專(zhuān)利名稱：具有輔助晶圓限制系統(tǒng)的晶圓容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明大體而言涉及用于半導(dǎo)體晶圓的可密封容器，且更具體而言涉及用于晶圓容器的晶圓限制系統(tǒng)。
技術(shù)背景將半導(dǎo)體晶圓盤(pán)轉(zhuǎn)變成集成電路芯片常常涉及到許多步驟，在這些步驟 中，對(duì)晶圓盤(pán)進(jìn)行重復(fù)地處理、存儲(chǔ)及運(yùn)輸。晶圓必須在工作站之間及在工廠 之間運(yùn)輸。晶圓盤(pán)易碎且容易因?qū)嶓w震動(dòng)而受到損壞。此外，在半導(dǎo)體晶圓附 近出現(xiàn)靜電荷積聚和放電也可造成嚴(yán)重的破壞。由于晶圓具有易于損壞的性質(zhì) 且具有很高的價(jià)值，因而在這些程序中自始至終對(duì)晶圓進(jìn)行妥善保護(hù)以防止出 現(xiàn)污染物以及實(shí)體損壞和電損壞，將至關(guān)重要。人們使用專(zhuān)用載具或容器來(lái)搬運(yùn)、存儲(chǔ)及運(yùn)輸晶圓。這些裝置通常以軸向?qū)R的陣列形式來(lái)容納晶圓，其中在一陣列中具有例如25個(gè)晶圓。這些容器 的一主要組件是支撐構(gòu)件，用于在搬運(yùn)期間支撐晶圓，以保護(hù)其不會(huì)因震動(dòng)及 振動(dòng)而受到實(shí)體損壞。可為此種晶圓支撐構(gòu)件提供一接地路徑，以通過(guò)容器底 部上的機(jī)械界面耗散靜電荷?，F(xiàn)有技術(shù)的容器通常在容器門(mén)上具有晶圓限制結(jié)構(gòu)，其在所述門(mén)放置就位 時(shí)與容器中的晶圓支撐件相配合。這些晶圓限制結(jié)構(gòu)的功能是對(duì)晶圓進(jìn)行減震 并限制其運(yùn)動(dòng)，以防止因震動(dòng)而受到損壞。然而，現(xiàn)有技術(shù)的晶圓限制結(jié)構(gòu)在
某些情形中并不很令人滿意。在某些情形中，晶圓限制結(jié)構(gòu)可能會(huì)使晶圓在出 現(xiàn)實(shí)體震動(dòng)事件期間在豎向上平移得太遠(yuǎn)，導(dǎo)致晶圓自身受損或損壞相鄰的晶 圓。在某些情形中，晶圓甚至可能會(huì)移動(dòng)出晶圓限制件。在其他情形中，在此 等實(shí)體震動(dòng)事件中，晶圓可能在相鄰的晶圓限制件之間交叉錯(cuò)槽。因此，在本行業(yè)中需要一種用于晶圓載具的改良的晶圓限制系統(tǒng)，其應(yīng)通 過(guò)在出現(xiàn)實(shí)體震動(dòng)事件期間提供改良的晶圓限制來(lái)緩解上述問(wèn)題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是一種具有改良的晶圓限制系統(tǒng)的晶圓容器，其通過(guò)在出現(xiàn)震動(dòng)事 件期間提供改良的晶圓限制而滿足了本行業(yè)中的需求。在本發(fā)明中，將一輔助 晶圓限制結(jié)構(gòu)夾置于容器門(mén)上的相對(duì)的晶圓限制部件之間。在本發(fā)明的一實(shí)施 例中，所述輔助晶圓限制結(jié)構(gòu)界定多個(gè)切口。所述切口可為傾斜狀，并由交匯 于一接合點(diǎn)的一個(gè)或多個(gè)會(huì)聚邊緣或表面界定而成。所述接合點(diǎn)定位成與各對(duì) 相對(duì)的晶圓限制部件的晶圓接納部分對(duì)齊，以便當(dāng)所述門(mén)完全密封地嚙合容器 外殼時(shí)，晶圓邊緣會(huì)接觸所述接合點(diǎn)。在該位置上，因傳遞給容器的震動(dòng)而引 起的晶圓的任何豎向運(yùn)動(dòng)均會(huì)使晶圓接觸所述會(huì)聚表面或邊緣，從而限制此種 運(yùn)動(dòng)。