沿搬運(yùn)方向X延伸。這 一對導(dǎo)軌18隔開得比玻璃基板28的寬度稍大，相互平行地配置?；瑝K20在1對導(dǎo)軌18上各設(shè)置2個。各滑塊20由導(dǎo)軌18引導(dǎo)， 可以在搬運(yùn)方向X上移動。也可以是設(shè)置成玻璃基板28的寬度比基座 16的寬度寬的結(jié)構(gòu)、及玻璃基板28寬度比一對導(dǎo)軌18大的結(jié)構(gòu)。驅(qū)動機(jī)構(gòu)22如圖3中所示由包含定子30和可動件32的線性電機(jī) 機(jī)構(gòu)構(gòu)成。定子30分別在一對導(dǎo)軌18的外側(cè)沿著導(dǎo)軌18設(shè)置在基座 16上。可動件32如圖1至圖3中所示包括與定子30作用而被驅(qū)動 的驅(qū)動體33;及從驅(qū)動體33的兩端沿搬運(yùn)方向X延伸設(shè)置，連接驅(qū) 動體33和滑塊20的連結(jié)構(gòu)件37。連結(jié)構(gòu)件37分別固定在滑塊20的 外側(cè)面。這樣，在各導(dǎo)軌18上設(shè)置的2個滑塊20，在保持一定距離的 情況下同步移動。
圖3中所示包括吸附部34和彈簧板部36。該保持構(gòu)件24通過吸附部 34的空氣吸引，吸附玻璃基板28的側(cè)緣部而可靠地保持。通過這些保 持構(gòu)件24，玻璃基板28以離開基座16的上面16a的狀態(tài)進(jìn)行保持。 彈簧板部36包括沿著垂直方向Z延伸的基部36a和沿著寬度Y延伸的 彎曲部36b。吸附部34。固定在彎曲部36b上。此處，彈簧板部36的彎曲部36b如圖3中所示，最好在垂直方向 Z上有彈性。這樣，保持構(gòu)件24在垂直方向Z上有彈性，對于垂直方 向Z，可以對玻璃基板28的高度位置進(jìn)行微調(diào)整。這樣，可以減少玻 璃基板28接觸基板浮起裝置26等不良情況的發(fā)生。另外，對于在一個導(dǎo)軌18上設(shè)置的2個滑塊20上固定的保持構(gòu) 件24，彈簧板部36的根部36a如圖3所示最好在寬度Y上具有彈性。 這樣，保持構(gòu)件24在寬度方向Y上具有彈性。結(jié)果，在導(dǎo)軌18歪曲 吋，可以以另一個導(dǎo)軌18側(cè)為基準(zhǔn)，校正玻璃基板28寬度方向Y的 偏差及平行于基座16的上面16a的面內(nèi)的玻璃基板28的旋轉(zhuǎn)?；甯∑鹧b置26設(shè)置在基座16上的下述檢査裝置14下方的檢査 區(qū)域。該基板浮起裝置26如圖3中所示，在玻璃基板28的下面28a 側(cè)吹出及吸引空氣?；甯∑鹧b置26的寬度方向Y的長度，設(shè)置成大體與玻璃基板 28的寬度相同。基板浮起裝置26的搬運(yùn)方向X的長度最好在檢查裝 置14的前后有足夠的長度。例如當(dāng)對搬運(yùn)方向X的長度為2300mm、 寬度方向Y的長度為2000mm、厚度為0.6mm的玻璃基板28以 250mm/sec進(jìn)行搬運(yùn)時，基板浮起裝置26的搬運(yùn)方向X的長度為 400mm 500mm程度。該基板浮起裝置26具有多個基板浮起組件50及定板80。圖4 (a) 是基板浮起組件50的俯視圖，圖4 (b)是圖4 (a)中所示的B-B線 截面圖?；甯∑鸾M件50如圖4中所示，具有大體為長方體狀的外形，由 SUS等金屬或樹脂等形成塊狀。基板浮起組件50的典型尺寸是縱向?yàn)?5mm左右、橫向?yàn)?0mm左右、厚度為10mm左右。在基板浮起組 件50的上面(一個主面)52設(shè)置有吹出空氣的吹氣口 54、及吸引空 氣的吸氣口 56。另外，在基板浮起組件50的下面(另一主面)58設(shè) 有導(dǎo)入空氣的導(dǎo)入口 60、及排出空氣的排氣口 62。吸氣口 56和排氣 口 62設(shè)置在上下面52、 58的相對的位置，通過吸氣流路64進(jìn)行連通。 