專利名稱：液體分配系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液體的分配和輸送。具體地，本發(fā)明涉及一種用于分配液 體的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)可以很容易地控制從相同的輸入液體源分配的液體的 體積和速度。
背景技術(shù)：
特定的制造過程需要使用液體化學制品，例如，酸、溶劑、堿、光致 抗蝕劑、攙雜劑、無機溶液、有機溶液、生物溶液、藥物以及放射性化學 制品。在許多制造過程應用中，流體容器用作用于液體輸送系統(tǒng)的過程液 體的來源。典型地，流體容器在遠離最終使用設(shè)施的位置處制造和填充。 當在填充設(shè)施處填充容器后，典型地將容器運輸?shù)阶罱K使用設(shè)施，例如， 用于制造過程中。
在最終使用設(shè)施處，流體容器可以直接組裝到液體分配系統(tǒng)中，或者 使來自流體容器的液體直接騰空到連接到液體輸送系統(tǒng)的貯液器中。液體 分配系統(tǒng)可以可供選擇地使容器用于將液體化學制品以規(guī)定時間輸送到 制造過程。這些過程液體通常通過特定的分配泵從流體容器進行分配。
在薄膜晶體管平板顯示器的制造中，需要分配和輸送許多貴重的化學
制品。這些化學制品包括光致抗蝕劑、彩色濾光片材料、黑矩陣材料等。 這些化學制品典型地分配在用于旋涂、狹縫式/擠壓涂敷或其兩者組合的 制造過程中。分配這些化學制品的系統(tǒng)必須為柔性，以允許用相同的化學 輸入實現(xiàn)不同量的化學制品和不同的分配速度。不能實現(xiàn)此功能的系統(tǒng)需 要多余的分配設(shè)備，從而增加系統(tǒng)的整個成本。
允許用相同的輸入液體源實現(xiàn)不同量的化學制品和不同分配速度的 目前大多數(shù)分配系統(tǒng)在分配鏈中使用分配泵。這些泵不僅貴，而且眾所周 知有助于為波紋管和隔膜脫落形式以及從泵止回閥上磨損脫落形式的污 染。 一些系統(tǒng)試圖圍繞昂貴的泵設(shè)計，所述泵具有其中液體通過驅(qū)動氣體
被迫使離開容器的設(shè)置。然而，很難保持分配的化學制品的量和速度的精 度和靈活性。此外，驅(qū)動氣體可以被迫使進入分配液體中，從而在液體中 形成微氣泡。在沉積的液體中存在微氣泡可以在沉積層或次沉積層中造成 缺陷。
改變從相同的輸入液體源分配的化學制品的量和速度的另一種傳統(tǒng) 方法包括在分配鏈中使用流動控制裝置。在此種類型的系統(tǒng)中，流速通過 封閉反饋環(huán)進行控制，而分配的體積通過分配液體的時間量控制。然而， 當在短時間周期內(nèi)必須分配一定量液體時，使用流動控制裝置的一些分配 系統(tǒng)具有很差的穩(wěn)定性。另外，流動控制裝置很貴，因此增加了分配系統(tǒng) 的整個成本。
因此，需要低成本的液體分配系統(tǒng)，所述液體分配系統(tǒng)不使用泵，并 可以很容易地控制從相同的輸入流體源分配的流體的量和速度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為一種用于將液體從容器分配到制造過程的系統(tǒng)，其中所述容 器包括外容器和被液體占據(jù)的柔性內(nèi)容器。所述系統(tǒng)包括用于提供內(nèi)容器 的內(nèi)部和制造過程之間的流體連通的流動通道。增壓流體源設(shè)置為與外容 器的內(nèi)壁與內(nèi)容器之間的空間流體連通。增壓流體源使流體在壓力下流入 外容器的內(nèi)壁和內(nèi)容器之間的空間，以迫使流體通過流動通道離開內(nèi)容器 到達制造過程。壓力傳感器被定位為用于感測流動通道中的壓力。響應壓 力傳感器的控制器通過調(diào)節(jié)來自增壓流體源的壓力控制流動通道中的壓 力。
在一個實施例中，系統(tǒng)還包括來自壓力傳感器下游的停止閥，所述停 止閥用于當配方量的液體已經(jīng)分配到制造過程時終止液體至制造過程的 分配。另外，反吸閥可以在流動通道的制造過程端附近用于當終止液體至 制造過程的分配后將液體吸入流動通道的制造過程端。