通過(guò)將輔助晶圓限制件定位于主晶圓限制件的相對(duì)的指狀件之間并緊靠 相對(duì)的指狀件，會(huì)限制晶圓在支撐點(diǎn)之間發(fā)生偏斜，并由此進(jìn)一步阻止晶圓 "跳"出支撐件及交叉錯(cuò)槽。相應(yīng)地，本發(fā)明的一實(shí)施例包括多個(gè)晶圓與一容器的組合，所述容器用于 以軸向?qū)R、大體平行相間的排列方式容納所述晶圓。所述容器包括 一外殼 部分，其具有一頂部、 一底部、 一對(duì)相對(duì)的側(cè)面、 一背部及由一門(mén)框架界定而 成的一相對(duì)、敞開(kāi)的正面；及一門(mén)，其可密封地接納于所述門(mén)框架中，以封閉所述敞開(kāi)的正面。所述容器包括一晶圓限制系統(tǒng)，其在外殼部分中具有至少一 個(gè)晶圓支撐結(jié)構(gòu)，且在門(mén)上包括一晶圓限制結(jié)構(gòu)，以用于嚙合及限制晶圓。所 述至少一個(gè)晶圓支撐結(jié)構(gòu)可包含多個(gè)晶圓支撐架，其界定多個(gè)狹槽，各狹槽適 于分別接納所述多個(gè)晶圓中一單獨(dú)的晶圓。所述門(mén)上的晶圓限制結(jié)構(gòu)具有一主 限制結(jié)構(gòu)及一輔助限制結(jié)構(gòu)。所述主限制結(jié)構(gòu)包括多個(gè)彈性晶圓嚙合部件，其 排列成使第一多個(gè)所述晶圓嚙合部件與第二多個(gè)所述晶圓嚙合部件相間隔并
相對(duì)。所述輔助限制結(jié)構(gòu)定位于所述第一多個(gè)與第二多個(gè)晶圓嚙合部件中間， 并界定多個(gè)切口。所述切口排列成當(dāng)所述門(mén)嚙合于門(mén)框架中時(shí)，在每一切口中 分別接納所述多個(gè)晶圓中 一 單獨(dú)的晶圓。在一實(shí)施例中，各彈性晶圓嚙合部件可具有第一細(xì)長(zhǎng)連接部分及第一傾斜 狀的晶圓接納部分。第一晶圓接納部分緊靠第一連接部分的第一端定位，且第 —連接部分的第二端可操作地耦接所述門(mén)。此外，各彈性晶圓嚙合部件可具有 第二細(xì)長(zhǎng)部分及第二傾斜形狀的晶圓接納部分。第二細(xì)長(zhǎng)部分的第一端可操作 地緊靠第一晶圓接納部分耦接第一連接部分，且第二晶圓接納部分定位于第二 連接部分上一與第一晶圓接納部分相間隔的位置處。在一實(shí)施例中，所述晶圓限制結(jié)構(gòu)可包括一本體部分，其具有一對(duì)相對(duì)的 側(cè)面及一中央部分。所述主限制結(jié)構(gòu)的各彈性晶圓嚙合部件從每一個(gè)所述相對(duì) 側(cè)朝中央部分向內(nèi)凸伸。所述晶圓限制結(jié)構(gòu)的本體部分可具有緊靠中心的凸起 部分，其中所述凸起部分界定輔助限制結(jié)構(gòu)的切口。在本發(fā)明的實(shí)施例中，各切口可分別由交匯于一接合點(diǎn)處的一對(duì)會(huì)聚邊緣 界定而成。各接合點(diǎn)的位置使得當(dāng)門(mén)完全接納于門(mén)框架中時(shí)，各晶圓分別接觸 所述接合點(diǎn)中一單獨(dú)的接合點(diǎn)。此外，所述輔助限制結(jié)構(gòu)可與門(mén)的內(nèi)側(cè)形成一 整體。本發(fā)明實(shí)施例的目的及優(yōu)點(diǎn)是在晶圓容器出現(xiàn)實(shí)體震動(dòng)事件期間阻止晶 圓運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明實(shí)施例的另一目的及優(yōu)點(diǎn)是使因晶圓容器出現(xiàn)實(shí)體震動(dòng)而移離晶 圓限制件的晶圓復(fù)位。本發(fā)明實(shí)施例的再一目的及優(yōu)點(diǎn)是阻止晶圓因晶圓容器出現(xiàn)實(shí)體震動(dòng)而 在各晶圓限制件之間交叉錯(cuò)槽。本發(fā)明的其他目的、優(yōu)點(diǎn)及新穎特征將在下文說(shuō)明中部分地提及，且對(duì)于 閱讀完下文說(shuō)明的所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員而言將部分地顯而易見(jiàn)，或者可通過(guò)實(shí) 踐本發(fā)明而得知。


