專利名稱：基板處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)半導(dǎo)體基板、液晶顯示裝置用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、光盤用基板等(以下稱為“基板”)進(jìn)行處理的基板處理裝置，特別是涉及為了在存放器容置·搬送單元中高效地搬送存放器而進(jìn)行的改良。
背景技術(shù)：
從以往開始，公知具有存放器容置·搬送單元的基板處理裝置，該存放器容置·搬送單元容置存放有基板的存放器的同時(shí)，為了在基板處理單元之間交接基板而對(duì)存放器進(jìn)行搬送處理(例如，專利文獻(xiàn)1)。這里，專利文獻(xiàn)1的基板處理裝置具有使加載器10的深度變小而能夠減少占地面積的優(yōu)點(diǎn)。
專利文獻(xiàn)1JP特開2002-231785號(hào)公報(bào)可是，在專利文獻(xiàn)1的基板處理裝置中，由于加載部的搬送機(jī)械手配設(shè)在容置貨架與加載端口之間，所以在加載端口與加載部之間進(jìn)行存放器的交接時(shí)，需要使搬送機(jī)械手退避到適當(dāng)?shù)奈恢谩?br> 另外，在專利文獻(xiàn)1的基板處理裝置中，通過(guò)一臺(tái)搬送機(jī)械手在容置貨架與開啟部之間進(jìn)行搬送。因此，幾乎無(wú)法同時(shí)執(zhí)行從容置貨架向開啟部的搬送和從開啟部向容置貨架的搬送。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明目的在于提供一種能夠在存放器容置·搬送單元中高效地搬送存放器的基板處理裝置。
(1).為了解決上述課題，本發(fā)明提供一種基板處理裝置，其對(duì)基板進(jìn)行處理，其特征在于，具有基板處理單元，其用于對(duì)基板進(jìn)行處理；存放器容置·搬送單元，其與上述基板處理單元并排設(shè)置，并容置以及搬送存放基板的存放器；第一裝載部，其并排設(shè)置在上述存放器容置·搬送單元上，并裝載上述存放器，上述存放器容置·搬送單元具有多個(gè)貨架，其保持上述存放器；第二裝載部，其配置在上述基板處理單元與上述多個(gè)貨架之間，并裝載存放器；第一搬送部，其在上述第一裝載部與上述多個(gè)貨架之間搬送存放器；第二搬送部，其在上述多個(gè)貨架與上述第二裝載部之間搬送存放器。
(2).如上述(1)所述的基板處理裝置，其特征在于，上述第一搬送部配置在上述第一裝載部與上述多個(gè)貨架之間，同時(shí)從上述多個(gè)貨架的一個(gè)方向側(cè)對(duì)上述多個(gè)貨架搬送存放器。
(3).如上述(2)所述的基板處理裝置，其特征在于，上述第二搬送部配置在上述基板處理單元與上述多個(gè)貨架之間，同時(shí)從上述多個(gè)貨架的另一個(gè)方向側(cè)對(duì)上述多個(gè)貨架搬送存放器。
(4).如上述(3)所述的基板處理裝置，其特征在于，上述第一搬送部以及第二搬送部具有從存放器的下側(cè)保持存放器的保持元件，上述多個(gè)貨架具有用于使上述保持元件沿鉛垂方向通過(guò)的通過(guò)部。
(5).如上述(4)所述的基板處理裝置，其特征在于，上述存放器容置·搬送單元還具有判斷部，該判斷部可裝載存放器的同時(shí)，對(duì)容置在存放器內(nèi)的基板的存放狀況進(jìn)行判斷。
(6).如上述(5)所述的基板處理裝置，其特征在于，上述第一搬送部在上述判斷部與上述第一裝載部之間進(jìn)行對(duì)存放器的搬送。
(7).如上述(6)所述的基板處理裝置，其特征在于，上述存放器容置·搬送單元還具有定向部，其調(diào)整基板的位置；第三搬送部，其從裝載在上述判斷部的存放器中逐張取出基板，并向上述定向部搬送基板，同時(shí)將在上述定向部調(diào)整過(guò)位置的基板向裝載在上述判斷部的存放器逐張搬送。
(8).如上述(1)所述的基板處理裝置，其特征在于，沿著上述鉛垂方向以及水平方向二維排列上述多個(gè)貨架。
(9).如上述(1)所述的基板處理裝置，其特征在于，上述存放器容置·搬送單元還具有升降機(jī)構(gòu)，該升降機(jī)構(gòu)保持裝載在上述第二裝載部上的存放器，同時(shí)使其升降。
(10).如上述(5)所述的基板處理裝置，其特征在于，上述判斷部具有開閉機(jī)構(gòu)，其開閉位于上述判斷部的存放器的開閉蓋；計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)，其對(duì)存放在存放器中的基板的張數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，該存放器處于通過(guò)上述開閉機(jī)構(gòu)被開閉的狀態(tài)。
(11).如上述(1)所述的基板處理裝置，其特征在于，具有開閉機(jī)構(gòu)，具開閉裝載在上述第二裝載部的存放器的開閉蓋。
(12).如上述(11)所述的基板處理裝置，其特征在于，上述基板處理單元具有搬送機(jī)構(gòu)，其對(duì)于裝載在上述第二裝載部的存放器進(jìn)行搬出搬入。
根據(jù)上述(1)～(12)所述的發(fā)明，能夠同步執(zhí)行在第一裝載部與多個(gè)貨架之間通過(guò)第一搬送部執(zhí)行的搬送處理和在第二裝載部與多個(gè)貨架之間通過(guò)第二搬送部執(zhí)行的搬送處理。因此，能夠提高存放器容置·搬送單元、乃至基板處理裝置的處理能力。
特別是，根據(jù)上述(2)所述的發(fā)明，第一搬送部配置在第一裝載部與多個(gè)貨架之間，從而能夠容易地訪問(wèn)第一裝載部以及多個(gè)貨架的存放器。
特別是，根據(jù)上述(3)所述的發(fā)明，第二搬送部配置在多個(gè)貨架與第二裝載部之間，從而能夠容易地訪問(wèn)多個(gè)貨架以及第二裝載部的存放器。另外，第一搬送部以及第二搬送部能夠從一個(gè)方向側(cè)以及另一個(gè)方向側(cè)訪問(wèn)裝載在多個(gè)貨架的存放器。因此，能夠無(wú)需考慮第一搬送部以及第二搬送部在空間上的干涉而設(shè)定各搬送部的同步動(dòng)作。
特別是，根據(jù)上述(4)所述的發(fā)明，通過(guò)使保持存放器的保持元件從通過(guò)部經(jīng)過(guò)，而能夠從保持元件分別對(duì)多個(gè)貨架直接交接存放器。另外，通過(guò)使保持元件從保持在多個(gè)貨架的存放器的下方上升，而能夠從多個(gè)貨架接收存放器。因此，能夠縮短交接存放器的動(dòng)作所需的時(shí)間，從而能夠進(jìn)一步提高存放器容置·搬送單元、乃至基板處理裝置的處理能力。
特別是，根據(jù)上述(5)所述的發(fā)明，能夠通過(guò)與第二裝載部另外設(shè)置的判斷部來(lái)判斷存放器中的基板的存放狀況。由此，能夠同步執(zhí)行將基板搬送到基板處理單元的處理和判斷存放器的存放狀況的處理。因此，能夠進(jìn)一步提高存放器容置·搬送單元、乃至基板處理裝置的處理能力。
特別是，根據(jù)上述(6)所述的發(fā)明，能夠?qū)⒀b載在第一裝載部的存放器搬送到存放器容置·搬送單元的判斷部。由此，能夠迅速地確認(rèn)容置在搬入到存放器容置·搬送單元的存放器內(nèi)的基板的存放狀況，從而能夠減少確認(rèn)該存放狀況所需的等待時(shí)間。因此，能夠進(jìn)一步提高存放器容置·搬送單元、乃至基板處理裝置的處理能力。
特別是，根據(jù)上述(7)所述的發(fā)明，能夠同步執(zhí)行從第二裝載部向基板處理單元搬送基板的處理和調(diào)整從判斷部逐張取出的基板的姿態(tài)的定向處理。因此，能夠抑制在存放器容置·搬送單元中執(zhí)行處理的處理能力的降低，同時(shí)也能夠調(diào)整基板的姿態(tài)。
特別是，根據(jù)上述(8)所述的發(fā)明，通過(guò)對(duì)多個(gè)貨架進(jìn)行二維排列，而能夠提高從第一搬送部以及第二搬送部的訪問(wèn)效率，同時(shí)也能夠抑制基板處理裝置的占地面積的增大。
特別是，根據(jù)上述(9)所述的發(fā)明，能夠通過(guò)升降機(jī)構(gòu)使裝載在第二裝載部的存放器上升到第二裝載部的上方。由此，在使第二搬送部在多個(gè)貨架與第二裝載部之間往復(fù)一次的期間，能夠?qū)⒋娣牌鲝亩鄠€(gè)貨架向第二裝載部搬送，以及能夠?qū)⒋娣牌鲝牡诙b載部向多個(gè)貨架搬送。因此，能夠在存放器容置·搬送單元中高效地搬送存放器。
特別是，根據(jù)上述(10)所述的發(fā)明，能夠?qū)Υ娣旁谖挥谂袛嗖康拇娣牌髦械幕宓膹垟?shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。
特別是，根據(jù)上述(11)所述的發(fā)明，能夠開閉裝載在第二裝載部的存放器的開閉蓋。
特別是，根據(jù)上述(12)所述的發(fā)明，能夠通過(guò)搬送機(jī)構(gòu)對(duì)裝載在第二裝載部上的存放器進(jìn)行搬出搬入處理。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的基板處理裝置的全體結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的FOUP的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖3是本發(fā)明第一實(shí)施方式中的裝載·卸載部的俯視圖。
