專利名稱：基板傳送方法及其裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種基板的傳送方法以及裝置，更詳細而言，涉及對小型液晶面板等的基板進行清洗時，可以確實進行清洗并傳送此基板的方法以及裝置。
背景技術：
先前，在制造液晶面板的過程中，將2塊玻璃基板貼合之后切割成預定尺寸，在切割成預定尺寸后的玻璃基板(以下稱為液晶玻璃基板)兩面粘上偏光板(polarizing plate)，以此獲得液晶面板。然而，在將玻璃基板切割成預定尺寸的步驟中，會產生稱為碎玻璃(cullet)的玻璃屑，并附著在液晶玻璃基板的表面上。若在這種狀態(tài)下將偏光板粘在液晶玻璃基板上，則碎玻璃將作為異物存在于液晶玻璃基板和偏光板之間而引發(fā)問題。所以，需要在玻璃基板的切割步驟之后，利用碎玻璃清洗機的薄片狀研磨構件等，對液晶玻璃基板表面進行研磨清掃以除去碎玻璃。接著，經過對液晶玻璃基板進行清洗水的水洗以及干燥的步驟，在完全除去液晶玻璃基板表面的碎玻璃之后，再進行偏光板的粘貼步驟。
在此，關于所述各步驟中的液晶玻璃基板的傳送方法，眾所周知有傳送輥(transfer roller)方式，即，跨架并支撐多個傳送輥且使之兩端旋轉自如，將液晶玻璃基板放置在這些傳送輥上進行傳送。
所述水洗以及干燥步驟中，在輥式的傳送輥上傳送液晶玻璃基板，且利用噴嘴(jet nozzle)從上下部噴射清洗水，以清洗液晶玻璃基板的兩個表面。接著，由氣刀(air knife)噴射高壓氣體，吹去附著在液晶玻璃基板表面的水分，以干燥液晶玻璃基板的表面。
但是，因為由氣刀噴射氣體，所以存在因其壓力而使液晶玻璃基板曲折行進的問題，而眾所周知的是，在氣刀的正前方設置將液晶玻璃基板按壓在傳送輥上的基板排列用噴嘴(例如，專利文獻1)。
另外，眾所周知還有如下方法當進行超聲波清洗時，為了防止由于超聲波清洗而使傳送輥上的液晶玻璃基板振動破損，對向于傳送輥設置寬平皮帶(flat belt)以覆蓋整個液晶玻璃基板，通過平皮帶和傳送輥夾持并傳送液晶玻璃基板(例如專利文獻2)。
日本專利特開2003-112134號公報[專利文獻2]日本專利特開2001-9396號公報近來，便攜式設備發(fā)展起來，使得移動電話等所使用的液晶面板等0.5～6英寸的小型基板大量生產，所以用來制造它們的制造裝置也必須小型化。
但是，當將所述專利文獻1以及專利文獻2中的傳送輥方式應用于小型基板制造裝置的傳送機構時，必須使相鄰傳送輥之間的距離(間距，pitch)窄于大型基板的傳送裝置，否則將會導致小型基板從間隙之間落下。
為了使上述多個傳送輥的間距變窄，必需縮小傳送輥軸的直徑，因而存在傳送輥軸的強度降低而發(fā)生彎曲的問題。另外，考慮到該強度降低的情況，必需對傳送輥軸的兩側加以支撐，故而存在維護性也相當差的問題。
另外，若使傳送輥的間距變窄則所需傳送輥的根數也要增加，所以存在傳送裝置的成本會增加的問題，并且由于傳送輥之間的間隔變窄，所以存在清洗水或氣體難以到達，使得對基板的清洗及干燥效果變差的問題。
另外，專利文獻2的傳送構造中，由于平皮帶的整個面支撐著上側，所以存在清洗水僅能到達基板的單面，而無法同時清洗基板的兩面的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明為了解決所述問題，提供一種基板傳送方法及其裝置，在傳送基板時即使小型基板也不會落下，傳送裝置的成本不會增加，對基板的清洗及干燥效果不會變差，且裝置維護性得到提升。并且當清洗時即使提高清洗水壓、氣壓也不會導致基板曲折行進或落下等。