圖1為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的一晶圓容器的透視圖2為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例具有已局部組裝的門(mén)的一晶圓容器的透視圖；圖3為一晶圓容器的已局部組裝的門(mén)的內(nèi)側(cè)的透視圖；圖4為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的一晶圓容器門(mén)的內(nèi)側(cè)透視分解圖；圖5為圖4中的門(mén)在組裝狀態(tài)中的內(nèi)側(cè)透視圖；圖6為圖4中的門(mén)的主晶圓限制部分及輔助晶圓限制部分的一部分的放大 透視圖；圖7為根據(jù)本發(fā)明的一晶圓容器的另一實(shí)施例的透視圖；圖8為圖7中的晶圓容器的門(mén)的內(nèi)側(cè)透視圖；圖9為圖7中的門(mén)的晶圓限制部分的側(cè)視立面圖；以及圖10為圖7中的門(mén)的晶圓限制件的透視圖。主要:元件標(biāo)記說(shuō)明10:晶圓容器12:處理設(shè)備14 :外殼16:門(mén)18:底部20:頂部22:側(cè)面24:側(cè)面26:背部28:正面30:門(mén)框架32:晶圓支撐結(jié)構(gòu)34:晶圓支撐架36:動(dòng)力耦合件38:機(jī)械手搬運(yùn)凸緣40:本體部分42:周緣壁44:閂鎖槽46:閂鎖槽48:外側(cè)50:晶圓限制槽52:內(nèi)側(cè)54:鎖眼槽56:晶圓限制結(jié)構(gòu)58:周緣框架60:側(cè)軌62:側(cè)軌64:頂軌66:底軌68:指狀件70:間隙72:第一細(xì)長(zhǎng)部分74:近端76:內(nèi)側(cè)晶圓接納部分78:遠(yuǎn)端80:第二細(xì)長(zhǎng)部分
82:外伸端86:輔助晶圓限制結(jié)構(gòu)90:邊緣/表面94:晶圓容器98:門(mén)102:內(nèi)表面106:端部110:指狀件114:晶圓接納部分118:孔122:傾斜切口126:接合點(diǎn)84:外側(cè)晶圓接納部分88:晶圓限制部分92:接合點(diǎn)96:外殼部分100:晶圓限制件104:本體部分108:端部112:朝內(nèi)端部116:間隙120:凸起部分124:邊緣/表面具體實(shí)施方式
根據(jù)本發(fā)明的一晶圓容器IO繪示于圖1中，其位于一臺(tái)處理設(shè)備12上。 晶圓容器10總體上包括外殼14及門(mén)16。外殼14 一般是由聚碳酸酯或其他適 合的熱塑性材料制成，且包括底部18、頂部20、相對(duì)的側(cè)面22、 24、以及背 部26。與背部26相對(duì)的是由門(mén)框架30界定而成的敞開(kāi)的正面28。帶有多個(gè) 晶圓支撐架34的一個(gè)或多個(gè)晶圓支撐結(jié)構(gòu)32定位于外殼14內(nèi)，以用于接納 以大體平行、軸向?qū)R的排列方式相間隔的多個(gè)半導(dǎo)體晶圓或基材(未顯示)。 一動(dòng)力耦合件36與一機(jī)械手搬運(yùn)凸緣38可分別定位于底部18與頂部20的外 表面上，以便能夠使用自動(dòng)搬運(yùn)設(shè)備來(lái)轉(zhuǎn)移及使用所述容器。