圖4是本發(fā)明第一實(shí)施方式中的裝載·卸載部的正視圖。
圖5是貨架構(gòu)件以及FOUP的剖視圖。
圖6是貨架構(gòu)件附近的俯視圖。
圖7是本發(fā)明第二實(shí)施方式中的裝載·卸載部的俯視圖。
圖8是本發(fā)明第二實(shí)施方式中的裝載·卸載部的正視圖。
圖9是本發(fā)明第一以及第二實(shí)施方式中的第二開閉機(jī)構(gòu)以及搬送機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。
圖10是本發(fā)明第一以及第二實(shí)施方式中的第一以及第二開閉機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖并針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。
(第一實(shí)施方式)1.1.基板處理裝置的構(gòu)成圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的基板處理裝置1的全體結(jié)構(gòu)的立體圖。基板處理裝置1是依次進(jìn)行以下基板處理的裝置，即，將存放在FOUP(frontopening unified pod前開式統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)箱)80中的一組多個(gè)基板(Lot組)從FOUP取出，并對(duì)該多個(gè)基板進(jìn)行使用氟酸等藥液的蝕刻處理和使用純水的沖洗處理等。如圖1所示，基板處理裝置1主要具有加載端口10、裝載·卸載部100、基板處理單元200。此外，在圖1及以后的各附圖中，根據(jù)要明確這些結(jié)構(gòu)的方向關(guān)系的需要，設(shè)有以Z軸方向?yàn)殂U垂方向、以XY平面為水平面的XYZ正交坐標(biāo)系。
這里，針對(duì)FOUP(存放器)80進(jìn)行說(shuō)明。圖2是表示FOUP80的結(jié)構(gòu)的立體圖。在FOUP80的筐體81上部形成有凸緣82。通過(guò)由升降臂171(參照?qǐng)D3以及圖4)把持凸緣82，使FOUP80以吊掛的狀態(tài)被保持。
另外，筐體81的一面(從圖2中的箭頭AR1的方向觀察的面)上設(shè)置有蓋83。在蓋83上設(shè)置有相對(duì)筐體81的鎖定機(jī)構(gòu)。若在將蓋83安裝在筐體81上的狀態(tài)下使鎖定機(jī)構(gòu)執(zhí)行其功能，則蓋83固定在筐體81上而筐體81內(nèi)部成為一個(gè)密封的閉空間。
由此，在基板處理裝置1的外部搬送FOUP80時(shí)，將蓋83安裝在筐體81上并使鎖定機(jī)構(gòu)執(zhí)行其功能，而能夠使筐體81內(nèi)部成為密封空間。因此，F(xiàn)OUP80內(nèi)部不會(huì)受到設(shè)置有基板處理裝置1的凈化間的潔凈度的影響而維持高潔凈度。
另一方面，當(dāng)解除上述鎖定機(jī)構(gòu)時(shí)，能夠?qū)⑸w83從筐體81上打開，從而能夠從筐體81的內(nèi)部取出基板、以及向筐體81的內(nèi)部存放基板。此外，例如將25片或者13片基板以使其各自的主面沿著水平方向的方式存放到筐體81中。
加載端口(第一裝載部)10是裝載基板處理裝置1的外部的搬送裝置(例如，AGV(Automatic Guided Vehicle無(wú)人搬運(yùn)車))、從基板處理裝置1的操作員那里交接的FOUP80的裝載臺(tái)。如圖1所示，加載端口10與裝載·卸載部100并排設(shè)置，并在其裝載面10a上同時(shí)裝載有多個(gè)(在本實(shí)施方式中是4個(gè))FOUP80。
另外，如圖1以及圖3所示，針對(duì)裝載·卸載部100的加載端口10側(cè)的側(cè)面，設(shè)有多個(gè)(在本實(shí)施方式中是4個(gè))擋板11。若開放擋板11，則形成連通基板處理裝置1的外部空間與裝載·卸載部100的內(nèi)部空間的開口部。
因此，裝載·卸載部100的搬送機(jī)械手130a(參照?qǐng)D3以及圖4)能夠通過(guò)該開口部在加載端口10與裝載·卸載部100的內(nèi)側(cè)空間之間搬送FOUP80。即，從加載端口10向裝載·卸載部100搬送存放有未處理基板的FOUP80。另外，從裝載·卸載部100向加載端口10搬送存放有由基板處理單元200處理過(guò)的處理完成基板的FOUP80。
裝載·卸載部100將裝載在加載端口10上的FOUP80暫時(shí)容置在其內(nèi)部，同時(shí)被作為將存放有基板的FOUP80向基板處理單元200側(cè)搬送的存放器容置·搬送單元來(lái)使用。如圖1所示，裝載·卸載部100被配置于夾在加載端口10與基板處理單元200之間的部位。
另外，基板處理單元200具有用于在第二裝載部160與基板處理單元200之間對(duì)基板進(jìn)行交接的第二開閉機(jī)構(gòu)180以及搬送機(jī)構(gòu)190。如圖3以及圖9所示，這些第二開閉機(jī)構(gòu)180以及搬送機(jī)構(gòu)190配設(shè)在裝載·卸載部100的擋板161附近。
圖9是基板處理單元200的第二開閉機(jī)構(gòu)180以及搬送機(jī)構(gòu)190的側(cè)視圖。另外，圖10是第二開閉機(jī)構(gòu)180的側(cè)視圖?；逄幚韱卧?00的內(nèi)部具有儲(chǔ)存藥液的藥液槽和儲(chǔ)存純水的水洗槽，并通過(guò)將基板儲(chǔ)存在這些藥液槽和水洗槽中，而對(duì)基板實(shí)施規(guī)定的基板處理。
如圖9以及圖10所示，第二開閉機(jī)構(gòu)180主要具有鎖定部181與升降部182。鎖定部181能夠與FOUP80的蓋83相嵌合。另外，鎖定部181安裝在可動(dòng)部182b的一端部。當(dāng)升降部182的汽缸182a使可動(dòng)部182b沿著箭頭AR2方向(大致為Z軸方向)進(jìn)退運(yùn)動(dòng)時(shí)，鎖定部181沿著箭頭AR2方向升降(參照?qǐng)D9)。進(jìn)而，鎖定部181通過(guò)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)(省略圖示)，能夠沿著箭頭AR3方向(Y軸方向)移動(dòng)(參照?qǐng)D10)。
因此，若鎖定部181以與蓋83相嵌合的狀態(tài)沿著箭頭AR2、AR3方向移動(dòng)，則裝載在第二裝載部160上的FOUP80的筐體81內(nèi)部空間被開放或被密封。
搬送機(jī)構(gòu)190主要具有支撐部191與進(jìn)退部192。搬送機(jī)構(gòu)190在擋板161被開放的同時(shí)，裝載在第二裝載部160上的FOUP80的蓋83被打開時(shí)，對(duì)該FOUP80進(jìn)行基板的搬出搬入處理。
支撐部191主要具有多個(gè)(在本實(shí)施方式中是25根或13根)支撐臂191a與安裝構(gòu)件191b。各支撐臂191a向水平方向(大致Y軸方向)延伸的同時(shí)沿著鉛垂方向(大致Z軸方向)以等間隔配置，并以基板的主面與XY平面大致平行的方式進(jìn)行支撐。另外，各支撐臂191a的基板處理單元200側(cè)的端部安裝在向鉛垂方向延伸的安裝構(gòu)件191b上。
另外，安裝構(gòu)件191b的下側(cè)端部設(shè)置在進(jìn)退部192的可動(dòng)托架192a上。如圖9所示，進(jìn)退部192具有三個(gè)托架(可動(dòng)托架192a、192b、以及固定托架192c)，并各托架從上到下按192a、192b、192c的順序配設(shè)。進(jìn)而，進(jìn)退部192的固定托架192c安裝在軸支撐在基臺(tái)193上的旋轉(zhuǎn)軸194上，而使進(jìn)退部192能夠以軸心194c為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。
由此，就進(jìn)退部192而言，通過(guò)使可動(dòng)托架192b相對(duì)于固定托架192c進(jìn)行進(jìn)退運(yùn)動(dòng)，同時(shí)使192a相對(duì)于可動(dòng)托架192b進(jìn)行進(jìn)退運(yùn)動(dòng)，使支撐部191在實(shí)線位置與虛線位置之間移動(dòng)。因此，存放在FOUP80的筐體81內(nèi)部的未處理基板，一邊由搬送機(jī)構(gòu)190的支撐部191支撐，一邊搬入到基板處理單元200內(nèi)。另外，在基板處理單元200中實(shí)施過(guò)基板處理的處理完成基板，一邊由支撐部191被支撐，一邊從基板處理單元200搬出，并存放到FOUP80的筐體81內(nèi)。