從而吸氣流路64在與上下面52、 58垂直的方向延伸。另一方面，導(dǎo)入口 60和吹氣口 54設(shè)置在上下面52、 58的相互離 開的位置。而且，這些導(dǎo)入口 60和吹氣口 54通過吹氣流路66連通。 該吹氣流路66具有多個小流路68、及流路截面積比小流路68大的多 個大流路70。在本實(shí)施方式中，大流路70構(gòu)成大體為立方體狀的空間 部，小流路68構(gòu)成截面大體為正方形狀的空間部。多個大流路70和多個小流路68，在吹氣流路66上交替配置。這 樣，由于流路截面積在小流路68和大流路70的交界面上不連續(xù)變化， 所以在該部分可使空氣產(chǎn)生壓力損失。另外，通過產(chǎn)生多個流路截面 積不連續(xù)變化的部分，可以利用壓力損失。這種結(jié)構(gòu)的吹氣流路66沿 著上面52 (或下面58)的方向延伸。這樣，通過在沿著上面52的方 向延伸吹氣流路66,既可利用壓力損失，又可使基板浮起組件50構(gòu)成 得很薄。另外，吹氣流路66具有大體彎曲成直角的彎曲部R，在該彎曲部 R上設(shè)有大流路70。這樣，使大流路70和小流路68在有限的空間有 效配置，并利用壓力損失。該吹氣流路66由多個彎曲部R彎曲，在組 件內(nèi)無遺漏地布滿全部，除去吸氣流路64之外的部分實(shí)質(zhì)上由該吹氣 流路66占據(jù)。這樣，在有限的空間內(nèi)充分利用了壓力損失。該基板浮起組件50例如可以對上半部分和下半部分分別進(jìn)行加工 疊合形成?；甯∑鹧b置26具有多個上述構(gòu)成的基板浮起組件50(例如數(shù)百 數(shù)千個)，這些多個基板浮起組件50的上面52 (及下面58)構(gòu)成一 個面，以相互接觸的狀態(tài)配置成二維狀。
如圖5中所示，定板80具有通過空氣的多個貫通孔80a，這些多 個貫通孔80a，在搬運(yùn)方向X及寬度方向Y規(guī)則排列。該貫通孔80a 的數(shù)量僅設(shè)有二維配置的多個基板浮起組件50的吹氣口 54及吸氣口 56的數(shù)量。在圖5中，白圈表示吸氣用的貫通孔80a，黑圈表示吹氣 用的貫通孔80a。定板80的上面82加工成平面度較高，具有相對于玻 璃基板28的基準(zhǔn)面的功能。圖6是表示基板浮起裝置26的定板80和基板浮起組件50的配置 關(guān)系的截而圖。如圖6中所示，定板80放置在二維配置的多個基板浮 起組件50上，多個貫通孔80a通過密封件等與吹氣口 54及吸氣口 56 氣密連通。設(shè)置在基板浮起組件50的下面的導(dǎo)入孔60，通過導(dǎo)入管 90與圖中未畫出的壓縮機(jī)相連接，而排氣口 62通過吸氣管92與圖中 未畫出的吸氣泵相連接。這樣，從吹氣口 54通過定板80的貫通孔80a 吹出空氣，同時通過相同定板80的貫通孔80a從吸氣口 56吸引空氣， 可以以足夠的保持剛性使玻璃基板26浮起。在此，對于由基板浮起組件50浮起玻璃基板28，參照圖4及圖6 進(jìn)行詳細(xì)說明。首先，如圖6中所示，來自圖中未畫出的壓縮機(jī)的空氣，通過導(dǎo) 入管90從導(dǎo)入口 60導(dǎo)入基板浮起組件50的吹氣流路66。所導(dǎo)入的空 氣如圖4中所示，按箭頭a d的順序在吹氣流路66內(nèi)流動，從吹氣口 54吹出。從吹氣口54 (再從貫通孔80a)吹出的空氣，通過玻璃基板 28和定板80的間隙，從吸氣口 56 (通過貫通孔80a)吸氣。在這一流 動中，吹氣流路66在"大流路70—小流路68"或"小流路68—大流路70" 的流路截面積不連續(xù)變化的部分，產(chǎn)生壓力損失。通過該壓力損失， 提高使玻璃基板28浮起時的保持剛性。關(guān)于該作用，設(shè)空氣供給壓為恒定進(jìn)行說明。當(dāng)玻璃基板28和基 板浮起裝置26的間隙量h比平均位置大時，則間隙內(nèi)的流路截面積增 加，空氣的流量增加。假設(shè)將間隙內(nèi)的壓力以玻璃基板28的面積進(jìn)行 積分的量為W時，隨著間隙量h的增大，間隙內(nèi)的平均壓力減少，負(fù)
