技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種用于阻擋層拋光的酸性拋光液，含有(a)研磨顆粒(b)端基含氨基的硅烷偶聯(lián)劑(c)唑類化合物(d)有機(jī)膦酸絡(luò)合劑(e)聚乙烯亞胺型表面活性劑(f)氧化劑(g)水。該拋光液可以有效降低蝶形缺陷和局部侵蝕，同時具有長期穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：李星;王晨;何華鋒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安集微電子科技（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.31
技術(shù)公布日：2017.07.07