這樣，由基板處理單元200的搬送機(jī)構(gòu)190從裝載·卸載部100交接到基板處理單元200的基板，通過(guò)儲(chǔ)存在這些藥液槽、水洗槽內(nèi)，而實(shí)施如清洗處理等規(guī)定的基板處理。另外，將完成了規(guī)定處理的基板由搬送機(jī)構(gòu)190從基板處理單元200搬送到裝載·卸載部100。
圖1所示的控制單元50具有存儲(chǔ)器51，其存儲(chǔ)程序和變量；CPU52，其執(zhí)行根據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器51中的程序的控制。另外，裝載·卸載部100的擋板11、搬送機(jī)械手130、以及升降機(jī)170(參照?qǐng)D3)等的控制對(duì)象，通過(guò)沒(méi)有圖示的信號(hào)線與控制單元50電連接。因此，CPU52根據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器51內(nèi)的程序，使這些控制對(duì)象以規(guī)定的定時(shí)進(jìn)行工作。
1.2.裝載·卸載部的結(jié)構(gòu)圖3以及圖4分別是本實(shí)施方式中的裝載·卸載部100的俯視圖以及正視圖。圖5是貨架構(gòu)件141a以及FOUP80的剖視圖。圖6是貨架構(gòu)件141a附近的俯視圖。在這里，針對(duì)作為存放器容置·搬送單元來(lái)使用的裝載·卸載部100進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
如圖3以及圖4所示，裝載·卸載部100主要具有兩個(gè)搬送機(jī)械手130(130a、130b)、貨架陳列140、兩個(gè)裝載部(第二以及第三裝載部160、150)。
另外，如圖3所示，配置在裝載·卸載部100內(nèi)的各元件分別沿著水平方向(大致X軸方向)配置，而排成3列。即，在從加載端口10側(cè)開始數(shù)起第一列中配設(shè)有搬送機(jī)械手(第一搬送部)130a、第三裝載部(判斷部)150。另外，在第二列中配設(shè)有貨架陳列140。此外，在第三列中配設(shè)有搬送機(jī)械手(第二搬送部)130b、第二裝載部160。
貨架陳列140是容置多個(gè)(在本實(shí)施方式中是16個(gè))FOUP80的容置部。即，在貨架陳列140中，不僅容置有已容置未處理基板的FOUP80，還容置行已取出基板后的空的FOUP80。如圖3以及圖4所示，貨架陳列140是將多個(gè)貨架沿著鉛垂方向(Z軸方向)與水平方向(X軸方向)進(jìn)行二維排列而成的陳列。
多個(gè)貨架各自具有一對(duì)貨架構(gòu)件141a。如圖5以及圖6所示，各貨架構(gòu)件141a具有大致L字型的形狀，并以各貨架構(gòu)件141a的長(zhǎng)度方向與Y軸方向大致平行的方式安裝在相對(duì)應(yīng)的機(jī)架145上。另外，在貨架構(gòu)件141a的裝載FOUP80的一側(cè)的面上，設(shè)有與設(shè)在FOUP80的下部的孔部85相對(duì)應(yīng)的突起部142。因此，通過(guò)將一對(duì)貨架構(gòu)件141a的突起部142嵌合在FOUP80的孔部85，能夠?qū)OUP80穩(wěn)定地保持在貨架構(gòu)件141a上。
這樣，在本實(shí)施方式中，一對(duì)貨架構(gòu)件141a作為容置FOUP80的容置貨架來(lái)使用，另外，將夾在一對(duì)貨架構(gòu)件141a之間的區(qū)域作為容置FOUP80的容置空間141來(lái)使用。
另外，在構(gòu)成容置貨架的兩個(gè)貨架構(gòu)件141a之間，形成有比搬送機(jī)械手130(130a、130b)的前端部139的尺寸更大的開口部146。而且，如圖4所示，各開口部146沿著鉛垂方向(Z軸方向)配置。
因此，搬送機(jī)械手130的前端部139一邊通過(guò)這些開口部146一邊在貨架陳列140的內(nèi)部升降。即，包含在貨架陳列140中的多個(gè)容置貨架的各個(gè)開口部146，成為在鉛垂方向可通過(guò)前端部139的通過(guò)部。
如圖3所示，搬送機(jī)械手130a、130b是分別配置在從貨架陳列140觀察時(shí)的加載端口10側(cè)以及基板處理單元200側(cè)的FOUP搬送部。即，搬送機(jī)械手(第一搬送部)130a中間隔著貨架陳列140而配設(shè)在搬送機(jī)械手(第二搬送部)130b的反向側(cè)的位置。
此外，在本實(shí)施方式中，兩個(gè)機(jī)械手130a、130b具有大致相同的硬件結(jié)構(gòu)。因此，在以下的說(shuō)明中，在無(wú)需區(qū)別搬送機(jī)械手130a與搬送機(jī)械手130b時(shí)，簡(jiǎn)單地稱為“搬送機(jī)械手130”。
搬送機(jī)械手130的前端部139是從下側(cè)保持FOUP80的保持元件，具有大致呈三角的形狀。在前端部139的上表面?zhèn)鹊母黜旤c(diǎn)附近，設(shè)有突起部139a。另外，在FOUP80的下部，設(shè)有與突起部139a相對(duì)應(yīng)的三個(gè)孔部87(參照?qǐng)D5由于圖示的關(guān)系，只記載了三個(gè)中的兩個(gè))。另外，前端部139經(jīng)由與Z軸大致平行地設(shè)置的旋轉(zhuǎn)軸134b而安裝在臂部138a上，從而能夠以旋轉(zhuǎn)軸134b為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。因此，搬送機(jī)械手130一邊使前端部139旋轉(zhuǎn)，一邊通過(guò)將三個(gè)突起部139a嵌合到FOUP80上相對(duì)應(yīng)的孔部86中，來(lái)穩(wěn)定保持FOUP80。
進(jìn)而，臂部138a經(jīng)由與Z軸大致平行地設(shè)置的旋轉(zhuǎn)軸134c而安裝在臂部138b上，臂部138b經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸134a而安裝在固定臺(tái)136上。另外，固定臺(tái)136可升降地設(shè)置在向鉛垂方向(Z軸方向)延伸的支柱131上。進(jìn)而，支柱131能夠沿著向水平(X軸方向)方向延伸的導(dǎo)軌132滑動(dòng)。
由此，搬送機(jī)械手130(130a、130b)使被保持在前端部139上的FOUP80沿著貨架陳列140在水平方向上移動(dòng)，同時(shí)使其在鉛垂方向升降。由此，搬送機(jī)械手130a在貨架陳列140的容置貨架、加載端口10、以及第三裝載部150之間搬送FOUP80。另外，搬送機(jī)械手130b在貨架陳列140的容置貨架與第二裝載部160之間搬送FOUP80。
搬送機(jī)械手130a進(jìn)行將從加載端口10搬入的FOUP80從加載端口10搬送到貨架陳列140的處理、從加載端口10搬送到第三裝載部150的處理、從第三裝載部150搬送到貨架陳列140的處理、將存放在貨架陳列140內(nèi)的FOUP80向加載端口10搬送的處理。
另外，用搬送機(jī)械手130b進(jìn)行將存放在貨架陳列140內(nèi)的FOUP80從貨架陳列140搬送到第二裝載部160的處理、從第三裝載部150向貨架陳列140搬送的處理。
這樣，搬送機(jī)械手130a、130b中間隔著貨架陳列140而相對(duì)向配置，而能夠幾乎同時(shí)進(jìn)行多個(gè)搬送處理，從而能夠提高裝載·卸載部100整體上的處理能力。另外，除了訪問(wèn)同一個(gè)容置貨架時(shí)以外，搬送機(jī)械手130a、130b能夠在空間上互不干涉地執(zhí)行FOUP80的搬送。因此，能夠無(wú)需考慮搬送機(jī)械手130a、130b的干涉而設(shè)定各機(jī)械手的動(dòng)作。
進(jìn)而，在本實(shí)施方式中，在加載端口10與基板處理單元200之間執(zhí)行的FOUP80的搬送，并不是由加載端口10具有的搬送部來(lái)執(zhí)行，而是由裝載·卸載部100的兩個(gè)搬送機(jī)械手130a、130b來(lái)執(zhí)行。因此，在本實(shí)施方式中，從加載端口10向基板處理單元200搬送FOUP80時(shí)，任何一個(gè)搬送機(jī)械于130a、130b也不需要退避，從而能夠高效地執(zhí)行FOUP80的搬送。
此外，在搬送機(jī)械手130(130a、130b)與貨架陳列140的各容置貨架之間進(jìn)行的FOUP80的搬送按照以下的方式進(jìn)行。即，將FOUP80從搬送機(jī)械手130交接到容置貨架時(shí)，首先，移動(dòng)搬送機(jī)械手130的前端部139，使容置在容置貨架內(nèi)的FOUP80的底部88的高度位置(Z軸方向位置)比貨架構(gòu)件141a(141b、141c)的上面143(參照?qǐng)D5)的高度位置更高。其次，使前端部139下降，從而使一對(duì)貨架構(gòu)件141a(141b、141c)的突起部142嵌合到FOUP80的孔部85。