荷容量W減小。在該狀態(tài)，由于負(fù)荷容量W比平衡狀態(tài)小，所以不能支撐玻璃基板28的重量，返回原來的平衡位置。同樣，當(dāng)間隙量h變小吋，也返回原來的平衡位置。該間隙量h的變化對負(fù)荷容量W變化賦予的靈敏度(dW/dh)相 當(dāng)于玻璃基板28的保持剛性。即，當(dāng)因間隙量h的微小變化而使負(fù)荷 容量W變化很大時(當(dāng)保持剛性大時)，由于力的平衡大為破壞，所 以立刻返回原來的平衡位置(間隙量)。反之，當(dāng)該靈敏度低時(當(dāng) 保持剛性小時)，即使間隙量h變化大，負(fù)荷容量W也幾乎不變化， 所以向原來的平衡位置返回也變得遲鈍。這樣，間隙內(nèi)的空氣具有虛 擬彈簧的作用。從而，在本實(shí)施方式中，通過大流路70和小流路68的組合緊縮， 而產(chǎn)生壓力損失，通過變更間隙內(nèi)的壓力和空氣流量之間的關(guān)系，調(diào) 整負(fù)荷容量W和間隙量h的關(guān)系，提高彈簧剛性。即，即使間隙量h 要增大，由于緊縮造成的壓力損失的影響使空氣的流量難以增加，負(fù) 荷容量W變大，所以立刻返回到平衡位置，保持剛性提高。另一方面， 即使間隙量h減小，由于緊縮造成的壓力損失的影響使空氣的流量難 以減小，負(fù)荷容量W變大，所以立刻返回到平衡位置，保持剛性提高。基于大流路70和小流路68的組合的吹氣流路66的設(shè)計(jì)，可以按 下述進(jìn)行。如上所述，只要知道間隙量h和負(fù)荷容量W間的關(guān)系就可以計(jì)算 保持剛性。從而，首先以數(shù)值計(jì)算改變緊縮的參數(shù)(壓力損失)，求 出對各間隙量h的負(fù)荷容量。這樣，可以求出所給出的間隙量和滿足 保持剛性的緊縮的參數(shù)。如果決定了緊縮的參數(shù)，就決定了在該狀態(tài) 下的壓力-流量的關(guān)系，所以用數(shù)值流體計(jì)算等設(shè)計(jì)吹氣流路66的幾 何形狀，使之滿足其特性。根據(jù)這一結(jié)果，成形基板浮起組件50。再返回基板檢查系統(tǒng)IO的說明。檢查裝置14從上面28b—側(cè)檢 查玻璃基板28。作為檢查裝置14例舉出CCD攝像機(jī)等攝像裝置、及 照射激光而接收該反射光的激光測量裝置。通過攝像裝置，例如可得
到玻璃基板28上形成的電路圖形等光學(xué)像，這樣可進(jìn)行不良品等的檢 査。另外，通過激光測量裝置檢查激光的反射率，可進(jìn)行不良品等的檢查。檢查裝置14并不限定于這些CCD攝像機(jī)及激光測量裝置，而 是包括所有可以用非接觸方式檢查玻璃基板28狀態(tài)的現(xiàn)有裝置。該檢查裝置14通過滑動構(gòu)件44安裝在基座16上所設(shè)置的龍門40 上?；瑒訕?gòu)件44可以沿著龍門40在寬度方向Y上移動。從而，安裝 在滑動構(gòu)件44上的檢査裝置14可以在寬度方向Y上移動，可以進(jìn)行 玻璃基板28的寬度方向Y的掃描。另外，檢査裝置14本身也可以對 滑動構(gòu)件44在垂直方向Z移動，這樣，可以在基座16上的規(guī)定高度 位置支撐檢査裝置14。從而，在攝像裝置上得到聚焦的光學(xué)像，并在 激光測量儀上提高數(shù)據(jù)的精度，實(shí)現(xiàn)檢查精度的提高。下面，對利用上述基板檢査系統(tǒng)10的玻璃基板28的檢査方法進(jìn) 行說明。首先，在基座16上的檢查裝置14的前級，通過4個保持構(gòu)件24， 在寬度方向Y的邊緣部吸附保持玻璃基板28。這時，玻璃基板28以 離開基座16的上面16a的狀態(tài)被保持。