技術(shù)編號：4168867
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及以非接觸方式使玻璃基板等搬運(yùn)物浮起的搬運(yùn)物浮起 組件、搬運(yùn)物浮起裝置、及具有它的載物臺裝置。背景技術(shù)過去，已知通過空氣以非接觸方式使玻璃基板等搬運(yùn)物浮起的技 術(shù)。例如在專利文獻(xiàn)1中公開了如下技術(shù)通過吹氣流路從移動臺的 下面吹出空氣使其浮起，并且通過吸氣流路吸引空氣，提高平面移動 剛性(即，保持剛性)的技術(shù)。專利文獻(xiàn)1(日本)特開平6-56234號公報但是，由于從移動臺的下面只是吹出空氣且進(jìn)行吸引，不能得到 基板的充分的保持剛性，所以在搬運(yùn)基板并進(jìn)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。