而且，通過(guò)進(jìn)一步使前端部139下降，使FOUP80裝載在一對(duì)貨架構(gòu)件141a(141b、141c)的上面143上，同時(shí)通過(guò)使前端部139的突起部139a從孔部87分離，從而結(jié)束將FOUP80從搬送機(jī)械手130交接到容置貨架的處理。
另一方面，將FOUP80從容置貨架交接到搬送機(jī)械手130時(shí)，首先，將搬送機(jī)械手130的前端部139移動(dòng)到裝載在容置貨架中的FOUP80的下方。接下來(lái)，使前端部139上升，從而使前端部139的突起部139a嵌入到FOUP80的孔部87。
而且，通過(guò)使前端部139進(jìn)一步上升，F(xiàn)OUP80由前端部139保持，并且，突起部142從孔部85分離，從而結(jié)束將FOUP80從容置貨架交接到搬送機(jī)械手130的處理。
這樣，在搬送機(jī)械手130與容置貨架之間進(jìn)行FOUP80的搬送的過(guò)程中，F(xiàn)OUP80被移動(dòng)到貨架構(gòu)件141a(141b、141c)的上方。因此，將容置空間141的高度設(shè)定成比FOUP80的高度更高。
第二裝載部160為了將存放在FOUP80內(nèi)的基板交接到基板處理單元200而被使用，并如圖3所示，從貨架陳列140觀察時(shí)，其配置在基板處理單元200側(cè)。
貨架構(gòu)件141b與貨架構(gòu)件141a同樣是具有大致L字型的形狀、且在FOUP80側(cè)的面上具有多個(gè)(在本實(shí)施方式中是三個(gè))突起部的構(gòu)件。如圖3以及圖4所示，貨架構(gòu)件141b配設(shè)成使其長(zhǎng)度方向與X軸方向大致平行。
另外，在第二裝載部160附近的基板處理單元200側(cè)的側(cè)壁上，設(shè)有可以沿箭頭AR4方向(大致Z軸方向參照?qǐng)D9)升降的擋板161。當(dāng)開放擋板161時(shí)，形成連通裝載·卸載部100的內(nèi)部空間與基板處理單元200的內(nèi)部空間的開口部。
因此，當(dāng)在一對(duì)貨架構(gòu)件141b上裝載有FOUP80時(shí)，基板處理單元200的第二開閉機(jī)構(gòu)180打開FOUP80的蓋83，同時(shí)基板處理單元200的搬送機(jī)構(gòu)190從FOUP80取出未處理基板，并經(jīng)由因開放擋板161而形成的開口部，而將未處理基板向基板處理單元200內(nèi)搬送。
另一方面，在基板處理單元200中結(jié)束對(duì)基板進(jìn)行的清洗、干燥等處理之后，開放擋板161，搬送機(jī)構(gòu)190通過(guò)開口部將處理完成基板向FOUP80內(nèi)搬送，第二開閉機(jī)構(gòu)180關(guān)閉FOUP80的蓋83。
第二裝載部160的升降機(jī)170是使裝載在一對(duì)貨架構(gòu)件141b上的FOUP80，在裝載位置(圖4的實(shí)線位置)與退避位置(圖4的點(diǎn)劃線位置)之間升降的升降部。如圖4所示，升降機(jī)170配設(shè)在一對(duì)貨架構(gòu)件141b的上方，并具有升降臂171。
升降臂171可以把持形成在FOUP80上方的凸緣82(把持部)，同時(shí)也可以解除其把持狀態(tài)。另外，升降臂171能夠通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(省略圖示)沿著鉛垂方向(Z軸方向)升降。
由此，第二裝載部160能夠一邊通過(guò)升降臂171來(lái)把持凸緣82，一邊使向基板處理單元200供給基板并使已空的FOUP80上升到退避位置(圖4的點(diǎn)劃線位置)。
因此，搬送機(jī)械手130b能夠緊接著將存放有未處理基板的FOUP80交接到第二裝載部160的裝載位置的處理，進(jìn)行從第二裝載部160接收上升到退避位置的空的FOUP80的處理。即，使搬送機(jī)械手130b在貨架陳列140與第二裝載部160之間只往復(fù)一次，就能夠執(zhí)行存放有基板的FOUP80與空的FOUP80的調(diào)換作業(yè)。其結(jié)果，能夠進(jìn)一步提高在裝載·卸載部100中執(zhí)行的處理的處理能力。
第三裝載部150用于執(zhí)行對(duì)存放在從加載端口10搬入的FOUP80內(nèi)的基板的張數(shù)進(jìn)行確認(rèn)等的映射(mapping)處理，并配置在從貨架陳列140觀察為加載端口10側(cè)的位置。即，第三裝載部150中間隔著貨架陳列140而配設(shè)在第二裝載部160的反向側(cè)。
另外，在第三裝載部150配設(shè)有開閉FOUP80的蓋83的第一開閉機(jī)構(gòu)185。如圖10所示，第一開閉機(jī)構(gòu)185具有與第二開閉機(jī)構(gòu)180同樣的硬件結(jié)構(gòu)。因此，當(dāng)?shù)谝婚_閉機(jī)構(gòu)185的鎖定部181與蓋83相嵌合的同時(shí)向箭頭AR2、AR3方向移動(dòng)時(shí)，裝載在第二裝載部160上的FOUP80的筐體81內(nèi)部空間被開放或被密封。
貨架構(gòu)件141c與貨架構(gòu)件141a、141b同樣是具有大致L字型的形狀以及突起部的構(gòu)件，并以使其長(zhǎng)度方向與X軸方向大致水平的方式安裝(參照?qǐng)D3以及圖4)。進(jìn)而，如圖3所示，第三裝載部150具有對(duì)存放在內(nèi)部的基板的張數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)的計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)187。
因此，當(dāng)在一對(duì)貨架構(gòu)件141c上裝載有FOUP80時(shí)，開閉機(jī)構(gòu)打開FOUP80的蓋83，同時(shí)計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)187對(duì)存放在FOUP80內(nèi)部的基板的張數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。這樣，將第三裝載部150作為對(duì)存放在FOUP80內(nèi)的基板的存放狀況進(jìn)行判斷的判斷部來(lái)使用。
如圖4所示，第三裝載部150的升降機(jī)170是配設(shè)在一對(duì)貨架構(gòu)件141c的上方的升降部，具有與第二裝載部160的升降機(jī)170同樣的硬件結(jié)構(gòu)。即，第二裝載部160的升降機(jī)170使裝載在一對(duì)貨架構(gòu)件141c上的FOUP80，在裝載位置(圖4的實(shí)線位置)與退避位置(圖4的點(diǎn)劃線位置)之間升降。
由此，第三裝載部150能夠通過(guò)升降臂171來(lái)把持凸緣82，同時(shí)可使結(jié)束映射處理的FOUP80上升到退避位置(圖4的點(diǎn)劃線位置)。
因此，搬送機(jī)械手130a能夠緊接著將還未實(shí)施映射處理的FOUP80交接到第三裝載部150的裝載位置的處理，執(zhí)行從第三裝載部150接收實(shí)施過(guò)映射處理開上升到退避位置的FOUP80的處理。即，使搬送機(jī)械手130a在貨架陳列140與第二裝載部160之間只往復(fù)一次，就能夠執(zhí)行結(jié)束映射處理的FOUP80與還未實(shí)施映射處理的FOUP80的交替作業(yè)。其結(jié)果，能夠進(jìn)一步提高在裝載·卸載部100中執(zhí)行的處理的處理能力。
這里，在只設(shè)有一個(gè)開啟部的以往的裝載·卸載部中，映射處理通常在設(shè)在基板處理單元200側(cè)的第二裝載部160中執(zhí)行。即，在第二裝載部160中，執(zhí)行將基板交接到基板處理裝置200的處理和映射處理。
因此，在只設(shè)有一個(gè)開啟部時(shí)，存放在FOUP80內(nèi)的基板搬入到基板處理單元200之前，有時(shí)需要將其在第二裝載部160與貨架陳列140之間搬送，而發(fā)生搬送工序的浪費(fèi)。
另外，在映射處理中，基板處理單元200側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)(省略圖示)無(wú)法將基板從第二裝載部160搬入到基板處理單元200。因此，會(huì)產(chǎn)生這樣的不妥在裝載·卸載部100執(zhí)行的處理的處理能力受到第二裝載部160中的處理速度的制約。
對(duì)此，在本實(shí)施方式的裝載·卸載部100中，能夠同步進(jìn)行通過(guò)第二以及第三裝載部160、150將基板搬入到基板處理單元200的處理和映射處理。另外，不需象以往的裝載·卸載部那樣，在將基板搬入到基板處理單元200之前使FOUP80在貨架陳列140與第二裝載部160之間往復(fù)搬送，從而能夠減少在第二裝載部160中的處理等待時(shí)間。因此，能夠進(jìn)一步提高裝載·卸載部100中的搬送的處理能力。