為解決所述課題，本發(fā)明的第1發(fā)明提出一種基板傳送方法，其特征在于在基板傳送路徑的上下配置多根軸心和傳送路徑正交的支撐輥，在各支撐輥與相鄰支撐輥之間跨架多條與傳送路徑平行的循環(huán)狀的傳送圓皮帶(transport round belt)，并在由傳送路徑上下的傳送圓皮帶夾持基板的狀態(tài)下使支撐輥旋轉，從而沿著傳送路徑傳送基板。
另外，本發(fā)明的第2發(fā)明提出一種基板傳送裝置，其特征在于包括多個支撐輥，設置在基板的傳送路徑的上下，且軸心和傳送路徑正交；多條循環(huán)狀的傳送圓皮帶，與傳送路徑平行而跨架在各支撐輥與相鄰支撐輥之間；以及，驅動裝置，使所述支撐輥旋轉；該基板的傳送裝置是在利用跨架在上下支撐輥上的傳送圓皮帶夾持處于傳送路徑上的基板的狀態(tài)下，通過支撐輥的旋轉使基板沿著傳送路徑傳送。
另外，本發(fā)明的第3發(fā)明是如本發(fā)明第2發(fā)明所述的基板傳送裝置，其特征在于采用的結構是面向傳送路徑位于中間位置的各支撐輥上，交替配置著一側跨架在相鄰支撐輥之間的傳送圓皮帶、和另一側跨架在相鄰支撐輥之間的傳送圓皮帶。
另外，本發(fā)明第4發(fā)明是如本發(fā)明第2發(fā)明或第3發(fā)明任何一項所述的基板傳送裝置，其特征在于采用的結構是位于傳送路徑下方的支撐輥的一個端部是由下部支撐架而進行軸支撐；位于傳送路徑上方的支撐輥的一個端部是由上部支撐架而進行軸支撐；且下部支撐架和上部支撐架在上下方向上以活動自如的方式而相互接近分離。
根據所述本發(fā)明第1發(fā)明以及本發(fā)明第2發(fā)明所述，通過將傳送圓皮帶跨架在多個支撐輥之間，使基板始終由傳送圓皮帶支撐，因而即使基板變小，也無需如傳統(tǒng)傳送輥方式那樣縮小支撐輥的間距，則不會因增加支撐輥的根數而增加成本。并且，由于能夠保持寬大的輥間間隔，所以可以容易地對清洗噴嘴等進行設置，而使得對基板的清洗及干燥效果也得到提升。
另外，因無需使支撐輥變細，故可以保持輥軸的強度，也能夠單側對支撐輥加以軸支撐，而使維護性也得到提升。
另外，由于在借由傳送圓皮帶夾持基板的上下面的狀態(tài)下，不會因清洗等時的壓力而引發(fā)基板的曲折行進、橫向偏移或落下等，可以進行穩(wěn)定傳送。所以，可以進一步加強清洗時的水壓及干燥時的氣壓，因此對基板的清洗及干燥效果可得到提升。
另外，由于傳送圓皮帶的橫截面為圓形，所以傳送時不會損傷基板，基板和傳送圓皮帶的接觸也大致成線接觸狀態(tài)，因此清洗時的水或干燥時的氣體將充分到達整個基板。
并且，即使基板的尺寸發(fā)生改變，只要是寬度在支撐輥尺寸范圍以內的基板，就可以直接使用該傳送裝置，不會如傳統(tǒng)傳送輥方式時那樣需要改變傳送輥的間距，所以變更基板時的操作成本也會降低。
其次，根據本發(fā)明第3發(fā)明所述，在面向傳送路徑位于中間位置的各支撐輥上，交替配置著向一側延伸的傳送圓皮帶、和向另一側延伸的傳送圓皮帶。所以，在各支撐輥位置上，利用兩條沿著傳送路徑的前后傳送圓皮帶，可以穩(wěn)定地進行基板的交接，伴隨著夾持基板的傳送圓皮帶的變換而并不會發(fā)生基板的橫向偏移或曲折行進。并且，由于接觸基板的傳送圓皮帶的位置在通過支撐輥時會發(fā)生改變，所以若在該支撐輥的前后配置2個清洗噴嘴或氣刀，則水或氣體將會遍及整個基板，可以使對基板的清洗或干燥效果進一步提升。