圖l是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于將液體分配到制造過程的液體 分配系統(tǒng)的示意圖。
具體實施例方式
圖1是用于將液體12從容器14分配到制造過程13的根據(jù)本發(fā)明的一個 實施例的液體分配系統(tǒng)10的示意圖。容器14包括柔性內(nèi)容器20和剛性外容 器22。系統(tǒng)10還包括增壓氣體源30、增壓氣體通道32、壓力調(diào)節(jié)器34、斷 流閥(block valve) 36a和36b、壓力釋放通道37、壓力釋放閥38a和38b、 壓力釋放管(pressure release drain) 39、流動通道40、過濾器42、壓力變 換器44、停止/反吸閥46以及控制器50。
外容器22提供柔性內(nèi)容器20 (例如，柔性聚合物袋子或襯管)在填充、 輸送、處理和分配期間需要的機械支撐和保護。雖然根據(jù)用于處理包含在 容器14內(nèi)的特定液體的政府管理規(guī)定也可以使用包括塑料材料的其它材 料，但外容器22典型地由金屬構(gòu)成。例如，容器14為在1994年8月9日授予 Osgar的美國專利第5,335，821號中所顯示的容器，該專利在此并入本文供 參考。
增壓氣體源30通過增壓氣體通道32連接到壓縮空間31 (g卩，外容器22 的內(nèi)壁和內(nèi)容器20的外表面之間的空間)。壓力調(diào)節(jié)器34沿增壓氣體通道 32連接，以調(diào)節(jié)提供到斷流閥36a和36b的壓力。在一個實施例中為過程和 微調(diào)斷流閥的斷流閥36a和36b分別沿著增壓氣體通道32平行連接，以調(diào)節(jié) 提供給增壓氣體通道32的來自增壓氣體源30的壓力。多個閥的使用允許對 壓縮空間31中的空氣壓力進行微調(diào)。將會理解，雖然顯示了兩個斷流閥36a 和36b，但斷流閥36a和36b可以用能夠調(diào)節(jié)從增壓氣體源30至壓縮空間31 的壓力的任何裝置替換(例如，單個斷流閥)。
內(nèi)容器20的內(nèi)部通過流動通道40與制造過程13流體連通。流動通道40 典型地設(shè)置在探針中，所述探針可插入通過容器的端口并進入內(nèi)容器20, 以提供液體12和制造過程13之間的流體連通。可選的過濾器42顯示連接橫 過流動通道40。可供選擇地，過濾器42可以一體形成到容器14中。壓力變 換器44從過濾器42的下游沿流動通道40連接。停止/反吸閥46連接在接近 制造過程13的流動通道40的端部處。
典型地為基于微處理器的控制器的控制器50連接到斷流閥36a和36b、 壓力釋放閥38a和38b、壓力變換器44以及停止/反吸閥46?？刂破?0從壓力變換器44接收信號，并將信號提供給斷流閥36a和36b、壓力釋放閥38a 和38b以及停止/反吸閥46。
在系統(tǒng)10的一個實施例中，壓力調(diào)節(jié)器34、斷流閥36a和36b、壓力釋 放閥38a和38b、過濾器42、壓力變換器44、停止/反吸閥46、以及用于增 壓氣體源30和控制器50的接口設(shè)置在可連接到容器14的單個包裝中。包括 所列系統(tǒng)部件的包裝接著可以簡單地連接到容器14、增壓氣體源30、控制 器50以及電源(未示出)，以開始將液體從容器14分配到制造過程13。在 傳統(tǒng)的系統(tǒng)中，其中所述傳統(tǒng)系統(tǒng)包括泵和用于控制液體至制造過程的流 動的流動控制裝置，由于這些部件不容易一體形成為單個包裝體，因此這 種類型的簡單連接形式是不可能的。此外，即使泵或流動控制裝置可以很 容易地一體形成為單個包裝，由于泵和流動控制裝置的高成本也將造成許 多這種包裝的產(chǎn)品很貴。應該提及的是可供選擇的任何壓力調(diào)節(jié)器34、斷 流閥36a和36b、過濾器42、壓力變換器44以及停止/反吸閥46也可以個別
地設(shè)置在最終使用設(shè)施處(即，不是一體形成為單個包裝)。
在操作中，控制器50接收作為輸入(典型地通過系統(tǒng)10的使用者輸入)