1.3.第一實(shí)施方式的基板處理裝置優(yōu)點(diǎn)如上所述，在第一實(shí)施方式的基板處理裝置1的裝載·卸載部100中，中間隔著貨架陳列140，在加載端口(第一裝載部)10側(cè)配置有搬送機(jī)械手(第一搬送部)130a，并在基板處理裝置200側(cè)配置有搬送機(jī)械手(第二搬送部)130b。由此，除了訪問(wèn)同一容置貨架時(shí)以外，兩個(gè)搬送機(jī)械手130a、130b能夠互不干涉地同步執(zhí)行FOUP80的搬送。
因此，能夠進(jìn)一步提高在裝載·卸載部100執(zhí)行的搬送的處理能力、以及基板處理裝置1的處理能力。另外，能夠無(wú)需考慮搬送機(jī)械手130a、130b的空間上的干涉而設(shè)定各搬送機(jī)械手130a、130b的動(dòng)作。
另外，裝載·卸載部100具有兩個(gè)裝載部(第二以及第三裝載部160、150)，而同步執(zhí)行在第三裝載部150中的映射處理和在第二裝載部160中的向基板處理單元200交接基板的處理。即，第二裝載部160不需要象以往的裝載·卸載部那樣執(zhí)行映射處理，而只要執(zhí)行基板的交接即可，從而能夠減少象以往裝置那樣的在第二裝載部160的處理等待時(shí)間。因此，能夠進(jìn)一步提高在裝載·卸載部100中的搬送的處理能力、以及基板處理裝置1的處理能力。
(第二實(shí)施方式)2.第二實(shí)施方式接下來(lái)，針對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。第二實(shí)施方式中的基板處理裝置與第一實(shí)施方式中的基板處理裝置1相比，除了裝載·卸載部500還具有使基板按規(guī)定方向定向的定向部以外，其他都與第一實(shí)施方式相同。此外，在以下的說(shuō)明中，對(duì)與在第一實(shí)施方式的基板處理裝置中的結(jié)構(gòu)要素相同的結(jié)構(gòu)要素，附以同一符號(hào)。
2.1.基板處理裝置的結(jié)構(gòu)圖1是表示本實(shí)施方式中的基板處理裝置400的全體結(jié)構(gòu)的立體圖?；逄幚硌b置400是依次進(jìn)行以下基板處理的裝置，即，將存放在FOUP(frontopening unified pod前開式統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)箱)80中的一組多個(gè)基板(Lot組)從FOUP取出，并對(duì)該多個(gè)基板進(jìn)行使用氟酸等藥液的蝕刻處理和使用純水的沖洗處理等。如圖1所示，基板處理裝置400主要具有加載端口10、裝載·卸載部500、基板處理單元200。此外，在圖1及以后的各附圖中，根據(jù)要明確這些結(jié)構(gòu)的方向關(guān)系的需要，設(shè)有以Z軸為鉛垂方向、以XY平面為水平面的XYZ正交坐標(biāo)系。
加載端口(第一裝載部)10是裝載基板處理裝置400外部的搬送裝置(例如，AGV(Automatic Guided Vehicle無(wú)人搬運(yùn)車))、從基板處理裝置400的操作員那里交接的FOUP80的裝載臺(tái)。如圖1所示，加載端口10與裝載·卸載部500并排設(shè)置，并在其裝載面10a上同時(shí)裝載有多個(gè)(在本實(shí)施方式中是4個(gè))FOUP80。
另外，如圖1以及圖7所示，針對(duì)裝載·卸載部500的加載端口10側(cè)的側(cè)面，設(shè)有多個(gè)(在本實(shí)施方式中是4個(gè))擋板11。若開放擋板11，則形成連通基板處理裝置400的外部空間與裝載·卸載部500的內(nèi)部空間的開口部。
因此，裝載·卸載部500的搬送機(jī)械手130a(參照?qǐng)D7以及圖8)能夠通過(guò)該開口部在加載端口10與裝載·卸載部500的內(nèi)側(cè)空間之間對(duì)FOUP80進(jìn)行搬送。即，從加載端口10向裝載·卸載部500搬送存放有未處理基板的FOUP80。另外，將存放有由基板處理單元200處理過(guò)的處理完成基板的FOUP80，從裝載·卸載部500交接到加載端口10。
裝載·卸載部500將裝載在加載端口10上的FOUP80暫時(shí)容置在其內(nèi)部，同時(shí)被作為將存放有基板的FOUP80向基板處理單元200側(cè)交接的存放器容置·搬送單元來(lái)使用。如圖1所示，裝載·卸載部500被配置于夾在加載端口10與基板處理單元200之間的部位。
另外，基板處理單元200具有用于在第二裝載部160與基板處理單元200之間對(duì)基板進(jìn)行交接的第二開閉機(jī)構(gòu)180以及搬送機(jī)構(gòu)190。如圖3以及圖9所示，這些第二開閉機(jī)構(gòu)180以及搬送機(jī)構(gòu)190配設(shè)在裝載·卸載部500的擋板161附近。
圖9是基板處理單元200的第二開閉機(jī)構(gòu)180以及搬送機(jī)構(gòu)190的側(cè)視圖。另外，圖10是第二開閉機(jī)構(gòu)180的側(cè)視圖?；逄幚韱卧?00的內(nèi)部具有儲(chǔ)存藥液的藥液槽和儲(chǔ)存純水的水洗槽，通過(guò)將基板儲(chǔ)存在這些藥液槽和水洗槽中，對(duì)基板實(shí)施規(guī)定的基板處理。
如圖9以及圖10所示，第二開閉機(jī)構(gòu)180主要具有鎖定部181與升降部182。鎖定部181能夠與FOUP80的蓋83相嵌合。另外，鎖定部181安裝在可動(dòng)部182b的一端部。當(dāng)升降部182的汽缸182a使可動(dòng)部182b沿著箭頭AR2方向(大致為Z軸方向)進(jìn)退運(yùn)動(dòng)時(shí)，鎖定部181沿著箭頭AR2方向升降(參照?qǐng)D9)。進(jìn)而，鎖定部181通過(guò)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)(省略圖示)，能夠沿著箭頭AR3方向(Y軸方向)移動(dòng)(參照?qǐng)D10)。
因此，若鎖定部181以與蓋83相嵌合的狀態(tài)沿著箭頭AR2、AR3方向移動(dòng)，則裝載在第二裝載部160上的FOUP80的筐體81內(nèi)部空間被開放或被密封。
搬送機(jī)構(gòu)190主要具有支撐部191與進(jìn)退部192。搬送機(jī)構(gòu)190在擋板161被開放的同時(shí)，裝載在第二裝載部160上的FOUP80的蓋83被打開時(shí)，對(duì)該FOUP80進(jìn)行基板的搬出搬入處理。
支撐部191主要具有多個(gè)(在本實(shí)施方式中是25根或13根)支撐臂191a與安裝構(gòu)件191b。各支撐臂191a向水平方向(大致Y軸方向)延伸的同時(shí)沿著鉛垂方向(大致Z軸方向)以等間隔配置，并以基板的主面與XY平面大致平行的方式進(jìn)行支撐。另外，各支撐臂191a的基板處理單元200側(cè)的端部安裝在向鉛垂方向延伸的安裝構(gòu)件191b上。
另外，安裝構(gòu)件191b的下側(cè)端部設(shè)置在進(jìn)退部192的可動(dòng)托架192a上。如圖9所示，進(jìn)退部192具有三個(gè)托架(可動(dòng)托架192a、192b、以及固定托架192c)，并各托架從上到下按192a、192b、192c的順序配設(shè)。進(jìn)而，進(jìn)退部192的固定托架192c安裝在軸支撐在基臺(tái)193上的旋轉(zhuǎn)軸194上，而使進(jìn)退部192能夠以軸心194c為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。
由此，進(jìn)退部192通過(guò)使可動(dòng)托架192b相對(duì)于固定托架192c進(jìn)行進(jìn)退運(yùn)動(dòng)，同時(shí)使192a相對(duì)于可動(dòng)托架192b進(jìn)行進(jìn)退運(yùn)動(dòng)，從而使支撐部191在實(shí)線位置與虛線位置之間移動(dòng)。因此，存放在FOUP80的筐體81內(nèi)部的未處理基板，一邊由搬送機(jī)構(gòu)190的支撐部191支撐，一邊搬入到基板處理單元200內(nèi)。另外，在基板處理單元200中實(shí)施過(guò)基板處理的處理完成基板，一邊由支撐部191被支撐，一邊從基板處理單元200搬出，并存放到FOUP80的筐體81內(nèi)。
這樣，由基板處理單元200的搬送機(jī)構(gòu)190從裝載·卸載部500交接到基板處理單元200的基板，通過(guò)儲(chǔ)存在這些藥液槽、水洗槽內(nèi)，而實(shí)施如清洗處理等規(guī)定的基板處理。另外，將完成了規(guī)定處理的基板由搬送機(jī)構(gòu)190從基板處理單元200搬送到裝載·卸載部500。
圖1所示的控制單元50具有存儲(chǔ)器51，其存儲(chǔ)程序和變量；CPU52，其執(zhí)行根據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器51中的程序的控制。另外，裝載·卸載部500的擋板11、搬送機(jī)械手130、以及升降機(jī)170(參照?qǐng)D7)等的控制對(duì)象，通過(guò)沒(méi)有圖示的信號(hào)線與控制單元50電連接。因此，CPU52根據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器51內(nèi)的程序，使這些控制對(duì)象以規(guī)定的定時(shí)進(jìn)行工作。