然后，通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)22移動滑塊20，在搬運(yùn)方向X以規(guī)定速度 搬運(yùn)玻璃基板28。當(dāng)玻璃基板28到達(dá)檢查區(qū)域時，通過基板浮起裝置 26在玻璃基板28的下面28a進(jìn)行空氣的吹出及吸引。這時，由于在吹 氣流路66內(nèi)產(chǎn)生了空氣的壓力損失，所以玻璃基板28在基板浮起裝 置26上，在離開定板80的上面82有50 u m左右的高度位置以很高的 保持剛性進(jìn)行保持。玻璃基板28的上浮量，通過導(dǎo)入管90由與基板 浮起組件50的導(dǎo)入口 60連接的圖中未畫出的壓縮機(jī)的壓力進(jìn)行控制。接著，如上所述，在檢查區(qū)域，在玻璃基板28的下面28a進(jìn)行空 氣的吹出及吸引，同時停止向搬運(yùn)方向X搬運(yùn)玻璃基板28。然后，使 滑動構(gòu)件44在寬度方向Y上滑動，通過檢查裝置14對玻璃基板28上 進(jìn)行掃描。這時最好根據(jù)需要對檢查裝置14的垂直方向的位置進(jìn)行微 調(diào)整。當(dāng)掃描結(jié)束時，在搬運(yùn)方向X使玻璃基板28移動規(guī)定距離，再次停止搬運(yùn)后，進(jìn)行第2次掃描。這樣，通過進(jìn)行多次的掃描，由檢査裝置14從上面28b檢查玻璃基板28。這時，由于提高了玻璃基板 28的保持剛性，所以抑制了振動，可提高玻璃基板28的檢査精度。然后，對經(jīng)過檢査區(qū)域搬運(yùn)到基座16的后級的已結(jié)束檢查的玻璃 基板28，解除保持構(gòu)件24的吸附。而且，將玻璃基板28搬出系統(tǒng)外， 并且為了對下一個玻璃基板28進(jìn)行檢查，將保持構(gòu)件24返回基座16 的前級。如以上的詳細(xì)敘述，在本實(shí)施例中，在通過基板浮起裝置28對玻 璃基板28進(jìn)行空氣的吹出及吸引吋，由于在吹氣流路66上可以產(chǎn)生 壓力損失，所以可以提高玻璃基板28的保持剛性。其結(jié)果，在由檢査 裝置14的檢查區(qū)域，可以抑制玻璃基板28的振動，可以提高檢查精 度。本發(fā)明并不限于上述的實(shí)施方式，也可以進(jìn)行各種變形。例如， 如圖7中所示，基板浮起組件100也可以將各組件102、 104在垂直于 上下面的方向?qū)盈B而構(gòu)成。圖7 (a)是變形例所涉及的第二級基板浮 起組件102的俯視圖，圖7 (b)是變形例所涉及的第一級基板浮起組 件104的俯視圖，圖7 (c)是圖7 (a)及圖7 (b)中所示的C-C線截 面圖(對各組件進(jìn)行積層的狀態(tài))。各基板浮起組件102、 104如圖7中所示，具有大體為長方體狀的 外形。在基板浮起組件102、 104的上面，設(shè)置有吹出空氣的吹氣口 54、 及吸引空氣的吸氣口56。并且，在基板浮起組件102、 104的下面，設(shè) 置有導(dǎo)入空氣的導(dǎo)入口 60、及排出空氣的排氣口 62。吸氣口 56和排 氣口 62設(shè)置在上下面的相對的位置，通過吸氣流路64進(jìn)行連通。從 而，吸氣流路64在垂直于上下面的方向延伸。另一方面，導(dǎo)入口 60和吹氣口 54設(shè)置在上下面的相互離開的位 置。而且，這些導(dǎo)入口 60和吹氣口 54通過吹氣流路66連通。該吹氣 流路66包括多個小流路68、及流路截面積比小流路68大的多個大流 路70。另外，吹氣流路66具有大體彎曲成直角的彎曲部R，在該彎曲
