專利名稱：取向膜的液滴噴出方法及取向膜的液滴噴出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及取向膜的液滴噴出方法、電光面板的制造方法、電子設(shè)備的制造方法、程序、取向膜的液滴噴出裝置、電光面板及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
以前，制造液晶面板時(shí)，采用分配器作為在用密封劑圍起來(lái)的范圍內(nèi)滴下液晶的裝置。但是，采用分配器時(shí)，能夠以一定精度滴下大于等于一定量的液晶，但如果要滴下小于該一定量的液晶時(shí)，在噴出量的精度方面可靠性較差。而且，用分配器滴下液晶時(shí)，會(huì)引起滴下的痕跡(滴下痕跡)不均勻的現(xiàn)象。
日本專利申請(qǐng)?zhí)亻_(kāi)平5-281562號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了利用噴出一滴極微小量的、可高精度噴出的噴墨技術(shù)的液晶面板的制造方法。該公報(bào)記載了使噴出液晶液滴的噴墨頭主體以0.5mm的間距直線狀掃描，由此在基板上直線狀地放置液晶液滴的技術(shù)思想。
〖特許文獻(xiàn)1〗特開(kāi)平5-281562號(hào)公報(bào)采用噴墨方式在基板上涂布含有取向膜的材料的液狀體時(shí)，如上述現(xiàn)有技術(shù)那樣，從噴墨頭(以下簡(jiǎn)稱為“頭”)的噴嘴噴出的液狀體(取向膜的材料)一滴一滴地放置在基板上。頭中有多個(gè)噴嘴時(shí)，通過(guò)一次掃描可以描繪其多個(gè)噴嘴那么大的范圍。
對(duì)于超過(guò)頭中形成的多個(gè)噴嘴的范圍的區(qū)域，不能通過(guò)一次掃描進(jìn)行描繪。對(duì)于那樣的區(qū)域，可通過(guò)第二次掃描來(lái)描繪第一次掃描所不能描繪的地方，由此涂布所需涂布的整個(gè)區(qū)域。但是，如果通過(guò)第二次掃描來(lái)描繪第一次掃描所不能描繪的地方，會(huì)產(chǎn)生取向膜的材料(液狀體)的滴下(涂布)不均勻的現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種取向膜的液滴噴出方法、取向膜的液滴噴出裝置及電光面板，采用包含噴墨方式的液滴噴出方式涂布取向膜，在由此形成的電光面板上不會(huì)產(chǎn)生滴下(涂布)不均勻的現(xiàn)象。
本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提供一種取向膜的液滴噴出方法、取向膜的液滴噴出裝置及電光面板，采用包含噴墨方式的液滴噴出方式涂布取向膜，由此形成的電光面板的品質(zhì)不會(huì)下降。
本發(fā)明的取向膜的液滴噴出方法是具有沿與掃描方向垂直的方向，隔開(kāi)間隔地配置的多個(gè)噴嘴的液滴噴出頭沿前述掃描方向掃描，從前述多個(gè)噴嘴的各噴嘴中噴出取向膜的液滴的方法，通過(guò)前述液滴噴出頭的單一次前述掃描，向要涂布前述取向膜的涂布區(qū)域噴出前述取向膜的液滴。
本發(fā)明的取向膜的液滴噴出方法是具有沿與掃描方向垂直的方向，隔開(kāi)間隔地配置的多個(gè)噴嘴的液滴噴出頭，從與前述掃描方向垂直的副掃描方向中的特定位置，沿前述掃描方向掃描，從前述多個(gè)噴嘴的各噴嘴中噴出取向膜的液滴的方法，在要涂布前述取向膜的涂布區(qū)域中的一定位置處噴出前述取向膜的液滴，以便不產(chǎn)生前述取向膜與空氣的界面，其中上述一定位置是與前述液滴噴出頭在副掃描動(dòng)作前后的各次前述掃描中所噴出的前述取向膜的邊界部分相對(duì)應(yīng)的位置。
本發(fā)明的取向膜的液滴噴出方法中，沿與前述掃描方向垂直的方向設(shè)有多個(gè)前述涂布區(qū)域，進(jìn)行前述液滴噴出頭的作為前述單一次的第特定次前述掃描時(shí)，進(jìn)行控制，使得在前述多個(gè)噴嘴中，從與前述第特定次的前述掃描中，進(jìn)行前述整個(gè)面涂布的第一前述涂布區(qū)域相對(duì)應(yīng)的前述噴嘴中向前述第一涂布區(qū)域噴出前述取向膜的液滴，不從與前述第特定次的前述掃描中，不進(jìn)行前述整個(gè)面涂布的第二前述涂布區(qū)域相對(duì)應(yīng)的前述噴嘴中向前述第二涂布區(qū)域噴出前述取向膜的液滴。
本發(fā)明的取向膜的液滴噴出方法中，通過(guò)前述第特定次之后的那次前述液滴噴出頭的前述單一次掃描，向前述第二涂布區(qū)域的前述整個(gè)面噴出前述取向膜的液滴。
本發(fā)明的取向膜的液滴噴出方法中，基于前述涂布區(qū)域中要涂布前述取向膜的區(qū)域的寬度，求出前述第一及第二涂布區(qū)域的邊界。
本發(fā)明的取向膜的液滴噴出方法中，進(jìn)而，基于相鄰的前述涂布區(qū)域中的要涂布前述取向膜的區(qū)域彼此之間的間隔，求出前述第一及第二涂布區(qū)域的邊界。