2.2.裝載·卸載部的結(jié)構(gòu)圖7以及圖8分別是本實(shí)施方式中的裝載·卸載部500的俯視圖以及正視圖。圖5是貨架構(gòu)件141a以及FOUP80的剖視圖。圖6是貨架構(gòu)件141a附近的俯視圖。在這里，針對(duì)作為存放器容置·搬送單元來(lái)使用的裝載·卸載部500進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
如圖7以及圖8所示，裝載·卸載部500主要具有三個(gè)搬送機(jī)械手130(130a、130b)、530、貨架陳列140、兩個(gè)裝載部(第二以及第三裝載部160、150)、定向部510。
另外，如圖7所示，配置在裝載·卸載部500內(nèi)的各元件分別沿著水平方向(大致X軸方向)配置，而排成3列。即，在從加載端口10側(cè)開始數(shù)起第一列中配設(shè)有搬送機(jī)械手(第一搬送部)130a、第三裝載部(判斷部)150。另外，在第二列中配設(shè)有貨架陳列140、定向部510、搬送機(jī)械手530。進(jìn)而，在第三列中配設(shè)有搬送機(jī)械手(第二搬送部)130b、第二裝載部160。
貨架陳列140是容置多個(gè)(在本實(shí)施方式中是14個(gè))FOUP80的容置部。即，在貨架陳列140中，不僅容置有已容置未處理基板的FOUP80，還容置有已取出基板后的空的FOUP80。如圖7以及圖8所示，貨架陳列140是將多個(gè)貨架沿著鉛垂方向(Z軸方向)與水平方向(X軸方向)進(jìn)行二維定向而成的陳列。
多個(gè)貨架各自具有一對(duì)貨架構(gòu)件141a。如圖5以及圖6所示，各貨架構(gòu)件141a具有大致L字型的形狀，并以各貨架構(gòu)件141a的長(zhǎng)度方向與Y軸方向大致平行的方式安裝在相對(duì)應(yīng)的機(jī)架145上。另外，在貨架構(gòu)件141a的裝載FOUP80的一側(cè)的面上，設(shè)有與設(shè)在FOUP80的下部的孔部85相對(duì)應(yīng)的突起部142。因此，通過(guò)將一對(duì)貨架構(gòu)件141a的突起部142嵌合在FOUP80的孔部85，能夠?qū)OUP80穩(wěn)定地保持在貨架構(gòu)件141a上。
這樣，在本實(shí)施方式中，一對(duì)貨架構(gòu)件141a作為容置FOUP80的容置貨架來(lái)使用，另外，將夾在一對(duì)貨架構(gòu)件141a之間的區(qū)域作為容置FOUP80的容置空間141來(lái)使用。
另外，在構(gòu)成容置貨架的兩個(gè)貨架構(gòu)件141a之間，形成有比搬送機(jī)械于130(130a、130b)的前端部139的尺寸更大的開口部146。而且，如圖8所示，各開口部146沿著鉛垂方向(Z軸方向)配置。
因此，搬送機(jī)械手130的前端部139一邊通過(guò)這些開口部146一邊在貨架陳列140的內(nèi)部升降。即，包含在貨架陳列140中的多個(gè)容置貨架的各個(gè)開口部146，成為在鉛垂方向能夠通過(guò)前端部139的通過(guò)部。
如圖7所示，搬送機(jī)械手130a、130b是分別配置在從貨架陳列140觀察時(shí)的加載端口10側(cè)以及基板處理單元200側(cè)的FOUP搬送部。即，搬送機(jī)械手(第一搬送部)130a中間隔著貨架陳列140而配設(shè)在搬送機(jī)械手(第二搬送部)130b的反向側(cè)的位置。
搬送機(jī)械手130的前端部139是從下側(cè)保持FOUP80的保持元件，具有大致呈三角的形狀。在前端部139的上表面?zhèn)鹊母黜旤c(diǎn)附近，設(shè)有突起部139a。另外，在FOUP80的下部，設(shè)有與突起部139a相對(duì)應(yīng)的三個(gè)孔部87(參照?qǐng)D7由于圖示的關(guān)系上只記載了三個(gè)中的兩個(gè))。另外，前端部139經(jīng)由與Z軸大致平行地設(shè)置的旋轉(zhuǎn)軸134b而安裝在臂部138a上，從而能夠以旋轉(zhuǎn)軸134b為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。因此，搬送機(jī)械手130一邊使前端部139旋轉(zhuǎn)，一邊通過(guò)將三個(gè)突起部139a嵌合到FOUP80上相對(duì)應(yīng)的孔部86中，來(lái)穩(wěn)定保持FOUP80。
進(jìn)而，臂部138a經(jīng)由與Z軸大致平行地設(shè)置的旋轉(zhuǎn)軸134c而安裝在臂部138b上，臂部138b經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸134a而安裝在固定臺(tái)136上。另外，固定臺(tái)136可升降地設(shè)置在向鉛垂方向(Z軸方向)延伸的支柱131上。進(jìn)而，支柱131能夠沿著向水平(X軸方向)方向延伸的導(dǎo)軌132滑動(dòng)。
由此，搬送機(jī)械手130(130a、130b)使被保持在前端部139上的FOUP80沿著貨架陳列140在水平方向上移動(dòng)，同時(shí)使其在鉛垂方向上升降。由此，搬送機(jī)械手130a在貨架陳列140的容置貨架、加載端口10、以及第三裝載部150之間搬送FOUP80。另外，搬送機(jī)械手130b在貨架陳列140的容置貨架與第二裝載部160之間搬送FOUP80。
搬送機(jī)械手130a進(jìn)行將從加載端口10搬入的FOUP80從加載端口10搬送到貨架陳列140的處理、從加載端口10搬送到第三裝載部150的處理、從第三裝載部150搬送到貨架陳列140的處理、將存放在貨架陳列140內(nèi)的FOUP80向加載端口10搬送的處理。
另外，用搬送機(jī)械手130b進(jìn)行將存放在貨架陳列140內(nèi)的FOUP80從貨架陳列140搬送到第二裝載部160的處理、從第三裝載部150向貨架陳列140搬送的處理。
這樣，搬送機(jī)械手130a、130b中間隔著貨架陳列140而相對(duì)向配置，而能夠在幾乎同時(shí)進(jìn)行多個(gè)搬送處理，從而能夠提高裝載·卸載部500整體上的處理能力。另外，除了訪問(wèn)同一容置貨架時(shí)以外，搬送機(jī)械手130a、130b能夠在空間上互不干涉地執(zhí)行FOUP80的搬送。因此，能夠無(wú)需考慮搬送機(jī)械手130a、130b的干涉而設(shè)定各機(jī)械手的動(dòng)作。
進(jìn)而，在本實(shí)施方式中，在加載端口10與基板處理單元200之間執(zhí)行的FOUP80的搬送，并不是由加載端口10具有的搬送部來(lái)執(zhí)行，而是由裝載·卸載部500的兩個(gè)搬送機(jī)械手130a、130b來(lái)執(zhí)行。因此，在本實(shí)施方式中，從加載端口10向基板處理單元200搬送FOUP80時(shí)，任何一個(gè)搬送機(jī)械手130a、130b也不需要退避，從而能夠高效地執(zhí)行FOUP80的搬送。
此外，在搬送機(jī)械手130(130a、130b)與貨架陳列140的各容置貨架之間進(jìn)行的FOUP80的搬送按照以下的方式進(jìn)行。即，將FOUP80從搬送機(jī)械手130交接到容置貨架時(shí)，首先，移動(dòng)搬送機(jī)械手130的前端部139，使容置在容置貨架內(nèi)的FOUP80的底部88的高度位置(Z軸方向位置)比貨架構(gòu)件141a(141b、141c)的上面143(參照?qǐng)D7)的高度位置更高。其次，使前端部139下降，從而使一對(duì)貨架構(gòu)件141a(141b、141c)的突起部142嵌合到FOUP80的孔部85。
而且，通過(guò)進(jìn)一步使前端部139下降，使FOUP80裝載在一對(duì)貨架構(gòu)件141a(141b、141c)的上面143上，同時(shí)通過(guò)使前端部139的突起部139a從孔部87分離，結(jié)束將FOUP80從搬送機(jī)械手130交接到容置貨架的處理。
另一方面，將FOUP80從容置貨架交接到搬送機(jī)械手130時(shí)，首先，將搬送機(jī)械手130的前端部139移動(dòng)到裝載在容置貨架中的FOUP80的下方。接下來(lái)，使前端部139上升，從而使前端部139的突起部139a嵌入到FOUP80的孔部87。
而且，通過(guò)使前端部139進(jìn)一步上升，F(xiàn)OUP80由前端部139保持，并且，通過(guò)突起部142從孔部85分離，而結(jié)束將FOUP80從容置貨架交接到搬送機(jī)械手130的處理。
此外，在搬送機(jī)械手130與容置貨架之間進(jìn)行FOUP80的搬送的過(guò)程中，F(xiàn)OUP80被移動(dòng)到貨架構(gòu)件141a(141b、141c)的上方。因此，將容置空間141的高度設(shè)定成比FOUP80的高度更高。