的分配配方，所述分配配方包括分配給制造過程的液體的配方量、以及液 體的配方量必須分配到制造過程內(nèi)的分配持續(xù)時間。例如，分配配方可以 命令系統(tǒng)10在1.5秒內(nèi)分配30mL液體12給制造過程13。而對于另一實例， 分配配方可以命令系統(tǒng)10在十二秒內(nèi)分配30 mL液體12給制造過程13。分 配配方還包括關(guān)于液體(例如，粘度、密度等)和制造過程(例如，過程 的環(huán)境溫度)的其它信息，該信息是控制器50在分配過程期間要考慮的。 控制器50隨后將信號提供給停止/反吸閥46，以打開容器14和制造過程13 之間的流體路徑。如果斷流閥36a和36b關(guān)閉，則控制器50也將信號提供給 斷流閥36a和36b，以使斷流閥36a和/或36b打開。這使得增壓氣體通過增壓 氣體通道32從增壓氣體源30流到壓縮空間31。在一個實施例中，增壓氣體 源30具有在大約60到100磅/平方英寸表壓(psig)之間的壓力。
優(yōu)選壓縮空氣或氮的增壓氣體通過增壓氣體源30供給到壓縮空間31， 以迫使液體12經(jīng)由流動通道40通過過濾器42、壓力變換器44以及停止/反 吸閥46。當液體12從容器14的內(nèi)容器20進行分配時，允許空氣進入壓縮空 間31，從而使柔性內(nèi)容器20皺折。可選擇地，可以提供在增壓氣體源30
和壓縮空間31之間連接的額外氣體通道和壓力調(diào)節(jié)器(未示出)，以將預
定的恒定壓力提供給壓縮空間31。到增壓氣體源30的該額外連接允許系統(tǒng) 10更快速地達到壓縮空間31所需的壓力。還應該提及的是，在此實施例中， 當內(nèi)容器20通過增壓氣體皺折時，可以使用能夠使內(nèi)容器20皺折以迫使液 體12通過流動通道40的任何裝置，包括基于液壓或機械的裝置。
當液體12流過流動通道40時，壓力變換器44感應流過流動通道40 的液體12的壓力。根據(jù)泊肅葉定律(也稱為哈根-泊肅葉(Hagen-Poiseuille) 定律)，在壓力變換器44處的流動通道40中的壓力與流動通道40中的流 速成比例。流動通道40中的壓力優(yōu)選從過濾器42的下游進行測量，使得 分配的精度不受到由于過濾器42的使用和留有雜質(zhì)而造成的過濾器限制 的影響。通過壓力變換器44感測的壓力被提供給控制器50。然后，控制 器50將通過壓力變換器44感測的壓力與將液體12分配給制造過程13所 需的壓力在分配配方的規(guī)定(即，分配時間、分配到制造過程13的液體 12的量等)內(nèi)進行比較。如果必要，控制器50接著通過調(diào)節(jié)斷流閥36a 和36b調(diào)節(jié)從增壓氣體源30到壓縮空間31的壓力，以增加或減少在壓縮 空間31處的來自增壓氣體源30的壓力。
當己經(jīng)調(diào)節(jié)了至壓縮空間31的壓力后，同樣調(diào)節(jié)施加到內(nèi)容器20的壓 力，從而使通過流動通道40的流速改變。流速的該變化通過壓力變換器44 作為通過流動通道40的對應的壓力變化進行測量。液體12至制造過程13 的流速的此閉環(huán)控制允許系統(tǒng)10根據(jù)分配配方的規(guī)定提供液體分配。此 外，通過調(diào)節(jié)至壓縮空間31的壓力來改變通過流動通道40的液體12的流速 的能力允許從相同的液體源進行不同的分配配方。
在一個實施例中，斷流閥36a和36b為高速/高循環(huán)壽命DC電磁陶。當 控制器50從壓力變換器44接收信號時，控制器50使用控制算法以產(chǎn)生根據(jù) 分配配方、制造過程以及當前的壓力參數(shù)控制斷流閥36a和36b的驅(qū)動信 號。在一個實施例中，用于控制斷流閥36a和36b的驅(qū)動信號為脈沖寬度調(diào) 制信號。脈沖寬度調(diào)制載波頻率根據(jù)電磁閥的響應時間進行選擇?？刂破?50包括比例反饋部件，所述比例反饋部件用于根據(jù)在壓力變換器44處的當