其次，根據本發(fā)明第4發(fā)明所述，傳送路徑上下的各支撐輥各自的一個端部由下部支撐架和上部支撐架進行軸支撐，且所述上下支撐架在上下方向上以活動自如的方式而接近分離，所以易于從各支撐輥并未受到軸支撐的另一端部入手進行維護。并且，可使上下支撐架分離開，從而維護性進一步得到提升。


圖1是表示使用了本發(fā)明基板傳送裝置的液晶面板的偏光板粘貼裝置整體結構的平面圖。
圖2是應用了本發(fā)明基板傳送裝置的清洗裝置縱剖后的正視圖。
圖3是應用了本發(fā)明基板傳送裝置的清洗裝置縱剖后的平面圖。
圖4(a)、(b)是使用了本發(fā)明基板傳送裝置的清洗裝置的右側視圖。
圖5是表示本發(fā)明的動作的一部分放大說明圖。
圖6是表示使用本發(fā)明基板傳送裝置時的清洗狀態(tài)的說明圖。
A基板18升降汽缸B偏光板 19支撐輥軸C液晶面板20支撐輥1碎玻璃清洗機21傳送圓皮帶2薄片清洗機 22清洗機構3清洗裝置23清洗噴嘴4水洗區(qū)域24氣刀5干燥區(qū)域25導入孔6偏光板粘貼裝置 26排出孔7偏光板收納部8離型片剝離裝置9偏光板供給位置 10偏光板粘貼機11機座 12機殼13支撐架 14下部支撐架15導軸 16導件17上部支撐架具體實施方式
圖1是表示包含本發(fā)明基板的傳送裝置的液晶玻璃基板的偏光板粘貼裝置整體的平面圖。
液晶玻璃基板(以下簡稱為基板A)在未圖示的前一步驟中被切割成預定尺寸，并送進碎玻璃清洗機1中，以除去切割時附著在基板A表面的玻璃屑(碎玻璃)。在薄片清洗機2中，通過研磨薄片等將附著在基板A表面的碎玻璃剝落且進行清洗后，經由清洗裝置3中的水洗區(qū)域4以及干燥區(qū)域5，將基板A表面的碎玻璃完全除去。之后將基板A傳送到偏光板粘貼裝置6中，在基板A的兩面貼上偏光板B，從而制成液晶面板C。
如圖所示，偏光板粘貼裝置6分隔成右側的前段和左側的后段，前段以及后段分別鄰接偏光板收納部7，此偏光板收納部7收納偏光板B并且向基板A供給偏光板B。于偏光板收納部7內設置離型片剝離裝置8，離型片剝離裝置8用于剝離覆蓋偏光板B粘貼面的離型片(未圖示)。另外，在基板A的傳送路徑上，在前段以及后段分別設置偏光板供給位置9以及偏光板粘貼機10，其中，在偏光板供給位置9處使偏光板B重疊于基板A上，而偏光板粘貼機10是通過未圖示的粘貼輥的推壓等，以將偏光板B粘貼在基板A上。并在前段和后段之間，利用未圖示的適當裝置以將基板A的背面翻轉過來，由此在經由前段以及后段的偏光板粘貼機10后的基板A的兩面上粘貼偏光板B，從而制成液晶面板C。其后，轉送到圖示左側的下一步驟中。
圖2至圖4(a)、(b)表示使用了本發(fā)明傳送裝置的清洗裝置3。密閉狀的機殼12設在機座11上，在機殼12的后方外側豎直設在機座11上的支撐架13，其向前的延長部進入機殼12的內部。在機殼12內的前端固定支撐著下部支撐架14，下部支撐架14為板狀且主面成為朝向前方的垂直面。
在下部支撐架14的后方兩側，相對于下部支撐架14固定配置延伸于上下方向的導軸15，嵌合在該導軸15上的導件16相對導軸15上下活動自如，在該導件16的前方設置著板狀且主面為垂直面的上部支撐架17。所述上部支撐架17的主面和下部支撐架14的主面為相同平面，通過設在與下部支撐架14之間的升降汽缸18的作用，上部支撐架17相對于為固定狀態(tài)的下部支撐架14而升降活動自如。
在下部支撐架14以及上部支撐架17的前面，突出設置多根相對于所述下部支撐架14以及上部支撐架17為轉動自如的支撐輥軸19(參照圖6)，在上述這些各支撐輥軸19的前方，延伸設置和該支撐輥軸19同軸的支撐輥20。