第二裝載部160為了將存放在FOUP80內(nèi)的基板交接到基板處理單元200而被使用，并如圖7所示，從貨架陳列140觀察時(shí)，其配置在基板處理單元200側(cè)。
貨架構(gòu)件141b與貨架構(gòu)件141a同樣是具有大致L字型的形狀、且在FOUP80側(cè)的面上具有多個(gè)(在本實(shí)施方式中是三個(gè))突起部的構(gòu)件。如圖7以及圖8所示，貨架構(gòu)件141b配設(shè)成使其長(zhǎng)度方向與X軸方向大致平行。
另外，在第二裝載部160附近的基板處理單元200側(cè)的側(cè)壁上，設(shè)有可以沿箭頭AR4方向(大致Z軸方向參照?qǐng)D9)升降的擋板161。當(dāng)開放擋板161時(shí)，形成連接裝載·卸載部500的內(nèi)部空間與基板處理單元200的內(nèi)部空間的開口部。
因此，當(dāng)在一對(duì)貨架構(gòu)件141b上裝載有FOUP80時(shí)，基板處理單元200的第二開閉機(jī)構(gòu)180打開FOUP80的蓋83，同時(shí)基板處理單元200的搬送機(jī)構(gòu)190從FOUP80取出未處理基板，并經(jīng)由因開放擋板161而形成的開口部，而將未處理基板向基板處理單元200內(nèi)搬送。
另一方面，在基板處理單元200中結(jié)束對(duì)基板進(jìn)行的清洗、干燥等處理之后，開放擋板161，搬送機(jī)構(gòu)190通過(guò)開口部將處理完成的基板向FOUP80內(nèi)搬送，第二開閉機(jī)構(gòu)180關(guān)閉FOUP80的蓋83。
第二裝載部160的升降機(jī)170是使裝載在一對(duì)貨架構(gòu)件141b上的FOUP80，在裝載位置(圖8的實(shí)線位置)與退避位置(圖8的點(diǎn)劃線位置)之間升降的升降部。如圖8所示，升降機(jī)170配設(shè)在一對(duì)貨架構(gòu)件141b的上方，并具有升降臂171。
升降臂171可以把持形成在FOUP80上方的凸緣82(把持部)，同時(shí)也可以解除其把持狀態(tài)。另外，升降臂171能夠通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(省略圖示)沿著鉛垂方向(Z軸方向)升降。
由此，第二裝載部160能夠一邊通過(guò)升降臂171來(lái)把持凸緣82，一邊使向基板處理單元200供給基板并使已空的FOUP80上升到退避位置(圖8的點(diǎn)劃線位置)。
因此，搬送機(jī)械手130b能夠緊接著將存放有未處理基板的FOUP80交接到第二裝載部160的裝載位置的處理，進(jìn)行從第二裝載部160接收上升到退避位置的空的FOUP80的處理。即，使搬送機(jī)械手130b在貨架陳列140與第二裝載部160之間只往復(fù)一次，就能夠執(zhí)行存放有基板的FOUP80與空的FOUP80的調(diào)換作業(yè)。其結(jié)果，能夠進(jìn)一步提高在裝載·卸載部500中執(zhí)行的處理的處理能力。
第三裝載部150用于執(zhí)行對(duì)存放在從加載端口10搬入的FOUP80內(nèi)的基板的張數(shù)等進(jìn)行確認(rèn)等的映射處理，并配置在從貨架陳列140觀察為加載端口10側(cè)的位置。即，第三裝載部150中間隔著貨架陳列140而配設(shè)在第二裝載部160的相反側(cè)。
另外，在第三裝載部150配設(shè)有開閉FOUP80的蓋83的第一開閉機(jī)構(gòu)185。如圖10所示，第一開閉機(jī)構(gòu)185具有與第二開閉機(jī)構(gòu)180同樣的硬件結(jié)構(gòu)。因此，當(dāng)?shù)谝婚_閉機(jī)構(gòu)185的鎖定部181與蓋83相嵌合的同時(shí)向箭頭AR2、AR3方向移動(dòng)時(shí)，裝載在第二裝載部160上的FOUP80的筐體81內(nèi)部空間被開放或被密封。
貨架構(gòu)件141c與貨架構(gòu)件141a、141b同樣是具有大致L字型的形狀以及突起部的構(gòu)件，并以使其長(zhǎng)度方向與X軸方向大致水平的方式安裝(參照?qǐng)D7以及圖8)。進(jìn)而，如圖7所示，第三裝載部150具有對(duì)存放在內(nèi)部的基板的張數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)的計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)187。
因此，當(dāng)在一對(duì)貨架構(gòu)件141c上裝載有FOUP80時(shí)，第一開閉機(jī)構(gòu)185打開FOUP80的蓋83，同時(shí)計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)187對(duì)存放在FOUP80內(nèi)部的基板的張數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。這樣，將第三裝載部150作為對(duì)存放在FOUP80內(nèi)的基板的存放狀況進(jìn)行判斷的判斷部來(lái)使用。
如圖8所示，第三裝載部150的升降機(jī)170是配設(shè)在一對(duì)貨架構(gòu)件141c的上方的升降部，具有與第二裝載部160的升降機(jī)170同樣的硬件結(jié)構(gòu)。即，第二裝載部160的升降機(jī)170使裝載在一對(duì)貨架構(gòu)件141c上的FOUP80，在裝載位置(圖8的實(shí)線位置)與退避位置(圖8的點(diǎn)劃線位置)之間升降。
由此，第三裝載部150能夠通過(guò)升降臂171來(lái)把持凸緣82，同時(shí)可使結(jié)束映射處理的FOUP80上升到退避位置(圖8的點(diǎn)劃線位置)。
因此，搬送機(jī)械手130a能夠緊接著將還未實(shí)施映射處理的FOUP80交接到第三裝載部150的裝載位置的處理，而執(zhí)行從第三裝載部150接收實(shí)施過(guò)映射處理并上升到退避位置的FOUP80的處理。即，使搬送機(jī)械手130a在貨架陳列140與第二裝載部160之間只往復(fù)一次，就能夠執(zhí)行結(jié)束映射處理的FOUP80與還未實(shí)施映射處理的FOUP80的調(diào)換作業(yè)。其結(jié)果，能夠進(jìn)一步提高在裝載·卸載部500中執(zhí)行的處理的處理能力。
這里，在只設(shè)有一個(gè)開啟部的以往的裝載·卸載部中，映射處理通常在設(shè)在基板處理單元200側(cè)的第二裝載部160中執(zhí)行。即，在第二裝載部160中，執(zhí)行將基板交接到基板處理裝置200的處理和映射處理。
因此，在只設(shè)有一個(gè)開啟部時(shí)，存放在FOUP80內(nèi)的基板搬入到基板處理單元200之前，有時(shí)需要將其在第二裝載部160與貨架陳列140之間搬送，而發(fā)生搬送工序的浪費(fèi)。
另外，在映射處理中，基板處理單元200側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)(省略圖示)無(wú)法將基板從第二裝載部160搬入到基板處理單元200。因此，會(huì)產(chǎn)生這樣的不妥在裝載·卸載部500執(zhí)行處理的處理能力受到第二裝載部160中的處理速度的制約。
對(duì)此，在本實(shí)施方式的裝載·卸載部500中，能夠同步進(jìn)行通過(guò)第二以及第三裝載部160、150將基板搬入到基板處理單元200的處理和映射處理。另外，不需象以往的裝載·卸載部那樣，在將基板搬入到基板處理單元200之前使FOUP80在貨架陳列140與第二裝載部160之間往復(fù)搬送，從而能夠減少在第二裝載部160中的處理等待時(shí)間。因此，能夠進(jìn)一步提高裝載·卸載部500中的搬送的處理能力。
另外，如圖7所示，搬送機(jī)械手(第三搬送部)530配設(shè)在貨架陳列140的X軸方向上的延長(zhǎng)方向上的、夾在第二以及第三裝載部160、150之間的區(qū)域(即，第二列)。另外，搬送機(jī)械手530被配設(shè)成其高度位置(Z軸方向位置)大概與第二以及第三裝載部160、150中的FOUP80的裝載位置(圖8的實(shí)線位置)相同。
搬送機(jī)械手530具有升降臺(tái)536，并臂部538b通過(guò)與Z軸大致平行配置的旋轉(zhuǎn)軸534a而安裝在該升降臺(tái)536上。臂部538a通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸534c而安裝在該臂部538b上，并用于逐張搬送基板的前端部539，通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸534b而設(shè)置在該臂部538a上。