部R上設(shè)有大流路70。此處，第一級的基板浮起組件104的吸氣口 56，設(shè)置在與第二級 基板浮起組件102的排氣口 62對應(yīng)的位置，第一級的基板浮起組件104 的吹氣口 54，設(shè)置在與第二級基板浮起組件102的導(dǎo)入口 60對應(yīng)的位置。而且，在第一級基板浮起組件104上層疊第二級基板浮起組件 102，吸氣流路62之間進(jìn)行氣密連接，吹氣流路66之間進(jìn)行氣密連接。當(dāng)采用這種層疊式基板浮起組件100時，由于在有限的設(shè)置空間 內(nèi)較長地利用吹氣流路66，所以可以充分利用壓力損失。另外，在上述實(shí)施方式所涉及的基板浮起組件50中，如圖8中所 示，也可以在下面58設(shè)置多個用于導(dǎo)入空氣的導(dǎo)入口 60，使這些多個 導(dǎo)入口 60-1至60-3對吹氣流路66在不同位置連通。這里，圖8(a) 是變形例所涉及的基板浮起組件50的俯視圖，圖8 (b)是圖8 (a) 中所示的B-B線截面圖。這樣，例如選擇一個導(dǎo)入口 60-2并堵住其他 的導(dǎo)入口 60-1及60-3，可以將吹氣流路66的長度調(diào)整為比圖4中說 明的情況更短。這樣，可以進(jìn)行壓力損失的微調(diào)整。另外，在上述實(shí)施方式所涉及的基板浮起組件50中，也可以如下 地構(gòu)成吹氣流路66。圖9是從基板浮起組件50只抽出吹氣流路66和 吸氣流路64來表示的立體圖。圖10是只抽出吹氣流路66及吸氣流路 64來表示的俯視圖、側(cè)視圖，及從A-A線到E-E線向視圖。如圖9及圖10中所示，交替配置大流路70和小流路68而構(gòu)成吹 氣流路66。因此，在內(nèi)壁面構(gòu)成立方體或長方體的大流路70上，連接 流入側(cè)和流出側(cè)的小流路68。大流路70和小流路68間的連接形式大 體有3種模式，在適當(dāng)位置分別使用這3種模式的連接方式。艮口，如圖11所示， 一種形式是流入側(cè)和流出側(cè)的小流路68分別 與大流路70的相互鄰接的內(nèi)壁面200、 202連接。而且，流入側(cè)及流 出側(cè)中的一個小流路68連接在內(nèi)壁面200的中央部，另一個小流路68 連接在距上述一個小流路68連接位置最遠(yuǎn)位置的內(nèi)壁面202的角部。
小流路68的截面為矩形或圓形，其流路的截面積為大流路70的流路 截面積的1/16 1/4，最好為9分之1左右。圖ll (a)和圖ll (b)表 示連接小流路68的角部不同的情況。在圖9及圖10中所示的吹氣流 路66屮，在I所示的大流路70上利用了圖11 (b)的連接形式，而在 XVII所示的大流路70中利用了圖11 (a)的連接形式。另外，如圖12中所示， 一種形式是流入側(cè)和流出側(cè)的小流路68， 分別連接在大流路70相互鄰接的內(nèi)壁面204、 206上。另外，流入側(cè) 及流出側(cè)中的一個小流路68連接在內(nèi)壁面204的一個角部，另一個小 流路68與內(nèi)壁面206的一個角部連接，該內(nèi)壁面206的一個角部和內(nèi) 壁面204上的位于上述一個角部的對角線上的角部一起形成一個頂部 P。小流路68的截面為矩形或圓形，其流路的截面積為大流路70的流 路截而積的1/16 1/4，最好為9分之1左右。并且，圖12 (a)和圖12 (b)表示小流路68連接的角部不同的情況。在圖9及圖10中所示的 吹氣流路66中，在用II、 IV、 VII、 VIII、 XI、 XIV所示的大流路70 上利用了圖12 (a)的連接形式，而在V、 VI、 IX、 XII、 XV所示的 大流路70中利用了圖12 (b)的連接形式。另外，如圖13中所示， 一種形式是流入側(cè)和流出側(cè)的小流路68 分別連接在大流路70相對的內(nèi)壁面208、 210上。而且，流入側(cè)的小 流路68連接在內(nèi)壁面208的一個角部，而流出側(cè)的小流路68連接在 位于離上述一個角部最遠(yuǎn)的位置的內(nèi)壁面210的角部上。