如圖2所示，上述多根支撐輥20的配置情況是，在下部支撐架14的上端除左右兩端以外大致呈等間隔排列配置，且還配置在下部支撐架14的上端相鄰支撐輥20之間的下方。另外，在上部支撐架17上除一部分以外，設置在夾持傳送路徑和下部支撐架14側的支撐輥20群組對稱的位置上。
雖未圖示，在上述多根支撐輥20的表面，呈等間隔設置多個圍繞支撐輥20周圍的槽，在上述多個槽上嵌入橫截面為圓形的橡膠制循環(huán)狀(endless)的傳送用的皮帶(以下稱為傳送圓皮帶21)，所述傳送圓皮帶21分別跨過多根(2根或3根)支撐輥20而跨架在所述支撐輥20上。
如圖2所示，跨架在3根支撐輥20上的傳送圓皮帶21呈三角形狀，三角形的一邊接觸基板A的傳送路徑，且與傳送路徑平行。該部分的傳送路徑上下的傳送圓皮帶21的間隔能夠夾持基板A。
另外，面向傳送路徑的各支撐輥20中除兩端以外的中間支撐輥20上，交替配置著一側跨架在相鄰支撐輥20之間的傳送圓皮帶21、和另一側跨架在相鄰支撐輥20之間的傳送圓皮帶21。
如圖3所示，該實施例中，向一側引出6條傳送圓皮帶21，并且在所述6條傳送圓皮帶21的間隙中向另一側引出5條傳送圓皮帶21，且6條一組的傳送圓皮帶21群組(圖2中的二點虛線)和5條一組的傳送圓皮帶21群組(圖2中的實線)沿著傳送路徑交替設置。
另外，如圖4(a)所示，在夾持基板A的傳送路徑的上下，上下傳送圓皮帶21為對稱配置。
另外，由所述多個支撐輥20和傳送圓皮帶21所進行的基板A的傳送動作如下通過未圖示的馬達等適當驅動裝置，按照圖5所示的箭頭方向旋轉驅動傳送路徑上下各自的支撐輥20群組中的1根、或一部分支撐輥20，則通過傳送圓皮帶21使所有的支撐輥20按照箭頭方向旋轉，從而使傳送圓皮帶21向著基板A的箭頭方向進行傳送動作。
由所述支撐輥20和傳送圓皮帶21形成的基板的傳送路徑上，在水洗區(qū)域4中，且在跨架3根支撐輥20而呈三角形狀的傳送圓皮帶21的內側空間內，設置2組在傳送路徑上下成對的清洗機構22。
清洗機構22是在水平方向上排列設置多個與基板的傳送方向垂直的清洗噴嘴23，并如圖5所示那樣向在傳送路徑上移動的基板A的整個面噴射清洗水。
干燥區(qū)域5中，在跨架3條支撐輥20而呈三角形狀的傳送圓皮帶21的內側空間內，設置3組在傳送路徑上下成對的氣刀24，并向在傳送路徑上移動的基板A的整個面噴出干燥用的氣體。另外，也可以在干燥區(qū)域5中適當設置排出所產生的水蒸氣的排出孔等。
機殼12上設有導入孔25和排出孔26，導入孔25成為將碎玻璃清洗機1送來的基板A向清洗裝置3導入的路徑，而排出孔26用于將清洗完畢的液晶玻璃基板A向偏光板粘貼裝置6傳送。
使用了本發(fā)明一實施例的基板傳送裝置的清洗裝置3為如上所述結構，從導入孔25導入的基板A的下面由最右側的傳送圓皮帶21支持，而使基板A則沿著左側箭頭方向導入。在水洗區(qū)域4內，上側傳送圓皮帶21由中途開始一起夾持基板A的上下面，之后利用上下清洗噴嘴23向上下面噴出高壓清洗水，通過支撐輥20后再由另一組傳送圓皮帶21群組夾持，之后利用上下清洗噴嘴23進一步向上下面噴出高壓清洗水，因此傳送圓皮帶21和基板A接觸的位置發(fā)生改變，并進行2次清洗，從而整個基板A全部得到清洗。
其次，在干燥區(qū)域5內，變換夾持基板A的傳送圓皮帶21群組過程中，3次利用氣刀24噴出高壓氣體，使整個基板A全部干燥。其后，基板A的下面由最左側的傳送圓皮帶21支持，使基板A向則左側箭頭方向送出，并從排出孔26送出清洗裝置3，而進入下一步驟。