本發(fā)明的取向膜的液滴噴出方法中，當(dāng)前述涂布區(qū)域中的要涂布前述取向膜的區(qū)域的寬度為d1，相鄰的前述涂布區(qū)域中的要涂布前述取向膜的區(qū)域彼此之間的間隔為d2，與前述液滴噴出頭的前述掃描方向垂直的前述方向的一端部的前述噴嘴與另一端部的前述噴嘴之間的長(zhǎng)度為L(zhǎng)時(shí)，求出滿足下式的n的最大值n×d1+(n-1)×d2≤L基于前述n的最大值，求出前述第一及第二涂布區(qū)域的邊界。
本發(fā)明的取向膜的液滴噴出方法是具有沿與掃描方向垂直的方向，隔開(kāi)間隔地配置的多個(gè)噴嘴的液滴噴出頭沿前述掃描方向掃描，從前述多個(gè)噴嘴的各噴嘴中噴出取向膜的液滴的方法，該方法包含下述步驟(a)相對(duì)于要涂布前述取向膜的涂布區(qū)域，通過(guò)單一次前述掃描，以前述液滴噴出頭的大小不足以噴出前述取向膜的液滴，將多個(gè)這樣大小的前述液滴噴出頭連結(jié)起來(lái)，形成液滴噴出頭連結(jié)體的步驟，并且，前述液滴噴出頭連結(jié)體的總噴嘴長(zhǎng)度使在單一次的前述掃描中能夠向要涂布前述取向膜的涂布區(qū)域噴出前述取向膜的液滴；(b)通過(guò)前述液滴噴出頭連結(jié)體的前述單一次掃描，從前述液滴噴出頭連結(jié)體帶有的前述多個(gè)噴嘴的各噴嘴中，向前述涂布區(qū)域的前述整個(gè)面噴出前述取向膜的液滴的步驟。
本發(fā)明的取向膜的液滴噴出方法中，前述涂布區(qū)域?qū)?yīng)于單一面板的整個(gè)顯示區(qū)域，或者對(duì)應(yīng)于單一芯片中要形成取向膜的整個(gè)區(qū)域。
本發(fā)明的電光面板的制造方法，它包括以下步驟(c)從液滴噴出頭向基材噴出濾色片材料的液滴的步驟；和(d)從前述液滴噴出頭向前述濾色片上噴出取向膜的液滴的步驟，前述(d)是具有沿與掃描方向垂直的方向，隔開(kāi)間隔地配置的多個(gè)噴嘴的前述液滴噴出頭沿前述掃描方向掃描，通過(guò)前述液滴噴出頭的單一次前述掃描，從前述多個(gè)噴嘴的各噴嘴中，向要涂布前述取向膜的涂布區(qū)域噴出前述取向膜的液滴。
本發(fā)明的電子設(shè)備的制造方法，它包含在采用上述本發(fā)明所述的電光面板的制造方法制造出的電光面板上安裝上安裝部件，制造電子設(shè)備的步驟。
本發(fā)明的取向膜的液滴噴出裝置包含具有沿與掃描方向垂直的方向，隔開(kāi)間隔地配置的多個(gè)噴嘴的液滴噴出頭、和控制部，前述液滴噴出頭從與前述掃描方向垂直的副掃描方向中的特定位置開(kāi)始，沿前述掃描方向掃描，從前述多個(gè)噴嘴的各噴嘴中噴出取向膜的液滴，前述控制部進(jìn)行控制，當(dāng)通過(guò)前述液滴噴出頭在副掃描動(dòng)作前后的各次前述掃描中噴出前述取向膜時(shí)，在要涂布前述取向膜的涂布區(qū)域中的一定位置處，通過(guò)前述液滴噴出頭的單一次前述掃描，向前述涂布區(qū)域噴出前述取向膜的液滴，以便不產(chǎn)生前述取向膜與空氣的界面，其中上述一定位置是與前述液滴噴出頭在副掃描動(dòng)作前后的各次前述掃描中所噴出的前述取向膜的邊界部分相對(duì)應(yīng)的位置。
本發(fā)明的取向膜的液滴噴出裝置包含具有沿與掃描方向垂直的方向，隔開(kāi)間隔地配置的多個(gè)噴嘴的液滴噴出頭、和控制部，前述液滴噴出頭沿前述掃描方向掃描，通過(guò)前述液滴噴出頭的單一次前述掃描，從前述多個(gè)噴嘴的各噴嘴中，向沿與前述掃描方向垂直的方向設(shè)置的多個(gè)要涂布取向膜的涂布區(qū)域噴出前述取向膜的液滴，前述控制部進(jìn)行控制，當(dāng)進(jìn)行前述液滴噴出頭的作為前述單一次的第特定次的前述掃描時(shí)，使得在前述多個(gè)噴嘴中，從與前述第特定次的前述掃描中，進(jìn)行前述整個(gè)面涂布的第一前述涂布區(qū)域相對(duì)應(yīng)的前述噴嘴中向前述第一涂布區(qū)域噴出前述取向膜的液滴，不從與前述第特定次的前述掃描中，不進(jìn)行前述整個(gè)面涂布的第二前述涂布區(qū)域相對(duì)應(yīng)的前述噴嘴中向前述第二涂布區(qū)域噴出前述取向膜的液滴。
本發(fā)明的電光面板包含基板、和由液滴噴出頭向前述基板噴出的取向膜的液滴形成的薄膜，前述液滴是具有沿與掃描方向垂直的方向，隔開(kāi)間隔地配置的多個(gè)噴嘴的前述液滴噴出頭沿前述掃描方向掃描，通過(guò)前述液滴噴出頭的單一次前述掃描，從前述多個(gè)噴嘴的各噴嘴中向要涂布前述取向膜的涂布區(qū)域噴出的液滴。
本發(fā)明的電光裝置含有上述本發(fā)明的電光面板。
本發(fā)明的電子設(shè)備含有上述本發(fā)明的電光裝置。


圖1是表示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施形態(tài)的電光面板的構(gòu)造的部分截面圖。
圖2是表示本實(shí)施形態(tài)的電光面板的制造方法的一部分的說(shuō)明圖。
圖3是表示本實(shí)施形態(tài)的電光面板及電子設(shè)備的制造方法的一部分的說(shuō)明圖。
圖4是表示本實(shí)施形態(tài)的電光面板及電子設(shè)備的制造方法的流程圖。
圖5是表示本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出裝置的說(shuō)明圖。
圖6是表示本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出裝置的液滴噴出頭的立體圖。