在第5,788,082 號(hào)、第5,915,562號(hào)、第6,010,008號(hào)、第6,216,874號(hào)、第6,267,245號(hào)、第6,464,081 號(hào)、及第6,644,477號(hào)美國(guó)專(zhuān)利中揭示了關(guān)于晶圓容器及支撐構(gòu)件的構(gòu)造及使 用的詳細(xì)說(shuō)明，所有這些美國(guó)專(zhuān)利均由本發(fā)明的所有人擁有，且全文并入本文 中以提供參考。門(mén)16可選擇性地、密封地定位于門(mén)框架30上，由此使晶圓容器10密封 地封閉，從而為其中的晶圓形成一密封的環(huán)境。在圖2及3中所示的實(shí)施例中， 門(mén)16總體上包括具有周緣壁42的本體部分40。在本體部分40的外側(cè)48上界
定有一對(duì)閂鎖槽44、 46，而在內(nèi)側(cè)52上界定有一晶圓限制槽50。在每一閂鎖 槽44、46中均設(shè)置有閂鎖機(jī)構(gòu)，例如在前面并入本文以提供參考的第5,915,562 號(hào)美國(guó)專(zhuān)利中所揭示的閂鎖機(jī)構(gòu)，以將門(mén)16在門(mén)框架28中緊固就位?？稍陂V 鎖上面設(shè)置一封蓋52，其帶有鎖眼槽54，以便能夠從容器10的外部致動(dòng)所述 閂鎖機(jī)構(gòu)。晶圓限制結(jié)構(gòu)56緊固于晶圓限制槽50中。晶圓限制結(jié)構(gòu)56包括周緣框 架58，周緣框架58具有一對(duì)側(cè)軌60、 62、 一頂軌64、及一底軌66。呈撓性 指狀件68形式的各彈性晶圓嚙合部件在周緣框架58中從側(cè)軌60、 62向內(nèi)凸 伸，并跨越間隙70相對(duì)地定位。各指狀件68具有第一細(xì)長(zhǎng)部分72，其具有與 側(cè)軌60或62相連的近端74。傾斜狀的內(nèi)側(cè)晶圓接納部分76定位于各第一細(xì) 長(zhǎng)部分72的遠(yuǎn)端78上。第二細(xì)長(zhǎng)部分80從內(nèi)側(cè)晶圓接納部分76向外凸伸， 并具有一傾斜狀的外側(cè)晶圓接納部分84的外伸端82。撓性指狀件68跨越間隙 70相對(duì)地成對(duì)布置，以便使一大體平整的晶圓的邊緣接納于該每一對(duì)指狀件 68的內(nèi)側(cè)76及外側(cè)84晶圓接納部分中，從而在四個(gè)接觸點(diǎn)處對(duì)晶圓進(jìn)行限制 及減震。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，將一輔助晶圓限制結(jié)構(gòu)86定位于間隙70中，以 在出現(xiàn)震動(dòng)事件期間阻止晶圓豎向運(yùn)動(dòng)，并防止由此造成的晶圓移出及交叉錯(cuò) 槽。輔助晶圓限制結(jié)構(gòu)86總體上包括從門(mén)16的內(nèi)側(cè)52向外凸伸的多個(gè)傾斜 狀的晶圓限制部分88。各晶圓限制部分88包括一對(duì)相對(duì)傾斜的邊緣或表面90， 其在接合點(diǎn)92處交匯。各晶圓限制部分88的接合點(diǎn)92的位置與各對(duì)相對(duì)的 指狀件68的內(nèi)側(cè)76及外側(cè)84晶圓接納部分對(duì)齊，并使得當(dāng)門(mén)16完全密封地 嚙合于門(mén)框架30中時(shí)，使晶圓的邊緣接觸接合點(diǎn)92。在該位置上，因傳遞給 容器10的震動(dòng)而引起的晶圓的任何豎向運(yùn)動(dòng)均會(huì)使晶圓接觸表面或邊緣90， 從而限制此種運(yùn)動(dòng)。通過(guò)將晶圓限制部分88定位于相對(duì)的指狀件68之間并緊 靠相對(duì)的指狀件68，會(huì)限制晶圓在支撐點(diǎn)之間發(fā)生偏斜，并由此進(jìn)一步阻止晶 圓"跳"出支撐件及交叉錯(cuò)槽。應(yīng)了解，盡管將輔助晶圓限制結(jié)構(gòu)86繪示為單一鋸齒形狀結(jié)構(gòu)，然而各 晶圓限制部分88也可為單獨(dú)的結(jié)構(gòu)，此仍歸屬于本發(fā)明的范圍內(nèi)。此外，應(yīng) 了解，輔助晶圓限制結(jié)構(gòu)86可形成為門(mén)16的本體部分40的一整體組成部分，