小流路68的 截面為矩形或圓形，其流路截面積為大流路70的流路截面積的 1/16 1/4，最好為9分之1左右。在圖9及圖10中所示的吹氣流路66 中，在III、 X、 XIII、 XVI所示的大流路70上利用了圖13的連接形式。通過從圖11至圖13中所示的連接形式，可以利用更大的壓力損 失，可以實(shí)現(xiàn)基板浮組件50的小型化。圖14作為一個比較例，表示 了流入側(cè)和流出側(cè)的小流路68分別連接在大流路70相對的內(nèi)壁面 220、 222中央部上的連接形式。實(shí)際上在測量從圖11到圖13中所示 的連接形式和圖14中所示的連接形式所得到的壓力損失時，可以確認(rèn)
在從圖11到圖13中所示的連接形式中，可得到在圖14中所示的連接 形式所得到的值的5倍左右的壓力損失。另外，在上述實(shí)施方式中，多個基板浮起組件50配置成二維狀， 在其上放置定板80構(gòu)成基板浮起裝置26，但是多個基板浮起組件50 也可以不進(jìn)行組件化而構(gòu)成為二維展開的一體物。這時，相當(dāng)于一個 組件的部分構(gòu)成基板浮起組件50。但是，當(dāng)像基板浮起組件50那樣進(jìn) 行組件化時，可以靈活對應(yīng)搬運(yùn)物的多種尺寸，所以是所希望的。另外，在上述的基板檢査系統(tǒng)10中，做成通過滑動構(gòu)件44使檢 査裝置14在寬度方向Y上滑動來掃描玻璃基板28的結(jié)構(gòu)，但是也可 以利用將檢查裝置14在寬度方向Y排列成陣列狀的檢查裝置陣列，構(gòu) 成基板檢査系統(tǒng)。這樣，則不需要在寬度方向Y掃描玻璃基板28，可 提高檢査效率。另外，在上述的實(shí)施方式中，對于在基板檢査系統(tǒng)10中使用包括 基板浮起裝置26的載物臺裝置11的例子進(jìn)行了說明，但是在玻璃基 板28的上而28b，涂敷光致抗蝕劑液或?qū)盈B形成濾色片時的墨水等涂 敷液的涂敷系統(tǒng)中也可以使用本發(fā)明。在這樣的涂敷系統(tǒng)中，由于可 以提高玻璃基板28的保持剛性，抑制振動，所以也可以進(jìn)行涂敷液的均勻涂敷。另外，在上述的實(shí)施方式中，對作為搬運(yùn)物搬運(yùn)玻璃基板28進(jìn)行 了說明，但是搬運(yùn)物也可以是膠片及半導(dǎo)體基板等其他構(gòu)件。另外，本發(fā)明也可以適用于例如制造等離子顯示屏(PDP)的PDP 制造裝置、及進(jìn)行半導(dǎo)體基板的缺陷等檢査的半導(dǎo)體檢査裝置等其他 系統(tǒng)中。
權(quán)利要求
1、一種搬運(yùn)物浮起組件，包括從設(shè)置在一個主面?zhèn)鹊拇禋饪诖党隹諝獾拇禋饬髀?、及從設(shè)置在上述一個主面?zhèn)鹊奈鼩饪谖諝獾奈鼩饬髀?，其特征在于，上述吹氣流路具有流路截面積不連續(xù)變化的部分。
2、 如權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)物浮起組件，其特征在于，上述吹氣流路具有小流路、及流路截面積比該小流路大的大流路。
3、 如權(quán)利要求2所述的搬運(yùn)物浮起組件，其特征在于， 上述吹氣流路是交替配置多個上述小流路和多個上述大流路而構(gòu)成的。 '
4、 如權(quán)利要求3所述的搬運(yùn)物浮起組件，其特征在于， 上述吹氣流路在沿著上述一個主面的方向延伸。
5、 如權(quán)利要求4所述的搬運(yùn)物浮起組件，其特征在于， 上述吹氣流路具有大體彎曲成直角的彎曲部，在該彎曲部設(shè)有上述大流路。
6、 如權(quán)利要求3 5中的任一項(xiàng)所述的搬運(yùn)物浮起組件，其特征在于，上述吸氣流路沿著與上述--個主面大體垂直的方向延伸，除了上 述吸氣流路的部分實(shí)質(zhì)上由上述吹氣流路占據(jù)。