前壓力和必需滿足分配配方的流速規(guī)定的壓力之間的差值計算誤差信號。 此誤差信號由控制器50使用以調(diào)節(jié)提供給斷流閥36a和36b的驅(qū)動信號的
脈沖寬度。這就導致供給到壓縮空間31的壓力的調(diào)節(jié)。在另一實施例中，
控制器50另外包括微分和積分反饋部件，以提供分別與壓力變換器44處隨
著時間的過去而產(chǎn)生的壓力的變化率以及隨著時間的過去而產(chǎn)生的壓力
信號的變化率的變化相關(guān)的誤差信號。這些誤差信號還由控制器50使用以 調(diào)制控制斷流閥36a和36b的驅(qū)動信號。
在分配期間，當必需防止壓縮空間31過度增壓時，控制器50控制壓力 釋放閥38a和38b。在一個實施例中，壓力釋放閥38a和38b為通過具有脈沖 寬度調(diào)制信號的控制器50控制的高速/高循環(huán)壽命DC電磁閥。當控制器50 從壓力變換器44接收信號時，控制器50確定是否已經(jīng)有過多的壓力供給到 壓縮空間31。如果控制器50確定壓縮空間31中的壓力過高，則控制器50 將根據(jù)需要打開壓力釋放閥38a和38b，以將壓縮空間31中的壓力降低到適 當?shù)乃?。在一個實施例中，壓力釋放閥38a和38b分別為過程和微調(diào)斷流 閥，以允許對壓縮空間31中的空氣壓力進行微調(diào)。這通過壓力釋放通道37 提供了壓縮空間31和壓力釋放管39之間的流體路徑，從而降低壓縮空間31 中的壓力。隨著壓縮空間31中壓力的下降，壓力變換器44連續(xù)將信號提供 到與流動通道40中的壓力相關(guān)的控制器50。當控制器50確定壓縮空間31 中的壓力已經(jīng)達到適當?shù)乃綍r，控制器50關(guān)閉壓力釋放閥38a和38b。可 選地，系統(tǒng)10可以另外包括直接連接到壓力釋放管39的另一壓力釋放通道 (未示出)，所述壓力釋放管在打開時有助于壓縮空間31中壓力的快速釋 放。
當分配到制造過程13的液體12的量與分配配方的規(guī)定相對應時，系統(tǒng) 10終止液體12到制造過程13的分配?？刂破?0發(fā)送信號到停止/反吸閥46， 以終止內(nèi)容器20的內(nèi)部和制造過程13之間的流體連接。然后，停止/反吸 閥46將在停止/反吸閥46和制造過程13之間的任何液體12抽取或吸取回到 流動通道40內(nèi)。此反吸過程可防止當滿足分配配方的規(guī)定后，額外的液體 12從流動通道40滴到或流到制造過程13。
在不偏離本發(fā)明的本質(zhì)和范圍的前提下，可以對之前所述的液體分配 系統(tǒng)做出各種修改。例如，對于特定的液體化學制品(例如，用于制作薄 膜晶體管平板顯示器的彩色濾光片化學制品)，有時需要輸送和儲存內(nèi)容 器20內(nèi)具有頂隙氣體的液體12，以防止液體12衰變。此頂隙氣體必須在將
液體12分配到制造過程13之前去除。為了實現(xiàn)此目的，可以將頂隙氣體去
除系統(tǒng)組裝進系統(tǒng)10內(nèi)，例如，由K. O'Dougherty、 R. Oberg、 J. Menning、 G. Eiden以及D. Grant在2004年3月13日提出申請的名為"Liquid Dispensing Method and System with Headspace Gas Removal"的美國專利申請第 10/823，127號中所述，該申請在此并入本文供參考。此外，可以使用美國 專利申請第2003/0205285號中所說明的方法和系統(tǒng)填充容器14以在內(nèi)容 器20內(nèi)提供零頂部空間，該申請由W. Kelly和D. Chilcote在2003年ll月6日 提出申i青且名為"Apparatus and Method for Minimizing the Generation of Particles in Ultrapure Liquids",該申請也在此并入本文供參考。此外，系 統(tǒng)10擴展為允許從單個容器14具有多個分配點。