圖7是表示本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出裝置的液滴噴出頭的截面圖。
圖8是表示本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出裝置的液滴噴出頭的說(shuō)明圖。
圖9是表示關(guān)于本實(shí)施形態(tài)的實(shí)驗(yàn)例的側(cè)面圖。
圖10是表示關(guān)于本實(shí)施形態(tài)的實(shí)驗(yàn)例的平面圖。
圖11是表示本實(shí)施形態(tài)中形成了薄膜的狀態(tài)的平面圖。
圖12是表示從本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出頭噴出的液滴的狀態(tài)的側(cè)面圖。
圖13是表示本實(shí)施形態(tài)中滴在基板上的液滴的平面圖。
圖14是表示關(guān)于本實(shí)施形態(tài)的實(shí)驗(yàn)例的另一個(gè)平面圖。
圖15是表示本實(shí)施形態(tài)的液滴配置的例子的平面圖。
圖16是表示本實(shí)施形態(tài)的液滴的其它配置的例子的平面圖。
圖17是表示本實(shí)施形態(tài)的液滴的再一配置的例子的平面圖。
圖18是表示本實(shí)施形態(tài)的液滴的再一配置的例子的平面圖。
圖19是表示本實(shí)施形態(tài)的液滴的再一配置的例子的平面圖。
圖20是表示本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出的例子的平面圖。
圖21是說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出的例子的說(shuō)明圖。
圖22是說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出例子的一個(gè)動(dòng)作的說(shuō)明圖。
圖23是說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出例子的其它動(dòng)作的說(shuō)明圖。
圖24是表示本實(shí)施形態(tài)的液滴的其它噴出例子的平面圖。
圖25是表示關(guān)于本實(shí)施形態(tài)的實(shí)驗(yàn)例的其它平面圖。
圖中1-基材，9-電子設(shè)備，10a-濾色片基板，11-濾色片，20-濾色片保護(hù)膜(CF保護(hù)膜)，52-液滴噴出頭，54-噴嘴，100-電光面板。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。不是通過(guò)本實(shí)施形態(tài)來(lái)限定本發(fā)明。本發(fā)明所述的電光面板可以是例如液晶顯示面板。
(實(shí)施形態(tài)1)下面，作為本發(fā)明的液狀體的液滴噴出方法的一種實(shí)施形態(tài)，說(shuō)明采用噴墨方式滴下取向膜的液滴的方法。第一實(shí)施形態(tài)是采用噴墨技術(shù)，滴下取向膜的液滴時(shí)，用于防止產(chǎn)生條狀的顯示不均勻現(xiàn)象的技術(shù)。
首先參照?qǐng)D1，說(shuō)明采用本實(shí)施形態(tài)的液晶滴下方法制造的液晶面板(電光面板100)。
如圖1所示，電光面板100將液晶12密封在濾色片基板10a和與其相對(duì)設(shè)置的相對(duì)基板10b之間，其中上述濾色片基板10a在基材1上，表面上形成有濾色片11。在濾色片基板10a與相對(duì)基板10b之間設(shè)有隔離物13，兩個(gè)基板的間隔t在整個(gè)平面上大致一定。
濾色片基板10a上形成有濾色片保護(hù)膜20(以下稱為CF保護(hù)膜)，保護(hù)形成在基材1上的濾色片11。而且，CF保護(hù)膜20上形成有ITO14及取向膜16。
CF保護(hù)膜20具有保護(hù)濾色片11免受形成ITO14時(shí)的高溫的損害的功能，及具有鋪平濾色片11之間的凹凸，抑制ITO14的斷線及取向膜16的摩擦等故障的功能。
圖2及圖3是表示本實(shí)施形態(tài)的電光面板及電子設(shè)備的制造方法的說(shuō)明圖。圖4是表示本實(shí)施形態(tài)的電光面板及電子設(shè)備的制造方法的流程圖。圖5是表示本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出裝置的說(shuō)明圖。
首先，如圖2(a)所示，采用光刻或噴墨、柱塞等液滴噴出技術(shù)，在基材1上形成濾色片11(步驟S101)。
接著，為了提高濾色片11與涂布在其上的液狀的保護(hù)膜材料之間的浸潤(rùn)性，如圖2(b)所示地對(duì)濾色片11進(jìn)行表面改質(zhì)處理(步驟S102)，以提高對(duì)保護(hù)膜材料的浸潤(rùn)性。這是因?yàn)槿绻?rùn)性差，保護(hù)膜材料容易凝聚，因而無(wú)法在濾色片11上均勻地涂布保護(hù)膜材料。而且，保護(hù)膜材料難以浸透到濾色片11之間，會(huì)在該部分產(chǎn)生氣泡，恐怕會(huì)導(dǎo)致電光面板的顯示圖像的品質(zhì)下降。本實(shí)施形態(tài)中，通過(guò)用UV燈3發(fā)射紫外線光，進(jìn)行表面改質(zhì)處理，當(dāng)然，此外也可以采用氧等離子處理。特別是采用氧等離子處理，由于還可除去濾色片11上的殘?jiān)?，可提高CF保護(hù)膜20的品質(zhì)。