7、 如權(quán)利要求3 6中的任一項(xiàng)所述的搬運(yùn)物浮起組件，其特征在于，在與上述一個主面相對的另一個主面?zhèn)仍O(shè)有多個用于向上述吹氣 流路導(dǎo)入空氣的導(dǎo)入口。多個上述導(dǎo)入口在不同的位置與上述吹氣流路連通。
8、 如權(quán)利要求3所述的搬運(yùn)物浮起組件，其特征在于， 上述多個大流路中的至少某一個內(nèi)壁面構(gòu)成立方體或長方體，流入側(cè)和流出側(cè)的上述小流路分別與該大流路的相互對置的第1及第2 的內(nèi)壁面相連接；流入側(cè)的上述小流路與上述第1內(nèi)壁面的一個角部相連接，流出側(cè)的上述小流路與位于距離上述一個角部最遠(yuǎn)的位置的上述第2內(nèi)壁 面的一個角部相連接。
9、 如權(quán)利要求3或8所述的搬運(yùn)物浮起組件，其特征在于， 上述多個大流路中的至少某一個內(nèi)壁而構(gòu)成立方體或長方體，流入側(cè)和流出側(cè)的上述小流路分別與該大流路的相互鄰接的第1及第2 的內(nèi)壁面相連接；流入側(cè)及流出側(cè)中的一個上述小流路與上述第1內(nèi)壁面的一個角 部相連接，不同于上述一個小流路的另一個上述小流路與上述第2內(nèi) 壁面的一個角部相連接，該第2內(nèi)壁面的一個角部與在上述第1內(nèi)壁 上的位于上述一個角部的對角線上的角部一起形成一個頂部。
10、 如權(quán)利要求3、 8或9所述的搬運(yùn)物浮起組件，其特征在于， 上述多個大流路口l ，的至少某 一 個的內(nèi)壁面構(gòu)成立方體或長方體，流入側(cè)和流出側(cè)的上述小流路分別與該大流路的相互鄰接的第1及第 2的內(nèi)壁面相連接；流入側(cè)及流出側(cè)中的一個上述小流路與上述第1內(nèi)壁面的中央部 相連接，不同于上述一個小流路的另一個上述小流路，與位于距離上 述一個小流路的連接位置最遠(yuǎn)的位置的上述第2內(nèi)壁面的角部相連接。
11、 一種搬運(yùn)物浮起組件，其特征在于，具有多個如權(quán)利要求1 10中的任一項(xiàng)所述的搬運(yùn)物浮起組件； 多個上述搬運(yùn)物浮起組件層疊在與上述一個主面垂直的方向上。
12、 一種搬運(yùn)物浮起裝置，其特征在于，具有多個如權(quán)利要求1 11中的任一項(xiàng)所述的搬運(yùn)物浮起組件， 多個上述搬運(yùn)物浮起組件在沿著上述一個主面的方向上配置成二 維狀。
13、 如權(quán)利要求12所述的搬運(yùn)物浮起裝置，其特征在于，包括具有多個貫通孔的定板，上述定板被放置在二維配置的多個上述搬運(yùn)物浮起組件的上述一 個主面上，上述多個貫通孔與上述吹氣口及上述吸氣口氣密連通。
14、 一種載物臺裝置，其特征在于，包括 如權(quán)利要求]2或13中所述的搬運(yùn)物浮起裝置；及 夾持搬運(yùn)物并通過上述搬運(yùn)物浮起裝置上的搬運(yùn)裝置。
全文摘要
本發(fā)明的搬運(yùn)物浮起組件(50)包括從設(shè)置在上面(52)側(cè)的吹氣口(54)吹出空氣的吹氣流路(66)、及從設(shè)置在上面(52)側(cè)的吸氣口(56)吸引空氣的吸氣流路(64)。吹氣流路(66)具有流路截面積不同的大流路(70)和小流路(68)，并具有流路截面積不連續(xù)變化的部分。這樣，在流路截面積不連續(xù)變化的部分產(chǎn)生壓力損失，可以提高作為搬運(yùn)物的玻璃基板的保持剛性。
文檔編號B65G49/05GK101133488SQ200680006888
公開日2008年2月27日 申請日期2006年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月3日
發(fā)明者川地俊一, 藤川正行 申請人:住友重機(jī)械工業(yè)株式會社