專利名稱：狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置，尤其涉及可以將用于清 除涂布到滾輪表面的感光液的溶液均勻地供應(yīng)到滾輪表面的狹縫式涂布機(jī)用 預(yù)備排出裝置。
背景技術(shù)：
通常，在半導(dǎo)體設(shè)備或者平板顯示器(FPD: flat panel display)的制造 工程中，為了使在被處理基板(硅晶片或者玻璃基板)上執(zhí)行特定功能的薄 膜，例如氧化薄膜、金屬薄膜、半導(dǎo)體薄膜等以所需的形狀圖案化(patterning )， 進(jìn)行將與光源產(chǎn)生反應(yīng)的感光液(sensitive material)涂布到所述薄膜上面的 工程。
如上所述地為在被處理基板的薄膜上構(gòu)成預(yù)定的回路模式而涂布感光液 形成感光膜，并對應(yīng)回路模式使所述感光膜曝光，然后對曝光的部位或者沒 有曝光的部位進(jìn)行顯影處理進(jìn)而清除的一系列過程稱為影印工程或者光刻 (Photolithography)工程。
在所述影印工程中，感光膜的厚度應(yīng)以預(yù)定厚度均勻形成。例如，若感 光膜厚度比基準(zhǔn)值厚，則薄膜中所需的部分就不會(huì)被蝕刻，而若感光膜厚度 比基準(zhǔn)值薄，則薄膜的被蝕刻程度就會(huì)超過預(yù)期的蝕刻量。因此如果要在被 處理基板上形成厚度均勻的感光膜，則應(yīng)首先在被處理基板上均勻地涂布感 光液。
玻璃基板主要使用利用平板(surface plate )支撐基板的狀態(tài)下，使形成 在橫跨基板方向排出感光液的狹縫(slit)的狹縫噴嘴沿著垂直于狹縫的形成 方向在基板上移動(dòng)的同時(shí)利用所述狹縫在基板表面涂布感光液的非旋轉(zhuǎn)式涂 布(spinless coating )法或者狹縫式涂布(slit coating )法。
圖1是采用非旋轉(zhuǎn)式涂布法的以往的感光液涂布裝置(狹縫式涂布機(jī)) 的概略的立體圖。
參照圖1可知，以往的狹縫式涂布機(jī)包含平板IO,裝載并支撐需要進(jìn) 行感光液處理的基板S;狹縫噴嘴20,在裝載于所述平面板10的基板S上面涂布感光液。
所述狹縫噴嘴20在其底端形成長度與基板S的寬度W對應(yīng)的狹縫(未 圖示)。當(dāng)在基板S上面涂布感光液時(shí)，在平面板10的一側(cè)待^/L的狹縫噴嘴 20朝基板S方向前移并通過所述狹縫在基板S表面涂布感光液，而當(dāng)感光液 的涂布作業(yè)完成之后，后退至平面板IO—側(cè)待機(jī)。
另外，以往的狹縫式涂布機(jī)的狹縫噴嘴20在涂布完感光液之后，所述狹 縫及所述狹縫周圍的兩側(cè)邊緣(lip)殘留著有機(jī)絕緣物質(zhì)或者部分感光液。 在狹縫噴嘴20待機(jī)的時(shí)段所述殘留的感光液與外氣接觸后屬性會(huì)發(fā)生變化 或者狹縫噴嘴20待機(jī)后再次進(jìn)行涂布作業(yè)時(shí)會(huì)發(fā)生巨涌(surge )現(xiàn)象，因而 對于在基板上面形成均質(zhì)的涂布膜造成不良影響。
為解決上述問題，以往的狹縫式涂布機(jī)具備預(yù)備排出裝置30，以用于狹 縫噴嘴20對基板S進(jìn)行涂布之前清除殘留的涂布液或者在進(jìn)行涂布時(shí)防止巨 涌現(xiàn)象。
圖2是圖1中示出的狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置的剖視圖。
參照圖2可知，以往的狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置包含滾輪31,以 用于接收狹縫噴嘴20預(yù)備排出的排出液；收容部32，以用于可旋轉(zhuǎn)地支撐 所述滾輪31并將滾輪31收容于內(nèi)部；清洗組件41、 42、 43、 44、 45、 46, 沿著所述滾輪的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)置。