濾色片11與涂布在其上的液狀的保護(hù)膜材料之間的浸潤(rùn)性可通過(guò)保護(hù)膜材料相對(duì)于濾色片11的接觸角β來(lái)規(guī)定(參照?qǐng)D2(c))。本實(shí)施形態(tài)的電光面板的制造方法中，最好前述接觸角β為10度或更小。在該范圍內(nèi)，保護(hù)膜材料可充分浸透到濾色片11之間，而且，由于保護(hù)膜材料可在濾色片11上形成均勻的厚度，因此可形成高品質(zhì)的CF保護(hù)膜20。
表面改質(zhì)處理結(jié)束后，如圖2(d)所示地采用液滴噴出技術(shù)，將液狀的保護(hù)膜材料涂布在濾色片11上(步驟S103)。
此處涂布保護(hù)膜材料是通過(guò)采用噴墨技術(shù)噴出液滴完成的。其保護(hù)膜材料的液滴涂布方法及液滴配置方法可采用與后述的取向膜的涂布及液滴配置同樣的方法?；蛘?，也可以采用按照噴墨方式的公知的保護(hù)膜材料的液滴涂布方法及液滴配置方法來(lái)代替與后述的取向膜的涂布及液滴配置同樣的方法。
將保護(hù)膜材料涂布在濾色片基板10a上之后，為了使保護(hù)膜材料中的溶劑揮發(fā)，要使保護(hù)膜材料干燥(步驟S104)。本實(shí)施形態(tài)中，如圖2(e)所示，將涂布有保護(hù)膜材料的液滴的基材1置于熱金屬板67上，使保護(hù)膜材料中的溶劑揮發(fā)。此時(shí)，為了使CF保護(hù)膜20的表面平滑，應(yīng)以較低的溫度，經(jīng)過(guò)一定時(shí)間地進(jìn)行干燥。具體地說(shuō)，應(yīng)在70℃以下，經(jīng)過(guò)5分鐘以上的時(shí)間。為了使CF保護(hù)膜20的表面狀態(tài)更加平滑，較好的要在50℃以下，經(jīng)過(guò)10分鐘以上的時(shí)間，最好是在30℃以下，經(jīng)過(guò)1個(gè)小時(shí)以上的時(shí)間。另外，干燥并不僅限于熱金屬板67，也可以通過(guò)紅外線加熱器的加熱進(jìn)行干燥，或在烘箱內(nèi)干燥。這樣使保護(hù)膜材料中的溶劑揮發(fā)，從而在濾色片基板10a上形成CF保護(hù)膜20。
此后，如圖3(f)所示地在CF保護(hù)膜20上形成ITO14及取向膜16(步驟S105)。
這里，用圖5說(shuō)明涂布取向膜。
本實(shí)施形態(tài)中使用噴墨技術(shù)噴出液滴。如圖5(a)所示，液滴噴出裝置50包括液滴噴出頭52和載物臺(tái)60。從腔室56經(jīng)供給管58向液滴噴出頭52供給取向膜的材料(聚酰亞胺樹脂3％，溶劑97％)。
如圖5(b)所示，在液滴噴出頭52的排列寬度H范圍內(nèi)，多個(gè)噴嘴54保持一定間距P地排列。而且，各個(gè)噴嘴54均帶有壓電元件(圖中未示出)，按照控制裝置65發(fā)出的指令，從任意的噴嘴54中噴出取向膜材料的液滴。而且，通過(guò)改變施加在壓電元件上的驅(qū)動(dòng)脈沖，可改變從噴嘴54中噴出的取向膜材料的噴出量。另外，控制裝置65可使用個(gè)人計(jì)算機(jī)或工作站。
下面參照?qǐng)D6、圖7說(shuō)明該液滴噴出頭52的構(gòu)成的一例。如圖6、圖7所示，液滴噴出頭52帶有例如由不銹鋼制成的噴嘴板131和振動(dòng)板132，通過(guò)分隔部件(容器板)133將兩者接合起來(lái)。分隔部件在噴嘴板133與振動(dòng)板132之間形成多個(gè)空間134和液體儲(chǔ)存部135。各空間134和液體儲(chǔ)存部135的內(nèi)部充滿液狀材料(圖中未示出)，各空間134與液體儲(chǔ)存部135通過(guò)供給口136連通。而且，噴嘴板131上形成有用于從各空間134噴射液狀材料111的微小孔的噴嘴54。另一方面，振動(dòng)板132上形成有用于向液體儲(chǔ)存部135供給涂布液111的孔137。
如圖6、圖7所示，壓電元件138接合在與振動(dòng)板132的空間相對(duì)的面的相反側(cè)的面上。如圖7所示，該壓電元件138位于一對(duì)電極139，139之間，一旦通電，該壓電元件138向外側(cè)突出地彎曲。接合有這樣構(gòu)成的壓電元件138的振動(dòng)板132與壓電元件138形成一體，同時(shí)向外側(cè)彎曲，由此，空間134的內(nèi)部容積增大了。因而，相當(dāng)于增大的容積那么多的液狀材料從液體儲(chǔ)存部135經(jīng)供給口136流入空間134內(nèi)。而且，從該狀態(tài)一旦停止向壓電元件138通電，則壓電元件138與振動(dòng)板113一起恢復(fù)成原來(lái)的形狀。由于空間134也恢復(fù)為原來(lái)的容積，空間內(nèi)部的涂布液111的壓力上升，從而從噴嘴54向基材1噴出液狀材料的噴霧狀液滴。