第三裝載部150的第一開閉機(jī)構(gòu)185打開裝載在第三裝載部150上的FOUP80的蓋83之后，通過(guò)非接觸式的檢出部(省略圖示)，對(duì)FOUP80內(nèi)的基板檢側(cè)出基板的定向面和缺口的位置。接下來(lái)，搬送機(jī)械手530的前端部539從FOUP80中逐張取出基板，并向定向部510搬送。另外，在定向部510結(jié)束基板的定向處理后，搬送機(jī)械手530的前端部539從定向部510逐張取出基板并向FOUP80搬送。
定向部510是對(duì)每張基板實(shí)施定向處理的、所謂的單張式的調(diào)整部。如圖7所示，其相鄰于搬送機(jī)械手530設(shè)在貨架陳列140內(nèi)。另外，定向部510以其高度位置成為與搬送機(jī)械手530大致相同的高度的方式被配設(shè)。這里，該定向部510基于定向平面(Orientation flat以下，稱為“定向面”)和缺口的位置來(lái)調(diào)整基板的旋轉(zhuǎn)位置。此時(shí)，基于非接觸式檢出部的檢出結(jié)果來(lái)使基板旋轉(zhuǎn)，并通過(guò)調(diào)整基板的姿態(tài)而使基板的晶體取向指向規(guī)定方向，從而結(jié)束定向處理。
這樣，在裝載·卸載部500中執(zhí)行的定向處理是對(duì)從裝載在第三裝載部150的FOUP80中取出并搬入到定向部510中的基板執(zhí)行的。即，在執(zhí)行定向處理時(shí)，在第二裝載部160沒(méi)有裝載FOUP80。
由此，在裝載·卸載部500中，能夠同步執(zhí)行以下處理從第二裝載部160向基板處理單元200交接基板的處理；在第三裝載部150與定向部510之間逐張交接基板的處理；以及在定向部510中執(zhí)行的定向處理。因此，能夠抑制在裝載·卸載部500中執(zhí)行處理的處理能力的降低，同時(shí)也能夠在裝載·卸載部500中執(zhí)行定向處理。
另外，定向部510能夠通過(guò)非接觸式檢出部來(lái)檢側(cè)出基板的定向面和缺口，從而與成批處理式調(diào)整部相比更加能夠抑制異物微粒的產(chǎn)生。因此，定向部510能夠抑制基板的處理不良的同時(shí)執(zhí)行定向處理。
2.3.第二實(shí)施方式的基板處理裝置的優(yōu)點(diǎn)如上所述，在第二實(shí)施方式的基板處理裝置400的裝載·卸載部500中，中間隔著貨架陳列140，在加載端口(第一裝載部)10側(cè)配置有搬送機(jī)械手(第一搬送部)130a，并在基板處理裝置200側(cè)配置有搬送機(jī)械手(第二搬送部)130b。由此，除了訪問(wèn)同一容置貨架時(shí)以外，兩個(gè)搬送機(jī)械手130a、130b能夠互不干涉地同步執(zhí)行FOUP80的搬送。
因此，能夠進(jìn)一步提高在裝載·卸載部500執(zhí)行的搬送的處理能力、以及基板處理裝置400的處理能力。另外，能夠無(wú)需考慮搬送機(jī)械手130a、130b的空間上的干涉而設(shè)定各搬送機(jī)械手130a、130b的動(dòng)作。
另外，裝載·卸載部500具有兩個(gè)裝載部(第二以及第三裝載部160、150)，而同步執(zhí)行在第三裝載部150中的映射處理和在第二裝載部160中的向基板處理單元200交接基板的處理。即，第二裝載部160不需象以往的裝載·卸載部那樣執(zhí)行映射處理，而只要執(zhí)行基板的交接即可，從而能夠減少象以往裝置那樣的在第二裝載部160的處理等待時(shí)間。因此，能夠進(jìn)一步提高在裝載·卸載部500中的搬送的處理能力、以及基板處理裝置400的處理能力。
另外，在裝載·卸載部500中能夠同步執(zhí)行向基板處理單元200交接基板的處理和定向處理。因此，能夠盡可能地抑制裝載·卸載部500整體上的處理能力的降低，同時(shí)能夠執(zhí)行定向處理。
進(jìn)而，由于定向部510通過(guò)非接觸式檢出部來(lái)檢側(cè)出基板的定向面和缺口，因此能夠抑制基板的處理不良的同時(shí)執(zhí)行定向處理。
權(quán)利要求
1.一種基板處理裝置，其對(duì)基板進(jìn)行處理，其特征在于，具有基板處理單元，其用于對(duì)基板進(jìn)行處理；存放器容置·搬送單元，其與上述基板處理單元并排設(shè)置，并容置及搬送存放基板的存放器；第一裝載部，其與上述存放器容置·搬送單元并排設(shè)置在，并裝載上述存放器，上述存放器容置·搬送單元具有多個(gè)貨架，其保持上述存放器；第二裝載部，其配置在上述基板處理單元與上述多個(gè)貨架之間，并裝載存放器；第一搬送部，其在上述第一裝載部與上述多個(gè)貨架之間搬送存放器；第二搬送部，其在上述多個(gè)貨架與上述第二裝載部之間搬送存放器。
2.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述第一搬送部配置在上述第一裝載部與上述多個(gè)貨架之間，同時(shí)從上述多個(gè)貨架的一個(gè)方向側(cè)對(duì)上述多個(gè)貨架搬送存放器。
3.如權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于，上述第二搬送部配置在上述基板處理單元與上述多個(gè)貨架之間，同時(shí)從上述多個(gè)貨架的另一個(gè)方向側(cè)對(duì)上述多個(gè)貨架搬送存放器。
4.如權(quán)利要求3所述的基板處理裝置，其特征在于，上述第一搬送部以及第二搬送部具有從存放器的下側(cè)保持存放器的保持元件，上述多個(gè)貨架具有用于使上述保持元件沿鉛垂方向通過(guò)的通過(guò)部。
5.如權(quán)利要求4所述的基板處理裝置，其特征在于，上述存放器容置·搬送單元進(jìn)一步具有判斷部，該判斷部裝載存放器的同時(shí)，對(duì)容置在存放器中的基板的存放狀況進(jìn)行判斷。
6.如權(quán)利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于，上述第一搬送部在上述判斷部與上述第一裝載部之間進(jìn)行存放器的搬送。
7.如權(quán)利要求6所述的基板處理裝置，其特征在于，上述存放器容置·搬送單元進(jìn)一步具有定向部，其調(diào)整基板的位置；第三搬送部，其從裝載在上述判斷部的存放器中逐張取出基板，并向上述定向部搬送基板，同時(shí)將在上述定向部調(diào)整過(guò)位置的基板逐張搬送到裝載在上述判斷部的存放器。
8.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，沿著上述鉛垂方向以及水平方向二維排列上述多個(gè)貨架。
9.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述存放器容置·搬送單元進(jìn)一步具有升降機(jī)構(gòu)，該升降機(jī)構(gòu)保持裝載在上述第二裝載部的存放器，同時(shí)使其升降。
10.如權(quán)利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于，上述判斷部具有開閉機(jī)構(gòu)，其開閉位于上述判斷部的存放器的開閉蓋；計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)，其對(duì)存放在存放器中的基板的張數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，該存放器處于通過(guò)上述開閉機(jī)構(gòu)被開閉的狀態(tài)。
11.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，具有開閉機(jī)構(gòu)，該開閉機(jī)構(gòu)開閉裝載在上述第二裝載部的存放器的開閉蓋。
12.如權(quán)利要求11所述的基板處理裝置，其特征在于，上述基板處理單元具有搬送機(jī)構(gòu)，該搬送機(jī)構(gòu)對(duì)裝載在上述第二裝載部的存放器進(jìn)行基板的搬出搬入。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠在存放器容置·搬送單元中高效地搬送存放器的基板處理裝置。搬送機(jī)械手(130a)在加載端口(10)、第三裝載部(150)、以及貨架陳列(140)之間搬送FOUP(80)。中間隔著貨架陳列(140)而配設(shè)在搬送機(jī)械手(130a)的相反側(cè)的搬送機(jī)械手(130b)，在貨架陳列(140)以及第二裝載部(160)之間搬送FOUP(80)。在第三裝載部(150)中，分別進(jìn)行映射處理、以及將存放在FOUP(80)中的基板向基板處理裝置(200)搬送的處理。由此，能夠幾乎同時(shí)進(jìn)行多個(gè)搬送處理。另外，搬送機(jī)械手(130a、130b)能夠在空間上互不干涉地執(zhí)行FOUP(80)的搬送處理。
文檔編號(hào)B65G1/04GK1819135SQ20061000695
公開日2006年8月16日 申請(qǐng)日期2006年1月26日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月28日
發(fā)明者光吉一郎 申請(qǐng)人:大日本網(wǎng)目版制造株式會(huì)社