當改變基板A的厚度時，通過升降汽缸18的作用，使下部支撐架14和上部支撐架17的間隔改變，由此調整上下傳送圓皮帶21的間隔。當進行傳送裝置的保養(yǎng)檢查時，通過升降汽缸18的作用使上部支撐架17上升，若達到圖2中二點虛線或圖4(b)所示的狀態(tài)，則維修將變得容易，從而使維護性得以提升。
另外，本發(fā)明的傳送方法以及裝置并不限定于所述實施例，可以在本發(fā)明的范圍內，對支撐輥的數量或配置以及傳送圓皮帶的跨架形狀等，進行適當變更后實施。
另外，本實施例中，將上下傳送圓皮帶21配置為相對基板A呈上下對稱的形式，但也可以配置成上下相互錯開，此時，可以降低施加到基板A上的負荷。
另外，本發(fā)明中，使用橫截面為圓形以作為傳送圓皮帶的形狀，但并不是限定橫截面為圓形，只要是和基板的接觸為大致線接觸的形狀，就可以優(yōu)選使用(例如橫截面形狀為橢圓、菱形、三角形等)。
進而，本發(fā)明的傳送裝置如上文所說明，最適合應用于清洗裝置內的基板的傳送，但并不限定于上述多種用途，也可以應用于普通的傳送。另外，作為被傳送的基板，也可以應用于液晶面板用的液晶玻璃基板以外的各種基板類，形狀也不限定于矩形，例如，也可以適用于照相機的取景器等小型光學部件。
權利要求
1.一種基板傳送方法，其特征在于在基板的傳送路徑的上下配置多根軸心和傳送路徑正交的支撐輥，在各支撐輥與相鄰支撐輥之間跨架多條與傳送路徑平行的循環(huán)狀的傳送圓皮帶，并在由傳送路徑上下的傳送圓皮帶夾持基板的狀態(tài)下使支撐輥旋轉，從而沿著傳送路徑傳送基板。
2.一種基板傳送裝置，其特征在于包括多根支撐輥，設置在基板的傳送路徑的上下，且軸心和傳送路徑正交；多條循環(huán)狀的傳送圓皮帶，與傳送路徑平行而跨架在各支撐輥與相鄰支撐輥之間；以及驅動裝置，使所述支撐輥旋轉；該基板傳送裝置是在借由跨架在上下支撐輥上的傳送圓皮帶夾持位于傳送路徑的基板的狀態(tài)下，使支撐輥旋轉，從而沿著傳送路徑傳送基板。
3.如權利要求2所述的基板傳送裝置，其特征在于面向傳送路徑位于中間位置的各支撐輥上，交替配置著一側跨架在相鄰支撐輥之間的傳送圓皮帶、和另一側跨架在相鄰支撐輥之間的傳送圓皮帶。
4.如權利要求2或3任一項所述的基板傳送裝置，其特征在于位于傳送路徑下方的支撐輥的一個端部是由下部支撐架而進行軸支撐；位于傳送路徑上方的支撐輥的一個端部由上部支撐架而進行軸支撐；且下部支撐架和上部支撐架在上下方向上以活動自如的方式而相互接近分離。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板傳送方法，在傳送基板時即便是小型基板也不會落下，且傳送裝置的成本不會增加。另外，對基板的清洗及干燥效果不會變差，裝置維護性得以提升，并且對基板進行清洗時，即使提高清洗水壓、氣壓也不會導致基板曲折行進或落下等。在基板(A)的傳送路徑的上下配置多根軸心和傳送路徑正交的支撐輥(20)，在各支撐輥(20)與相鄰支撐輥(20)之間跨架多條與傳送路徑平行的循環(huán)狀的傳送圓皮帶(21)，并在由傳送路徑上下的傳送圓皮帶(21)、(21)夾持基板A的狀態(tài)下使支撐輥(20)旋轉，從而沿著傳送路徑傳送基板(A)。
文檔編號B05B1/04GK1996116SQ200610170010
公開日2007年7月11日 申請日期2006年12月22日 優(yōu)先權日2006年1月6日
發(fā)明者妙見治彥, 小西善久, 堀口茂春 申請人:株式會社高鳥