作為液滴噴出頭52的方式，采用使用上述壓電元件的壓電噴墨型以外的其它方式也可以，可以利用超聲波馬達(dá)，線性馬達(dá)等產(chǎn)生振動(dòng)，或者向腔室內(nèi)施加壓力，從上述微小孔噴射出涂布液，即取向膜的材料。此處，腔室內(nèi)的取向膜的材料最好預(yù)先經(jīng)過(guò)脫泡處理。另外，液滴噴出頭52也可以構(gòu)成所謂的氣泡(R)噴墨方式，即對(duì)腔室內(nèi)的取向膜的材料或取向膜的材料與低粘度揮發(fā)性液體的混合物進(jìn)行加熱，該物質(zhì)膨脹、發(fā)泡，從而從微小孔中噴射出取向膜的材料。
而且，液滴噴出頭52可以與該頭的中心垂直的旋轉(zhuǎn)軸A為旋轉(zhuǎn)中心地圍繞旋轉(zhuǎn)軸A旋轉(zhuǎn)。如圖5(c)所示，使液滴噴出頭52圍繞旋轉(zhuǎn)軸A旋轉(zhuǎn)，如果噴嘴54的排列方向與X方向構(gòu)成角度θ，則在表觀上，噴嘴54的間距可表示為P’＝P×Sinθ。由此，可根據(jù)取向膜的材料的涂布區(qū)域及涂布條件，改變噴嘴54的間距。將經(jīng)過(guò)方向性處理的帶有透明電極的基板1設(shè)置在載物臺(tái)60上。載物臺(tái)60可沿Y方向(副掃描方向)移動(dòng)，且可以與載物臺(tái)60的中心垂直的旋轉(zhuǎn)軸B為旋轉(zhuǎn)中心地圍繞旋轉(zhuǎn)軸B旋轉(zhuǎn)。
液滴噴出頭52沿圖中的X方向(主掃描方向)往復(fù)移動(dòng)，其間以噴嘴54的排列寬度H向取向膜16上噴出取向膜材料的液滴。通過(guò)一次掃描來(lái)涂布取向膜的材料，同時(shí)載物臺(tái)60向Y方向僅移動(dòng)噴嘴54的排列寬度H，液滴噴出頭52向下一個(gè)區(qū)域噴出取向膜的材料。液滴噴出頭52的動(dòng)作、噴嘴54的噴出及載物臺(tái)60的動(dòng)作都受控制裝置65的控制。如果將這些動(dòng)作模式預(yù)先制成程序，則可根據(jù)取向膜的材料的涂布區(qū)域及涂布條件，容易地改變涂布模式。反復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作，可在要涂布的整個(gè)區(qū)域上涂布取向膜的材料。
參照?qǐng)D8，說(shuō)明液滴噴出頭52的噴嘴54的間距與主掃描方向(描繪方向)的掃描間距。
圖8是表示從液滴噴出頭52噴出的取向膜材料的液滴的滴下?tīng)顟B(tài)的平面圖。在濾色片基板10a的ITO14上，取向膜材料的液滴在主掃描方向(X方向)以10μm的間隔，在副掃描方向(Y方向)以100μm的間隔滴下取向膜材料的液滴。此時(shí)，在副掃描方向上液滴的間隔y與噴嘴54的間距P相同，在主掃描方向上液滴的間隔x取決于液滴噴出頭52的掃描速度與噴出頻率。
下面說(shuō)明采用噴墨方式噴出的取向膜材料的液滴的配置，這是本實(shí)施形態(tài)的特征之一。
如圖25所示，使設(shè)有多個(gè)噴嘴54的頭52對(duì)于基材1如箭頭Ya所示地掃描，并從各噴嘴54中如箭頭Yb所示地噴出取向膜16的材料液滴。這樣，在基材1上形成取向膜16后，如果啟動(dòng)經(jīng)過(guò)所定工序完成的液晶面板，會(huì)發(fā)現(xiàn)對(duì)于基材1沿描繪方向形成的條紋(不均勻)154。
首先，參照?qǐng)D9及圖10說(shuō)明上述圖25所示的實(shí)驗(yàn)。圖9是表示圖25的實(shí)驗(yàn)中使用的液滴噴出頭52及基材1上的液滴71的一種狀態(tài)的側(cè)面圖，圖10是圖9的平面圖。
一旦從頭52的噴嘴54中噴出取向膜材料的液滴，滴在基材1上，其液滴以其滴下點(diǎn)為中心，瞬間圓形地浸潤(rùn)、擴(kuò)散，形成所定直徑da的液滴71。如圖9及圖10所示，一旦相鄰的液滴71相互接觸，從其接觸位置開(kāi)始，這些液滴71相互連接，形成一體，如圖11所示地形成單一的薄膜72。
因此，為了形成單一的薄膜72，必須要設(shè)定噴嘴54之間的間距p1，使相鄰的液滴71能相互接觸。本例中，由于對(duì)應(yīng)于從噴嘴54中噴出的每一滴取向膜材料的量，在基材1上充分浸潤(rùn)擴(kuò)散后的液滴71的直徑da為100μm，因此將噴嘴54之間的間距p1也設(shè)定為100μm。
實(shí)驗(yàn)的結(jié)果是，如果從設(shè)定為上述間距p1的噴嘴54中噴出取向膜材料的液滴，按照假定，液滴71相互連接，形成一體，得到圖11所示的單一薄膜72。在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中的該時(shí)刻一看，形成了覆蓋所需涂布范圍的薄膜72，特別感覺(jué)不到問(wèn)題。但是，對(duì)于形成有其薄膜72的基材1，完成后述所定工序(步驟S109～S111)，作成液晶面板，并啟動(dòng)其液晶面板，會(huì)出現(xiàn)如圖25所示的條紋或不均勻154。
接著參照?qǐng)D12，說(shuō)明從頭52的噴嘴54中噴出，直到擊打在基材1上為止的取向膜材料的狀態(tài)。
圖12(a)示出了從頭52的噴嘴54中噴出取向膜材料的液滴111的狀態(tài)。從噴嘴54中噴出時(shí)的取向膜材料的液滴111的直徑為30～40μm。