具體說，滾輪31在收容部32內(nèi)部旋轉(zhuǎn)的同時(shí)從其上側(cè)的狹縫噴嘴20 接收殘留于狹縫上的殘留液，而收容部32將滾輪31浸漬于儲(chǔ)存在下部的清 洗液內(nèi)清除滾4侖31外沿的排出液。而且，清洗組件31包含第一噴嘴41, 給滾輪31的表面供應(yīng)用于稀釋感光液的溶液，例如溶劑(solvent);刮刀42, 與滾輪31的外沿接觸而清除異物；第二噴嘴43,噴射清洗液；第三噴嘴44， 在滾輪31浸漬于清洗液之后再次噴射清洗液；刮刀45,清除殘留清洗液； 以及第四噴嘴46，用于噴射干燥空氣。
根據(jù)如上構(gòu)成的以往的預(yù)備排出裝置執(zhí)行的預(yù)備排出裝置的清洗過程如 下。狹縫噴嘴20預(yù)備排出藥液，例如感光液到朝 一側(cè)方向旋轉(zhuǎn)的滾輪31表 面，所述感光液被旋轉(zhuǎn)的滾輪31移送到收容部內(nèi)部。在這個(gè)過程中，感光液 被第一噴嘴41噴射到滾輪31表面的溶液一次稀釋，而包含于該感光液內(nèi)的 異物則通過刮刀42清除。
接著，利用儲(chǔ)存于收容部32內(nèi)的清洗液清洗滾輪表面，并通過清洗液清洗之后通過第三噴嘴44和刮刀45再次對滾輪表面進(jìn)行清洗，最后利用第四 噴嘴46對滾輪31表面進(jìn)行干燥，由此完成清洗。以上的作業(yè)過程在藥液通 過狹縫噴嘴預(yù)備排出的時(shí)間內(nèi)連續(xù)反復(fù)地進(jìn)行。
根據(jù)如上所述的以往技術(shù)，以稀釋感光液為目的排出到滾輪31表面的溶 液，例如溶劑通過所述第一噴嘴41的噴射或者通過利用滴落單元(未圖示) 的單純的滴落方式涂布到滾輪表面稀釋感光液。
但是，如上所述地利用噴嘴噴射或者單純滴落方式給滾輪表面提供溶液 時(shí)， 一部分溶液無法正確供應(yīng)到滾輪表面而飛散及流到外部或者其他區(qū)域?qū)?致消耗更多量的溶液，而且溶液無法均勻涂布到整個(gè)滾輪導(dǎo)致對滾輪表面的 清洗效率降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，本發(fā)明的目的在于提供一種狹縫 式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置，其顯著減少溶液的不必要的浪費(fèi)，且可以將溶液 均勻地涂布到滾輪表面，由此可以提高對滾輪表面的感光液的清洗效率。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置包含 滾輪，接收通過狹縫噴嘴預(yù)備排出的感光液；收容部，可旋轉(zhuǎn)地支撐滾輪并 使收容的滾輪的一部分露出到外部；清洗組件，在收容部內(nèi)沿著所述滾輪外 表面貼近設(shè)置，所述清洗組件包含溶液供應(yīng)管，供應(yīng)用于稀釋感光液的溶 液；傾斜板，使通過溶液供應(yīng)管供應(yīng)的溶液流向所述滾輪表面；多個(gè)刮刀， 與滾輪外表面接觸而清除異物。


圖1是根據(jù)非旋轉(zhuǎn)式涂布法的以往的狹縫式涂布機(jī)概略的立體圖； 圖2是圖1中示出的狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置的剖視圖； 圖3是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置的剖視圖； 圖4是放大了圖3中的要部的要部放大圖。
主要符號(hào)說明200為狹縫噴嘴，310為滾輪，320為收容部， 330為清洗槽，332為清洗液，410為溶液供應(yīng)管，420為傾斜板， 422為溶液收容部，424為狹縫，430為第1刮刀，432為凹槽， 440為第2刮刀，450為第3刮刀。
具體實(shí)施方式
以下，參照附圖來詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