或者可為單獨(dú)附著的結(jié)構(gòu)，抑或可為晶圓限制結(jié)構(gòu)56的一部分。輔助晶圓限制結(jié)構(gòu)86可由適用于晶圓容器的任何材料制成，例如由聚碳酸酯、PEEK、PEI、 或其他具有預(yù)期性質(zhì)的熱塑性材料制成，并可包含碳或其他填料，以提供靜電耗散性或?qū)щ娦?。在圖7-10中繪示根據(jù)本發(fā)明的一晶圓容器94的另一實(shí)施例。晶圓容器94 總體上包括一外殼部分96及一門(mén)98，以用于選擇性地密封封閉所述容器94。 在第60/592,156號(hào)美國(guó)臨時(shí)專(zhuān)利申請(qǐng)案中揭示了關(guān)于晶圓容器94的更詳細(xì)說(shuō) 明，該美國(guó)臨時(shí)專(zhuān)利申請(qǐng)案由本發(fā)明的所有人一同擁有，全文并入本文中以提 供參考。根據(jù)本發(fā)明，將晶圓限制件100定位于門(mén)98的內(nèi)表面102上。晶圓限制 件100總體上包括一本體部分104，其具有一對(duì)相對(duì)的端部106、 108。各對(duì)撓 性指狀件110從各端106、 108朝本體部分104的中心向內(nèi)凸伸。在各指狀件 110的朝內(nèi)端部112處是一傾斜狀的晶圓接納部分114。各撓性指狀件110跨 越間隙116相對(duì)地成對(duì)布置，使一大體平整晶圓的邊緣接納于該每一對(duì)指狀件 110的晶圓接納部分114中。本體部分104在端部106、 108處具有多個(gè)孔118， 以用于接納門(mén)98上的固緊結(jié)構(gòu)(未顯示)，以便將晶圓限制件100緊固至門(mén) 上。本體部分104具有一對(duì)凸起部分120定位于相對(duì)指狀件U0之間的間隙U6 中。各凸起部分具有傾斜切口 122，這些傾斜切口 122定位成與相對(duì)指狀件no 的晶圓接納部分114對(duì)齊。各傾斜切口 122是由在接合點(diǎn)126處匯合的一對(duì)會(huì) 聚邊緣或表面124界定而成。接合點(diǎn)126的位置使得當(dāng)門(mén)98完全密封地嚙合 外殼部分96時(shí)，晶圓邊緣會(huì)接觸接合點(diǎn)126。在該位置上，因傳遞給容器94 的震動(dòng)而引起的晶圓的任何豎向運(yùn)動(dòng)均會(huì)使晶圓接觸表面或邊緣124,從而限 制此種運(yùn)動(dòng)。通過(guò)將傾斜切口 122形式的輔助晶圓限制件定位于相對(duì)的指狀件 U0之間并緊靠相對(duì)的指狀件110，會(huì)限制晶圓在支撐點(diǎn)之間發(fā)生偏斜，并由 此進(jìn)一步阻止晶圓"跳"出支撐件及交叉錯(cuò)槽。同樣，晶圓限制件100的其他構(gòu)造也涵蓋于本發(fā)明中，包括其中輔助晶圓 限制件可為鋸齒狀結(jié)構(gòu)的構(gòu)造，且其中輔助晶圓限制件可與撓性指狀件成一整 體或與撓性指狀件相分離。輔助晶圓限制件可由適用于晶圓容器的任何材料制
成，例如由聚碳酸酯、PEEK、 PEI、或其他具有預(yù)期性質(zhì)的熱塑性材料制成 并可包含碳或其他填料以提供靜電耗散性或?qū)щ娦浴?br> 權(quán)利要求