圖12(b)示出了從噴嘴54中噴出的取向膜材料的液滴111擊打在基材1上的瞬間(取向膜材料的液滴111最初接觸到基材1的時(shí)刻)的狀態(tài)。擊打在基材1上的瞬間的取向膜材料的液滴111的直徑為30～40μm，與圖12(a)示出的從噴嘴54中噴出時(shí)的取向膜材料的液滴111的直徑?jīng)]有變化。圖12(c)示出了取向膜材料的液滴111滴在基材1上之后，浸潤(rùn)擴(kuò)散的狀態(tài)。在基材1上浸潤(rùn)擴(kuò)散的液滴111的直徑為100μm左右。
如圖12(b)及(a)所示，擊打的瞬間，液滴111以從頭52中噴出時(shí)那么大的液滴直徑(30～40μm)撞擊在基材1上，此后如圖12(c)所示地瞬間浸潤(rùn)擴(kuò)散。圖12(a)所示的液滴111噴出時(shí)的液滴直徑為30～40μm，在圖12(b)所示的擊打的瞬間，那樣大小的液滴撞擊在基材1上，并浸潤(rùn)擴(kuò)散(圖12(c))。
圖13的符號(hào)a表示圖12(b)所示的擊打瞬間的液滴111的部分，其直徑為30～40μm。圖13的符號(hào)b表示圖12(c)所示的浸潤(rùn)擴(kuò)散后的液滴111的部分，其直徑為100μm左右。
如圖5(c)所示，本實(shí)施形態(tài)的液滴噴出頭52圍繞旋轉(zhuǎn)軸A旋轉(zhuǎn)，表觀上噴嘴的間距P’是可變地設(shè)定的。正是因?yàn)槿绾笏龅貙娮?4之間的間距變?yōu)槎鄠€(gè)不同值時(shí)，以確認(rèn)產(chǎn)生條紋或不均勻154的實(shí)驗(yàn)具有圖5(c)所示的構(gòu)成，才能實(shí)現(xiàn)。
即，本發(fā)明人進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，將噴嘴54之間的間距P’設(shè)定為多個(gè)不同值，驗(yàn)證此時(shí)的條紋或不均勻154的產(chǎn)生量。其結(jié)果得到如下發(fā)現(xiàn)。如圖14所示，采用噴墨方式描繪取向膜的材料時(shí)，如果使擊打后浸潤(rùn)擴(kuò)散的液滴的直徑(擊打直徑在上述例子中是100μm左右，參見(jiàn)圖13的符號(hào)b)與噴嘴間距或噴出間隔(主掃描方向的間距)保持一致，則擊打部分(在上述例子中為30～40μm的部分，參見(jiàn)圖13的符號(hào)a)中不產(chǎn)生不均勻，但浸潤(rùn)擴(kuò)散的部分(浸潤(rùn)擴(kuò)散，直到相鄰的液滴結(jié)合在一起為止的移動(dòng)部分，參見(jiàn)圖13的符號(hào)b)中產(chǎn)生不均勻。該發(fā)現(xiàn)與上述圖25的狀態(tài)相對(duì)應(yīng)。
如圖15所示，采用噴墨方式描繪取向膜的材料時(shí)，將副掃描方向(與主掃描方向相垂直的方向)的噴出間隔(頭中有多個(gè)噴嘴時(shí)，這些噴嘴的間距)及主掃描方向的噴出間隔均設(shè)為浸潤(rùn)擴(kuò)散之前的擊打之前(等于剛擊打之后)的液滴直徑(在上述例子中為30～40μm，參見(jiàn)圖15及圖13的符號(hào)a)以下的間隔，超過(guò)其間隔，則不在基材1上配置(擊打，滴下)取向膜材料的液滴111。即，副掃描方向及主掃描方向的各間距與擊打直徑(圖13及圖14的符號(hào)b)不一致，而與即將要擊打的液滴直徑(圖13及圖14的符號(hào)a)以下的值保持一致，則將取向膜材料的液滴111配置在基材1上。
圖14僅示出了有關(guān)噴嘴間距的問(wèn)題，并沒(méi)有示出有關(guān)主掃描方向的間距的問(wèn)題，但是可與有關(guān)噴嘴間距的問(wèn)題同樣地考慮。即，如圖14那樣，噴嘴間距過(guò)大時(shí)，在超過(guò)用符號(hào)91表示的即將要擊打的液滴直徑(圖14及圖13的符號(hào)a)的區(qū)域中，相對(duì)于出現(xiàn)沿主掃描方向延伸的條紋或不均勻(參照?qǐng)D25)，主掃描方向的間距過(guò)大時(shí)，出現(xiàn)沿副掃描方向延伸的條紋或不均勻(兩個(gè)間距都過(guò)大時(shí)，沿兩個(gè)方向都出現(xiàn)條紋或不均勻)。
圖15示出了噴嘴間距及主掃描方向的間距分別與即將要擊打的液滴直徑(圖15及圖13的符號(hào)a)以下的值保持一致時(shí)的狀態(tài)。圖15中，由于處于擊打而浸潤(rùn)擴(kuò)散之前的狀態(tài)的液滴相互連接，可抑制產(chǎn)生條紋或不均勻。
圖15示出了設(shè)定噴嘴間距及主掃描方向的間距，使其分別小于即將要擊打的液滴直徑(圖15及圖13的符號(hào)a)時(shí)的狀態(tài)，但是各間距不一定非要小于即將要擊打的液滴直徑。
圖15中，相鄰的上述液滴(圖15及圖13的符號(hào)a)相互重合，但是不一定要重合。如圖16所示，由于上述液滴(圖15及圖13的符號(hào)a)相互連接，形成單一的薄膜，因此只要相鄰的上述液滴(圖15及圖13的符號(hào)a)相互接觸就行。