圖3是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置的剖視圖。
參照圖3可知，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置包含 可旋轉(zhuǎn)的滾輪310及可旋轉(zhuǎn)地支撐滾輪310并使收容的滾輪310的一部分露 出到外部的收容部320。滾輪310接收通過狹縫噴嘴200預(yù)備排出的感光液， 而收容部320為了對接收感光液的滾輪310表面進(jìn)4亍清洗，其內(nèi)部設(shè)有填充 了清洗液332的清洗槽330。
這時(shí)，所述滾4侖310以其外面的一部分浸漬到清洗液332的形態(tài)可旋轉(zhuǎn) 地設(shè)置在收容部320,所述收容部320具備清洗組件，以用于清洗可旋轉(zhuǎn)地 設(shè)置在收容部320的滾輪310。所述清洗組件包含用于清除滾輪表面異物及 進(jìn)行清洗的多個(gè)組成部分，而這些組成部分在收容部320內(nèi)沿著所述滾輪310 的旋轉(zhuǎn)方向貼近滾l侖310外面設(shè)置。
具體說，所述清洗組件包含溶液供應(yīng)管410，用于供應(yīng)稀萍,感光液的 溶液；傾斜板420,為使通過溶液供應(yīng)管410供應(yīng)的溶液流向所述滾輪310 表面而引導(dǎo)溶液的流動(dòng)；多個(gè)刮刀430、 440、 450，與滾輪310外表面接觸 而清除滾輪表面的異物及感光液(或者清洗液)。
所述傾斜板420向著滾輪310的外面向下傾斜，從而引導(dǎo)通過所述溶液 供應(yīng)管410提供的溶液100順利地流向滾輪310表面，而多個(gè)刮刀分為沿著 滾輪310的圓周方向貼近滾輪表面設(shè)置的第一、第二、第三刮刀430、 440、 450。第一刮刀430布置于所述溶液供應(yīng)管410及傾釗—反420下側(cè)的收容部 320內(nèi)，用于清除滾輪表面的異物及混合有溶液的稀釋液，而第二刮刀440 布置于填充清洗液332的清洗槽330內(nèi)，用于清除浸漬于清洗液332的滾輪 310表面的異物及感光液。并且，第三刮刀450用于清除通過清洗液332浸 漬清洗后殘留于滾4侖310表面的清洗液。
優(yōu)選地，所述溶液供應(yīng)管410及傾斜板420布置于預(yù)備排出到露出于收 容部320外部的滾4侖310表面的感光液由滾4侖310帶入收容部320內(nèi)部的方 向的收容部320內(nèi)部上側(cè)。此時(shí)，通過狹縫噴嘴200向一側(cè)方向》走轉(zhuǎn)的滾輪 310表面預(yù)備排出藥液，例如預(yù)備排出感光液時(shí)，所述感光液在旋轉(zhuǎn)的滾輪 310的帶動(dòng)下移送至收容部320內(nèi)部，在此過程中溶液供應(yīng)管410 ^是供的溶液，例如溶劑通過傾斜板420供應(yīng)到滾輪310的表面，由此對粘附在滾輪310 表面的感光液進(jìn)行一次稀釋，而稀釋物及溶劑中包含的異物則被第一刮刀42 一次性清除。
此時(shí)，所述第一刮刀430在與滾輪310外面接觸的刀身末端向著與所述 滾輪310旋轉(zhuǎn)方向相反的方向設(shè)有凹陷預(yù)定厚度的凹槽432 (參照圖4)。所 述凹槽432內(nèi)殘留著沿著滾輪310表面流下的一部分溶液100。即，所述凹 槽432截留為稀禾奪感光液而從傾斜板420供應(yīng)到滾輪310表面的溶液100中 的一部分，而^皮殘留的溶液100用于再次稀釋殘存于滾4侖310表面的感光液。
即，所述第一刮刀430清除通過溶液一次稀釋的滾輪310表面的感光液 及異物的同時(shí)利用殘留于其刀身末端的凹槽432內(nèi)的溶液對滾輪310表面實(shí) 施清洗。這時(shí)，利用通過溶液供應(yīng)管410提供到滾輪310表面的溶液稀釋感 光液后，由第 一刮刀430對殘留于滾輪310表面的感光液再次進(jìn)4亍稀釋，進(jìn) 而可進(jìn)一步提高對滾輪310的清洗效率。
圖4是放大了圖3中的要部的要部放大圖，放大示出包含溶液供應(yīng)管及 傾斜板的清洗組件的主要部分。