1.一種多個(gè)晶圓與一容器的組合，所述容器用于以-軸向?qū)R、大體平行相間的排列方式容納所述晶圓，所述容器包括一外殼部分，其具有一頂部、一底部、一對(duì)相對(duì)的側(cè)面、一背部及由一門(mén)框架界定而成的一相對(duì)、敞開(kāi)的正面；一門(mén)，其可密封地接納于所述門(mén)框架中，以封閉所述敞開(kāi)的正面；以及一晶圓限制系統(tǒng)，包括位于所述外殼部分中的至少一個(gè)晶圓支撐結(jié)構(gòu)及位于所述門(mén)上的一晶圓限制結(jié)構(gòu)，以用于嚙合及限制所述晶圓，所述至少一個(gè)晶圓支撐結(jié)構(gòu)包含多個(gè)晶圓支撐架，所述多個(gè)晶圓支撐架界定多個(gè)狹槽，各狹槽適于分別接納所述多個(gè)晶圓中一單獨(dú)的晶圓，位于所述門(mén)上的所述晶圓限制結(jié)構(gòu)包括一主限制結(jié)構(gòu)及一輔助限制結(jié)構(gòu)，所述主限制結(jié)構(gòu)包括多個(gè)彈性晶圓嚙合部件，其排列成使第一多個(gè)所述晶圓嚙合部件與第二多個(gè)所述晶圓嚙合部件相間隔并相對(duì)，所述輔助限制結(jié)構(gòu)定位于所述第一多個(gè)與第二多個(gè)晶圓嚙合部件中間，并界定多個(gè)切口，所述切口排列成當(dāng)所述門(mén)嚙合于所述門(mén)框架中時(shí)，在每一切口中分別接納所述多個(gè)晶圓中一單獨(dú)的晶圓。
2. 如權(quán)利要求l所述的組合，其特征在于，所述主限制結(jié)構(gòu)包括一周緣框 架，所述周緣框架界定一中央開(kāi)孔并具有一對(duì)側(cè)軌，所述彈性晶圓嚙合部件從 所述側(cè)軌凸伸至所述中央開(kāi)孔內(nèi)。
3. 如權(quán)利要求l所述的組合，其特征在于，每一個(gè)所述彈性晶圓嚙合部件中包括一第一細(xì)長(zhǎng)連接部分及一第一傾斜狀晶圓接納部分，所述第一晶圓接納 部分緊靠所述第一連接部分的一第一端定位，所述第一連接部分的一第二端可操作地耦接所述門(mén)。
4. 如權(quán)利要求3所述的組合，其特征在于，各彈性晶圓嚙合部件進(jìn)一步包括一第二細(xì)長(zhǎng)部分及一第二傾斜狀晶圓接納部分，所述第二細(xì)長(zhǎng)部分的一第一 端緊靠所述第一晶圓接納部分可操作地耦接所述第一連接部分，所述第二晶圓 接納部分定位于所述第二連接部分上與所述第一晶圓接納部分相間隔的一位 置處。
5. 如權(quán)利要求l所述的組合，其特征在于，所述晶圓限制結(jié)構(gòu)包括一本體 部分，所述本體部分具有一對(duì)相對(duì)的側(cè)面及一中央部分，所述主限制結(jié)構(gòu)的彈性晶圓嚙合部件從每一個(gè)所述相對(duì)的側(cè)面朝所述中央部分向內(nèi)凸伸。
6. 如權(quán)利要求5所述的組合，其特征在于，所述晶圓限制結(jié)構(gòu)的本體部分 緊靠所述中央具有一凸起部分，其中所述凸起部分界定所述輔助限制結(jié)構(gòu)的切□。
7. 如權(quán)利要求1所述的組合，其特征在于，所述切口分別由交匯于一接合 點(diǎn)處的一對(duì)會(huì)聚邊緣界定而成，所述接合點(diǎn)定位成當(dāng)所述門(mén)完全接納于所述門(mén) 框架中時(shí)，各晶圓分別接觸所述接合點(diǎn)中 一單獨(dú)的接合點(diǎn)。
8. 如權(quán)利要求l所述的組合，其特征在于，所述門(mén)具有一內(nèi)側(cè)，且其中所 述輔助限制結(jié)構(gòu)與所述門(mén)的內(nèi)側(cè)成一整體地形成并從所述門(mén)的內(nèi)側(cè)向外凸伸。