如圖16所示，當(dāng)頭52中形成有多個(gè)噴嘴54時(shí)，將噴嘴54之間的間距Py設(shè)為上述“浸潤(rùn)擴(kuò)散之前的擊打之前(等于剛擊打之后)的液滴直徑(圖13的符號(hào)a)以下的間隔”。而且，將描繪方向(主掃描方向參照?qǐng)D10的箭頭Yc)中，噴出液滴的間隔(間距)Px也同樣地設(shè)為上述“浸潤(rùn)擴(kuò)散之前的擊打之前(等于剛擊打之后)的液滴直徑(圖13的符號(hào)a)以下的間隔”。
如果采用圖16及圖15所示的方法描繪，由于液滴浸潤(rùn)擴(kuò)散之前的液滴與相鄰的液滴浸潤(rùn)擴(kuò)散之前的液滴重合，因此滴下痕跡不會(huì)顯現(xiàn)出來(lái)。如上所述，描繪時(shí)進(jìn)行液滴111的配置(向基材1滴下)時(shí)，相鄰的液滴111彼此的間隔(主掃描方向及副掃描方向的各間隔)要在“浸潤(rùn)擴(kuò)散之前的液滴直徑以下”。
圖17示出了本實(shí)施形態(tài)的變形例。
本變形例與圖15及圖16不同，主掃描方向的第偶數(shù)列的浸潤(rùn)擴(kuò)散前的擊打之前(等于剛擊打之后，以后簡(jiǎn)稱為“擊打之前”)的液滴(圖13的符號(hào)a)與第奇數(shù)列的浸潤(rùn)擴(kuò)散前的擊打之前的液滴(圖13的符號(hào)a)相比，在向副掃描方向錯(cuò)開(kāi)浸潤(rùn)擴(kuò)散前的擊打之前的液滴(圖13的符號(hào)a)的直徑的大概一半的位置上滴下液滴。
圖18示出了使圖17中液滴的滴下中心位置相互接近的配置。圖15中，用符號(hào)92表示的4個(gè)被圓弧圍起來(lái)的區(qū)域不是上述液滴(圖13及圖15的符號(hào)a)，而是從那浸潤(rùn)擴(kuò)散后的部分。因此，理論上是微小的，但構(gòu)成不均勻。與此相對(duì)，圖18中，任意一個(gè)上述液滴(圖13及圖17的符號(hào)a)，其外周部遍布周向的所有區(qū)域地與其它上述液滴(圖13及圖17的符號(hào)a)重疊。因此不會(huì)產(chǎn)生不均勻。
實(shí)現(xiàn)它的方法有2個(gè)。其中第一個(gè)方法是描繪第多數(shù)列的上述液滴(圖13的符號(hào)a)時(shí)，如圖17的箭頭Ye所示，與描繪第奇數(shù)列的上述液滴(圖13的符號(hào)a)時(shí)相比，頭52相對(duì)于基材1，僅向副掃描方向相對(duì)錯(cuò)開(kāi)液滴(圖13的符號(hào)a)直徑的一半地進(jìn)行描繪。
第二個(gè)方法如圖19所示，將一對(duì)(多個(gè))頭52固定在相互向副掃描方向僅錯(cuò)開(kāi)上述液滴(圖13的符號(hào)a)的直徑的一半的位置上，并使由此構(gòu)成的噴出頭群52a相對(duì)基材1掃描(主掃描)。描繪第奇數(shù)列的上述液滴(圖13的符號(hào)a)時(shí)，從其噴出頭群52a中的第一頭52的噴嘴54中噴出上述液滴，描繪第偶數(shù)列的上述液滴(圖13的符號(hào)a)時(shí)，從其噴出頭群52a中的第二頭52的噴嘴54中噴出上述液滴。
如上所述，在本實(shí)施形態(tài)中，噴出液滴111，使其滴在下述位置上擊打(滴下)在基材1上之后，處于浸潤(rùn)擴(kuò)散前的狀態(tài)的液滴111和與該液滴111相鄰的其它液滴111的處于相同狀態(tài)(擊打之后的浸潤(rùn)擴(kuò)散前的狀態(tài))的液滴相互接觸。
下面說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)的特征之一，即采用噴墨方式涂布取向膜的材料液滴時(shí)的涂布方法。另外，以下的取向膜的涂布方法也可以適用于除噴墨方式以外的其它液滴涂布方法。
此處，要避免發(fā)生取向膜的滴下不均勻。該滴下不均勻是指在進(jìn)行副掃描前后的主掃描過(guò)程中，在各描繪的膜的邊界部分產(chǎn)生的換行條紋。
了解上述問(wèn)題的原因后可知，第一次主掃描所描繪的部分中，在基板上產(chǎn)生取向膜的材料(液狀體)與空氣的界面，該部分構(gòu)成取向膜的材料(液狀體)的滴下不均勻。
對(duì)于一個(gè)單位的整個(gè)涂布范圍(涂布區(qū)域，例如單一的芯片)的描繪，僅通過(guò)一次的主掃描即可完成。
如上所述，在要涂布取向膜材料(液狀體)的范圍中，超過(guò)噴墨頭的噴嘴所形成的范圍，用第一次主掃描不能描繪的區(qū)域通過(guò)第二次主掃描來(lái)描繪，這樣會(huì)產(chǎn)生取向膜的材料(液狀體)的滴下(涂布)不均勻。下面參照

。
圖20示出了在單晶片101上形成多個(gè)芯片102時(shí)的情況。多個(gè)芯片102均構(gòu)成例如移動(dòng)電話機(jī)用的液晶面板。采用形成在液滴噴出頭52上的多個(gè)噴嘴54，對(duì)多個(gè)芯片102同時(shí)噴出取向膜的材料液滴。
此時(shí)，為了提高大量生產(chǎn)性，在一次主掃描(X方向)中，最好使用從帶有液滴噴出頭52的液滴噴出頭52的延伸方向的一端側(cè)到另一端側(cè)的所有噴嘴54，向單晶片101上的盡可能大的范圍的芯片102上涂布取向膜的材料液滴。