如圖4所示，所述傾斜板420在其末端的自由端側(cè)具備用于臨時(shí)收容溶 液100的溶液收容部422。這種溶液收容部422用于防止溶液供應(yīng)管41(U是 供的溶液過量的供應(yīng)到滾輪310的表面，其結(jié)構(gòu)可通過向上彎曲傾斜板420 自由端側(cè)端部而形成，而沿著彎曲端的長度方向形成用于排出溶液的又窄又 細(xì)的狹縫424。由此，當(dāng)通過溶液供應(yīng)管410供應(yīng)溶液時(shí)，該:容液沿著傾斜 板420流動(dòng)并流入所述溶液收容部422聚集而只有其中的一部分;容液通過狹 縫424供應(yīng)到滾4侖310的表面。
如上所述地在傾斜板420上設(shè)置用于臨時(shí)儲(chǔ)存溶液的溶液收容部422時(shí)， 通過溶液供應(yīng)管410供應(yīng)的溶液臨時(shí)收容于所述溶液收容部422,只有其中 的一部分溶液通過狹縫424供應(yīng)到滾輪310的表面，因此與以往的溶液噴射 或者滴落方式相比可減少溶液的不必要的浪費(fèi)。而且，在溶液供應(yīng)管410的 溶液供應(yīng)暫時(shí)停止的狀況下，由于一定量的溶液100臨時(shí)儲(chǔ)存于溶液收容部 422，因此溶液在一定時(shí)間內(nèi)可連續(xù)供應(yīng)到滾4侖310表面。進(jìn)而可防止溶液供 應(yīng)中斷引起的刮刀負(fù)荷過大及無法清洗。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，用于清洗接收了藥液，例如接收了感 光液的滾輪310的清洗裝置采用的清洗組件包含溶液供應(yīng)管410,為稀釋感光液而l是供類似溶劑的溶液；傾斜板420，為^吏通過溶液供應(yīng)管410供應(yīng) 的溶液供應(yīng)到旋轉(zhuǎn)的滾輪310表面而？ 1導(dǎo)溶液流動(dòng)。所述清洗組件中，傾斜 板420包含臨時(shí)收容溶液100的溶液收容部422,以避免溶液供應(yīng)管410提 供的溶液過量地供應(yīng)到滾輪310表面。
由此，通過溶液供應(yīng)管410供應(yīng)的溶液臨時(shí)儲(chǔ)存于溶液收容部422，其 中僅一部分溶液通過狹縫424少量地供應(yīng)到滾輪310表面，因而與以往的溶 液噴射或者滴落方式不同，不會(huì)消耗大量的溶液，且使得供應(yīng)到滾輪310表 面的溶液量始終保持一定并均勻排出到滾輪的寬度方向，進(jìn)而可進(jìn)一步提高 對粘附于滾4侖310表面的感光液的清洗效率。
同時(shí)，由于溶液收容部422臨時(shí)儲(chǔ)存有一定量的溶液100,因而即使通 過溶液供應(yīng)管410的;容液供應(yīng)一時(shí)中斷，溶液也會(huì)在一定時(shí)間內(nèi)連續(xù)供應(yīng)到 滾輪表面，進(jìn)而可防止溶液供應(yīng)中斷導(dǎo)致的刮刀負(fù)荷增大及無法清洗。
而且，才艮據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，第一刮刀430的刀身末端具有以預(yù)定深度 凹陷形成的凹槽432,用于截取一部分通過滾4侖310表面流下的;容液100,由 此再一次稀釋殘留于滾輪310表面的感光液，進(jìn)而可提高對滾輪310的清洗 效果。
以上說明的僅僅是用于實(shí)施本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，而本發(fā)明不限于上述 實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明范圍的情況下，所屬領(lǐng)域的^t支術(shù)人員可以進(jìn)行各種 變形和〗務(wù)改。