本發(fā)明的液體分配系統(tǒng)提供了優(yōu)于傳統(tǒng)分配系統(tǒng)的幾個優(yōu)點。例如， 因為系統(tǒng)10在分配鏈中不使用泵，所以液體12將不會受到在傳統(tǒng)系統(tǒng)中通 常由于泵部件的損壞造成的污染。此外，液體12通過內(nèi)容器20與迫使液體 12通過流動通道40的增壓氣體隔離。這樣就防止了氣體在分配過程期間被 迫使進入液體12中，從而防止在液體12中形成有害的微氣泡。加之與泵和 其它流動控制裝置相比，系統(tǒng)10的部件相對便宜，所以降低了整個分配系 統(tǒng)的成本。此外，系統(tǒng)10的部件可以很容易地一體形成為單個可輸送包裝， 所述包裝可以快速和簡單地連接到最終使用設(shè)施處的制造過程。
總而言之，允許用相同的輸入液體源實現(xiàn)不同化學制品量和不同分配 速度的當前分配系統(tǒng)在分配鏈中采用分配泵或流動控制裝置。然而，這些 部件很貴，還己知有助于液體的污染，以及可以具有較差的穩(wěn)定性。本發(fā) 明的液體分配系統(tǒng)解決了傳統(tǒng)液體分配系統(tǒng)的這些和其它缺陷。液體從包 括外容器和被液體占據(jù)的柔性內(nèi)容器的容器分配到制造過程。系統(tǒng)包括用 于提供內(nèi)容器的內(nèi)部和制造過程之間的流體連通的流動通道。增壓流體源 被設(shè)置成與外容器的內(nèi)壁和內(nèi)容器之間的空間流體連通。增壓流體源使流 體在壓力下流入外容器的內(nèi)壁和內(nèi)容器之間的空間，以迫使內(nèi)容器外的液 體通過流動通道至制造過程。壓力傳感器被定位為用于感測流動通道中的 壓力。響應壓力傳感器的控制器通過調(diào)節(jié)來自增壓流體源的壓力控制流動 通道中的壓力。
雖然已經(jīng)參照優(yōu)選實施例說明了本發(fā)明，但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將會 認識到，在不偏離本發(fā)明的本質(zhì)和范圍的前提下可以對形式和細節(jié)進行變
權(quán)利要求
1.一種用于將液體從容器分配到制造過程的系統(tǒng)，所述容器包括外容器和內(nèi)容器，所述內(nèi)容器由柔性材料制成并被所述液體占據(jù)，所述系統(tǒng)包括流動通道，所述流動通道用于提供所述內(nèi)容器的內(nèi)部和制造過程之間的流體連通；增壓流體源，所述增壓流體源與所述外容器的內(nèi)壁和所述內(nèi)容器之間的壓縮空間流體連通，用于使流體在壓力下流入所述壓縮空間，以迫使液體通過所述流動通道離開所述內(nèi)容器至制造過程；壓力傳感器，所述壓力傳感器被定位為用于感測所述流動通道中的壓力；以及響應所述壓力傳感器的控制器，所述控制器用于通過調(diào)節(jié)來自所述增壓流體源的壓力控制所述液體在所述流動通道中的流動。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的系統(tǒng)，其中所述控制器可對分配配方進行程 序控制，其中所述分配配方包括待分配到制造過程的液體的配方量、以及 所述配方量的液體在其內(nèi)必須分配到制造過程內(nèi)的分配持續(xù)時間。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述控制器根據(jù)所述分配配方控 制所述液體在所述流動通道中的流動。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的系統(tǒng)，其中所述增壓流體源包括 清潔的干燥空氣(CDA)源；以及流體控制裝置，所述流體控制裝置連接在所述CDA源和所述壓縮空間之間，所述流體控制裝置響應來自所述控制器的信號，以調(diào)節(jié)所述壓縮空 間中的CDA壓力。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中所述流體控制裝置包括斷流閥。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述斷流閥包括電磁閥。