9. 一種多個(gè)晶圓與一容器的組合，所述容器用于以一軸向?qū)R、大體平行相間的排列方式容納所述晶圓，所述容器包括一外殼部分，其具有一頂部、 一底部、 一對(duì)相對(duì)的側(cè)面、 一背部及由一門(mén)框架界定而成的一相對(duì)、敞開(kāi)的正面；一門(mén)，其可密封地接納于所述門(mén)框架中，以封閉所述敞開(kāi)的正面；以及一晶圓限制系統(tǒng)，包括位于所述外殼部分中的至少一個(gè)晶圓支撐結(jié)構(gòu)及位 于所述門(mén)上的一晶圓限制結(jié)構(gòu)，以用于嚙合及限制所述晶圓，所述至少一個(gè)晶 圓支撐結(jié)構(gòu)包含多個(gè)晶圓支撐架，所述多個(gè)晶圓支撐架界定多個(gè)狹槽，各狹槽 適于分別接納所述多個(gè)晶圓中一單獨(dú)的晶圓，位于所述門(mén)上的所述晶圓限制結(jié) 構(gòu)包括一包含多個(gè)彈性晶圓嚙合部件的主限制結(jié)構(gòu)，所述多個(gè)彈性晶圓嚙合部 件排列成使第一多個(gè)所述晶圓嚙合部件與第二多個(gè)所述晶圓嚙合部件相間隔 并相對(duì)，所述晶圓限制結(jié)構(gòu)進(jìn)一步包括，在所述容器經(jīng)受實(shí)體震動(dòng)時(shí)，用于阻 止所述晶圓移出所述彈性晶圓嚙合部件的構(gòu)件。
10. 如權(quán)利要求9所述的組合，其特征在于，用于阻止所述晶圓移出的所 述構(gòu)件包括定位于所述第一多個(gè)與第二多個(gè)晶圓嚙合部件中間的一輔助限制 結(jié)構(gòu)。
11. 如權(quán)利要求IO所述的組合，其特征在于，所述輔助限制結(jié)構(gòu)包括多個(gè) 切口，每一切口均由交匯于一接合點(diǎn)處的一對(duì)會(huì)聚表面界定而成，所述接合點(diǎn) 定位成當(dāng)所述門(mén)完全接納于所述門(mén)框架中時(shí)，每一晶圓分別接觸所述接合點(diǎn)中 一單獨(dú)的接合點(diǎn)。
12. 如權(quán)利要求9所述的組合，其特征在于，所述主限制結(jié)構(gòu)包括一周緣 框架，所述周緣框架界定一中央開(kāi)孔并具有一對(duì)側(cè)軌，所述彈性晶圓嚙合部件 從所述側(cè)軌凸伸至所述中央開(kāi)孔內(nèi)。
13. 如權(quán)利要求9所述的組合，其特征在于，每一個(gè)所述彈性晶圓嚙合部件包括一第一細(xì)長(zhǎng)連接部分及一第一傾斜狀晶圓接納部分，所述第一晶圓接納 部分緊靠所述第一連接部分的一第一端定位，所述第一連接部分的一第二端可操作地耦接所述門(mén)。
14. 如權(quán)利要求13所述的組合，其特征在于，各彈性晶圓嚙合部件進(jìn)一步 包括一第二細(xì)長(zhǎng)部分及一第二傾斜狀晶圓接納部分，所述第二細(xì)長(zhǎng)部分的一第 一端緊靠所述第一晶圓接納部分可操作地耦接所述第一連接部分，所述第二晶 圓接納部分定位于所述第二連接部分上與所述第一晶圓接納部分相間隔的一 位置處。
15. 如權(quán)利要求9所述的組合，其特征在于，所述晶圓限制結(jié)構(gòu)包括一本 體部分，所述本體部分具有一對(duì)相對(duì)的側(cè)面及一中央部分，所述主限制結(jié)構(gòu)的 彈性晶圓嚙合部件從每一個(gè)所述相對(duì)的側(cè)面朝所述中央部分向內(nèi)凸伸。
16. 如權(quán)利要求15所述的組合，其特征在于，所述晶圓限制結(jié)構(gòu)的本體部分緊靠所述中央具有一凸起部分，且其中用于阻止所述晶圓移出的所述構(gòu)件包 括界定于所述凸起部分中的多個(gè)切口。
17. —種用于以一軸向?qū)R、大體平行相間的排列方式容納多個(gè)晶圓的容 器，所述容器包括一外殼部分，其具有一頂部、 一底部、 一對(duì)相對(duì)的側(cè)面、 一背部及一相對(duì)、 敞開(kāi)的正面；一門(mén)，其用于密封地封閉所述敞開(kāi)的正面；以及一晶圓限制系統(tǒng)，包括位于所述外殼部分中的至少一個(gè)晶圓支撐結(jié)構(gòu)及位 于所述門(mén)上的一晶圓限制結(jié)構(gòu)，以用于嚙合及限制所述晶圓，所述至少一個(gè)晶 圓支撐結(jié)構(gòu)包含多個(gè)晶圓支撐架，所述多個(gè)晶圓支撐架界定多個(gè)狹槽，各狹槽 適于分別接納所述多個(gè)晶圓中一單獨(dú)的晶圓，位于所述門(mén)上的所述晶圓限制結(jié) 構(gòu)包括一主限制結(jié)構(gòu)及一輔助限制結(jié)構(gòu)，所述主限制結(jié)構(gòu)包括多個(gè)彈性晶圓嚙 合部件，其排列成使第一多個(gè)所述晶圓嚙合部件與第二多個(gè)所述晶圓嚙合部件 相間隔并相對(duì)，所述輔助限制結(jié)構(gòu)定位于所述第一多個(gè)與第二多個(gè)晶圓嚙合部 件中間。