由以上的說明可知，本發(fā)明中的通過溶液供應(yīng)管提供的溶液臨時(shí)儲(chǔ)存于 傾斜板的溶液收容部并通過狹縫供應(yīng)到滾輪側(cè)，因而與以往的噴射或者單純 的滴落方式相比，具有顯著減少溶液的不必要的浪費(fèi)的優(yōu)點(diǎn)。
而且，臨時(shí)儲(chǔ)存于溶液收容部的溶液通過狹縫排出方式供應(yīng)到滾輪表面， 由此可實(shí)現(xiàn)對滾輪表面的溶液的均勻涂布，進(jìn)而進(jìn)一步提高對滾輪表面感光 液的清洗效率。
權(quán)利要求
1. 一種狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置，其包含滾輪，接收通過狹縫噴嘴預(yù)備排出的感光液；收容部，可旋轉(zhuǎn)地支撐滾輪并使收容的滾輪的一部分露出到外部；清洗組件，在收容部內(nèi)沿著所述滾輪外表面貼近設(shè)置，所述清洗組件包含溶液供應(yīng)管，用于供應(yīng)稀釋感光液的溶液；傾斜板，使通過溶液供應(yīng)管供應(yīng)的溶液流向所述滾輪表面；多個(gè)刮刀，與滾輪外表面接觸而清除異物。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置，其特征在于所 述溶液供應(yīng)管及傾斜板布置于預(yù)備輸出到露出于收容部外部的滾4侖表面的感 光液由滾輪帶入收容部內(nèi)部的方向的收容部內(nèi)部上側(cè)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置，其特征 在于所述傾斜板在其末端的自由端側(cè)具備臨時(shí)收容溶液供應(yīng)管供應(yīng)的溶液并 在長度方向形成用于排出溶液的狹縫的溶液收容部。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置，其特征在于所 述溶液收容部通過向上彎曲傾斜板的自由端側(cè)端部而形成，且沿著彎曲端形 成用于排出溶液的所述狹縫。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置，其特征在于與 滾輪表面接觸的所述多個(gè)刮刀包含第一刮刀，布置于所述溶液供應(yīng)管及傾斜板下側(cè)的收容部內(nèi)，用于清除滾輪表面的異物及混合有溶液的稀釋液；第二刮刀，布置于填充清洗液的清洗槽內(nèi)，用于清除浸漬于清洗液的滾 輪表面的異物及感光液。第三刮刀，用于清除通過清洗液浸漬清洗后殘留于滾輪表面的清洗液。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置，其特征在于所 述第 一刮刀在與滾輪外面接觸的刀身末端向與所述滾輪旋轉(zhuǎn)方向相反的方向 凹陷形成預(yù)定深度的凹槽，該凹槽用于截留一部分為稀釋感光液而/人傾斜板 供應(yīng)到滾一侖表面的溶液。
全文摘要
本發(fā)明涉及狹縫式涂布機(jī)用預(yù)備排出裝置，包含滾輪，接收通過狹縫噴嘴預(yù)備排出的感光液；收容部，可旋轉(zhuǎn)地支撐滾輪并使收容的滾輪的一部分露出到外部；清洗組件，在收容部內(nèi)沿著所述滾輪外表面貼近設(shè)置，所述清洗組件包含溶液供應(yīng)管，用于供應(yīng)稀釋感光液的溶液；傾斜板，使通過溶液供應(yīng)管供應(yīng)的溶液流向所述滾輪表面；多個(gè)刮刀，與滾輪外表面接觸而清除異物。根據(jù)本發(fā)明通過溶液供應(yīng)管供應(yīng)的溶液通過傾斜板供應(yīng)到滾輪側(cè)，與以往的噴射或者單純的滴落的方式相比可顯著減少溶液的浪費(fèi)，而且可以實(shí)現(xiàn)滾輪表面的溶液的均勻涂布，由此可進(jìn)一步提高對滾輪表面感光液的清洗效果。
文檔編號(hào)B05C5/02GK101303530SQ200810095240
公開日2008年11月12日 申請日期2008年5月5日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月7日
發(fā)明者尹承韓, 鄭恩米 申請人:K.C.科技股份有限公司