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中所述控制器通過將脈沖寬度調(diào)制 驅(qū)動信號提供給所述電磁閥來調(diào)節(jié)來自所述增壓流體源的壓力。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中所述控制器包括比例反饋部件， 所述比例反饋部件用于確定用于調(diào)制至所述電磁閥的所述驅(qū)動信號的誤 差信號，所述誤差信號基于通過所述壓力傳感器感測的所述流動通道中的 壓力。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中所述控制器包括比例-積分-微分 (PID)反饋部件，所述比例-積分-微分反饋部件用于確定用于調(diào)制至所述電磁閥的所述驅(qū)動信號的誤差信號，所述誤差信號基于通過所述壓力傳 感器感測的所述流動通道中的壓力。
10. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，還包括壓力調(diào)節(jié)器，所述壓力調(diào)節(jié)器連接在所述CDA源和所述流體控制裝置之間。
11. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的系統(tǒng)，還包括壓力釋放閥，所述壓力釋放閥連接在壓力釋放管和所述壓縮空間之 間，以幫助釋放所述壓縮空間中的壓力。
12. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的系統(tǒng)，其中所述壓力釋放闊包括斷流閥。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中所述斷流閥包括電磁閥。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中所述控制器通過將脈沖寬度調(diào) 制驅(qū)動信號提供給所述電磁閥來調(diào)節(jié)來自所述增壓流體源的壓力。
15. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，還包括 流體控制閥，所述流體控制閥連接在所述增壓流體源和所述壓縮空間 之間，所述流體控制閥響應來自所述控制器的信號，以增加所述壓縮空間 中的壓力；以及壓力釋放閥，所述壓力釋放閥連接在壓力釋放管和所述壓縮空間之 間，所述壓力釋放閥響應來自所述控制器的信號，以減小所述壓縮空間中 的壓力。
16. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的系統(tǒng)，還包括在所述壓力傳感器的下游的停止閥，所述停止閥用于當配方量的液體 已經(jīng)分配到制造過程時終止所述流體至制造過程的分配。
17. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的系統(tǒng)，還包括反吸閥，所述反吸閥連接在所述流動通道的制造過程端附近，用于當 終止所述液體至制造過程的分配后將液體吸回所述流動通道的所述制造 過程端中。
18. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的系統(tǒng)，還包括 橫過所述流動通道連接的過濾器。
19. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的系統(tǒng)，其中所述流動通道、所述壓力傳感 器、增壓流體源連接器以及控制器連接器設(shè)置在可連接到所述容器的單個 包裝中。
20. —種將液體從容器分配到制造過程的方法，其中所述容器包括外容器和柔性內(nèi)容器，所述柔性內(nèi)容器含有所述液體，所述方法包括步驟 在所述內(nèi)容器的內(nèi)部和制造過程之間提供液體流動通道； 將增壓流體供給到所述內(nèi)容器和所述外容器之間的壓縮空間中，以通過所述液體流動通道將液體從所述內(nèi)容器分配到制造過程； 感測所述流動通道中的壓力；以及通過調(diào)節(jié)所述增壓流體的壓力來控制所述流動通道中的壓力。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中調(diào)節(jié)所述增壓流體的壓力包括 步驟調(diào)節(jié)連接在增壓流體源和所述壓縮空間之間的至少一個流體控制閥。
22. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中調(diào)節(jié)至少一個流體控制閥包括將脈沖寬度調(diào)制驅(qū)動信號提供給所述至少一個流體控制閥。
23. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，還包括步驟當配方量的液體已經(jīng)分配到制造過程時，終止所述液體至制造過程的 分配。
24. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法，還包括步驟-當終止液體至制造過程的分配后，將所述液體吸入所述流動通道的制造過程端。
25. —種液體處理系統(tǒng)，包括容器，所述容器包括外容器和柔性內(nèi)容器，所述柔性內(nèi)容器含有液體:以及可連接到所述容器的連接器，所述連接器包括探針，所述探針可插入所述內(nèi)容器并在其內(nèi)具有流動通道；增壓流體源連接器，所述增壓流體源連接器用于與增壓流體源連 接，使得所述增壓流體源與所述外容器的內(nèi)壁和所述內(nèi)容器之間的壓 縮空間流體連通，用于使流體在壓力下流入所述外容器的所述內(nèi)壁和 所述內(nèi)容器之間的空間，以迫使液體通過所述流動通道離開所述內(nèi)容 器；壓力傳感器，所述壓力傳感器用于感測所述流動通道中的壓力；以及控制器連接器，所述控制器連接器用于與響應所述壓力傳感器的 控制器連接，所述控制器通過調(diào)節(jié)來自所述增壓流體源的壓力根據(jù)來 自所述壓力傳感器的信號來控制所述液體在所述流動通道中的流動。
26. 根據(jù)權(quán)利要求25所述的液體處理系統(tǒng)，其中所述連接器還包括用 于終止所述液體的分配的停止閥。
27. 根據(jù)權(quán)利要求25所述的液體處理系統(tǒng)，其中所述連接器還包括反 吸閥，所述反吸閥用于當終止所述液體的分配后將液體吸回所述流動通道 中。
28. 根據(jù)權(quán)利要求25所述的液體處理系統(tǒng)，其中所述連接器還包括橫過所述流動通道連接的過濾器。
29. 根據(jù)權(quán)利要求25所述的液體處理系統(tǒng)，其中所述控制器可對分配配方進行程序控制，所述分配配方包括待分配的液體的配方量、以及在其 內(nèi)必須分配所述配方量的液體的分配持續(xù)時間。
30. 根據(jù)權(quán)利要求29所述的液體處理系統(tǒng)，其中所述控制器根據(jù)所述 分配配方控制所述流動通道中的壓力。
全文摘要
一種用于將液體(12)從容器(14)分配到制造過程(13)的系統(tǒng)(10)，容器(14)包括外容器(22)和被液體(12)占據(jù)的柔性內(nèi)容器(20)。流動通道(40)為內(nèi)容器(20)的內(nèi)部和制造過程(13)之間提供流體連通。增壓流體源(30)與外容器(22)的內(nèi)壁和內(nèi)容器(20)之間的空間(31)流體連通。增壓流體源(30)使流體在壓力下流入外容器(22)的內(nèi)壁與內(nèi)容器(20)之間的空間(31)，以迫使液體通過流動通道(40)離開內(nèi)容器(20)至制造過程(13)。壓力傳感器(44)被定位為用于感測流動通道(40)中的壓力。響應壓力傳感器(41)的控制器(50)通過調(diào)節(jié)來自增壓流體源(30)的壓力控制流動通道(40)中的壓力。
文檔編號B65D35/34GK101102940SQ200580046598
公開日2008年1月9日 申請日期2005年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月15日
發(fā)明者凱文·T·奧多爾蒂 申請人:先科材料有限公司