18. 如權(quán)利要求17所述的組合，其特征在于，所述主限制結(jié)構(gòu)包括一周緣 框架，所述周緣框架界定一中央開(kāi)孔并具有一對(duì)側(cè)軌，所述彈性晶圓嚙合部件 從所述側(cè)軌凸伸至所述中央開(kāi)孔內(nèi)。
19. 如權(quán)利要求17所述的組合，其特征在于，每一個(gè)所述彈性晶圓嚙合部件中包括一第一細(xì)長(zhǎng)連接部分及一第一傾斜狀晶圓接納部分，所述第一晶圓接 納部分緊靠所述第一連接部分的一第一端定位，所述第一連接部分的一第二端可操作地耦接所述門(mén)。
20. 如權(quán)利要求19所述的組合，其特征在于，各彈性晶圓嚙合部件進(jìn)一步 包括一第二細(xì)長(zhǎng)部分及一第二傾斜狀晶圓接納部分，所述第二細(xì)長(zhǎng)部分的一第 一端緊靠所述第一晶圓接納部分可操作地耦接所述第一連接部分，所述第二晶圓接納部分定位于所述第二連接部分上與所述第一晶圓接納部分相間隔的一 位置處。
21. 如權(quán)利要求17所述的容器，其特征在于，所述輔助限制結(jié)構(gòu)界定多個(gè) 切口，所述切口排列成當(dāng)所述門(mén)嚙合于所述門(mén)框架中時(shí)，在每一切口中分別接納所述多個(gè)晶圓中 一 單獨(dú)的晶圓。
22. 如權(quán)利要求21所述的組合，其特征在于，所述晶圓限制結(jié)構(gòu)包括一本體部分，所述本體部分具有一對(duì)相對(duì)的側(cè)面及一中央部分，所述主限制結(jié)構(gòu)的 彈性晶圓嚙合部件從每一個(gè)所述相對(duì)的側(cè)面朝所述中央部分向內(nèi)凸伸。
23. 如權(quán)利要求22所述的組合，其特征在于，所述晶圓限制結(jié)構(gòu)的本體部 分緊靠所述中央具有一凸起部分，其中所述凸起部分界定所述輔助限制結(jié)構(gòu)的 切口。
24. 如權(quán)利要求21所述的組合，其特征在于，所述切口分別由交匯于一接 合點(diǎn)處的一對(duì)會(huì)聚邊緣界定而成，所述接合點(diǎn)定位成當(dāng)所述門(mén)完全接納于所述 門(mén)框架中時(shí)，各晶圓分別接觸所述接合點(diǎn)中 一單獨(dú)的接合點(diǎn)。
25. 如權(quán)利要求17所述的組合，其特征在于，所述門(mén)具有一內(nèi)個(gè)ij，且其中 所述輔助限制結(jié)構(gòu)與所述門(mén)的內(nèi)側(cè)成一整體地形成并從所述門(mén)的內(nèi)側(cè)向外凸 伸。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種晶圓容器，其在實(shí)體震動(dòng)事件期間對(duì)晶圓提供改良的限制。一具有多個(gè)切口的輔助晶圓限制結(jié)構(gòu)夾置于容器門(mén)上的相對(duì)的晶圓限制部件之間。
文檔編號(hào)B65D85/48GK101119912SQ200580046699
公開(kāi)日2008年2月6日 申請(qǐng)日期2005年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月23日
發(fā)明者杰弗瑞·J·金, 約翰·布恩斯, 馬丁·L·福柏斯, 馬修·A·伏勒, 馬克·V·斯密斯 申請(qǐng)人:安堤格里斯公司