技術(shù)編號(hào)：4390666
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種對(duì)半導(dǎo)體基板、液晶顯示裝置用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、光盤用基板等(以下稱為“基板”)進(jìn)行處理的基板處理裝置，特別是涉及為了在存放器容置·搬送單元中高效地搬送存放器而進(jìn)行的改良。背景技術(shù) 從以往開始，公知具有存放器容置·搬送單元的基板處理裝置，該存放器容置·搬送單元容置存放有基板的存放器的同時(shí)，為了在基板處理單元之間交接基板而對(duì)存放器進(jìn)行搬送處理(例如，專利文獻(xiàn)1)。這里，專利文獻(xiàn)1的基板處理裝置具有使加載器10的深度變小而能夠減少占地面積...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。