圖20中，從單晶片101的左端開(kāi)始，芯片102以符號(hào)102a、102b、102c…102z的行列排列。此時(shí)，如圖所示，如果液滴噴出頭52的一端部側(cè)的噴嘴54處于芯片102a的液滴配置位置上，則液滴噴出頭52的另一端部側(cè)的噴嘴54位于芯片102c的中途位置上。
為了提高大量生產(chǎn)性，液滴噴出頭52在圖20所示的配置狀態(tài)下，最好將所有的噴嘴54作為使用對(duì)象。即，最好通過(guò)第一次主掃描，對(duì)芯片102a及102b的全部區(qū)域、及直到芯片102c的中途為止的區(qū)域涂布液滴，通過(guò)第二次主掃描，對(duì)芯片102c剩下的一半和芯片102d以后涂布液滴，由此，將從液滴噴出頭52的長(zhǎng)度方向的一端部直到另一端部的所有噴嘴54作為使用對(duì)象，可減少涂布單晶片101上的全部多個(gè)芯片102所需的主掃描的次數(shù)。該方法適用于大量生產(chǎn)，通常一般都采用該方法。
但是，上述方法如圖21所示，對(duì)一個(gè)芯片102c要通過(guò)2次(多次)主掃描來(lái)涂布取向膜的材料液滴。
因此，芯片102c中，在應(yīng)涂布取向膜材料的區(qū)域(涂布區(qū)域)內(nèi)，產(chǎn)生了通過(guò)第一次主掃描而涂布的取向膜材料的涂布區(qū)域的端部與空氣的界面105。此后，進(jìn)行第二次主掃描，其界面105的部分上也涂布上取向膜的材料液滴，但是其界面105的部分構(gòu)成滴下(涂布)不均勻。
此處，所謂上述涂布區(qū)域是指應(yīng)涂布取向膜的材料(液狀體)的區(qū)域，是要避免產(chǎn)生涂布不均勻的面積最大的單位區(qū)域(本例中是各芯片102a～102z)。換言之，所謂涂布區(qū)域是指其整個(gè)面都應(yīng)一樣涂布的面積最大的單位區(qū)域(本例中是芯片，但包含當(dāng)由一個(gè)單晶片構(gòu)成單一的基板時(shí)的基板)。涂布區(qū)域一般來(lái)說(shuō)，是指單一的面板內(nèi)的顯示區(qū)域。
本實(shí)施形態(tài)如圖21及圖22所示，在多個(gè)涂布區(qū)域(本例中是各個(gè)芯片102a～102z)中，存在不能通過(guò)一次主掃描涂布其整個(gè)區(qū)域的涂布區(qū)域(本例中是芯片102c)時(shí)，對(duì)于該涂布區(qū)域(本例中是芯片102c)，不通過(guò)該次主掃描涂布取向膜的材料液滴。這是為了防止滴下不均勻。
即，如圖22所示，在液滴噴出頭52僅覆蓋住到芯片102c的中途位置為止的狀態(tài)下，液滴噴出頭52進(jìn)行主掃描時(shí)，不能用其一次主掃描來(lái)涂布芯片102c的所有區(qū)域。在這樣的狀況下，進(jìn)行該主掃描時(shí)要進(jìn)行控制，以便不從位于芯片102c之上的用符號(hào)54b表示的噴嘴中噴出取向膜的材料液滴。不從其噴嘴54b中噴出取向膜的材料液滴，就不會(huì)在芯片102c上形成取向膜的材料與空氣的界面，避免產(chǎn)生涂布不均勻。
通常，從一般的大量生產(chǎn)的觀點(diǎn)出發(fā)，從位于芯片上的噴嘴中噴出取向膜的材料液滴，可減少主掃描的次數(shù)，但在本實(shí)施形態(tài)中，雖然犧牲了一些大量生產(chǎn)性，但是可優(yōu)先考慮品質(zhì)(防止產(chǎn)生取向膜材料的涂布不均勻)。
如上所述，通過(guò)該第一次主掃描向芯片102a及102b涂布了取向膜的材料液滴。另外，用符號(hào)54a表示的噴嘴原本是在該圖示的位置的主掃描過(guò)程中不噴出取向膜的材料液滴的噴嘴(與原來(lái)同樣的處理)。這是因?yàn)?，用符?hào)54a表示的噴嘴的位置不是應(yīng)噴出取向膜的材料液滴的區(qū)域(沒(méi)有芯片)。
接著，液滴噴出頭52從圖22所示的位置開(kāi)始向箭頭Y的方向進(jìn)行副掃描，其結(jié)果如圖23所示，一旦液滴噴出頭52到達(dá)可通過(guò)第二次主掃描涂布在前一次(第一次主掃描)沒(méi)涂布的芯片102c的全部區(qū)域的位置上，則在其第二次主掃描過(guò)程中，向芯片102c涂布取向膜的材料液滴。
在該第二次主掃描中，與第一次主掃描時(shí)同樣地進(jìn)行下述動(dòng)作當(dāng)在多個(gè)涂布區(qū)域(本例中是各個(gè)芯片102a～102z)中，存在通過(guò)一次主掃描不能涂布其全部區(qū)域的涂布區(qū)域(本例中是芯片102e)時(shí)，該主掃描過(guò)程中不向該涂布區(qū)域(本例中是芯片102e)涂布取向膜的材料液滴。以后，同樣地進(jìn)行第三次及第三次以后的主掃描。
在上述例子中，各次主掃描時(shí)，向2列芯片102噴出取向膜的材料液滴(第一次是芯片102a和102b，第二次是102c和102d)，同時(shí)不從對(duì)應(yīng)于第3列芯片102位置的噴嘴54中噴出取向膜的材料液滴(第一次是芯片102c，第二次是102e)。
取向膜的材料液滴的涂布對(duì)象不同于圖20的單晶片101時(shí)，即，單晶片上芯片的大小和配置不同于圖20的單晶片時(shí)，各次主掃描時(shí)，向哪列芯片噴出取向膜的材料液滴、不從對(duì)應(yīng)于第幾列芯片位置的噴嘴54中噴出取向膜的材料液滴會(huì)有所變化。此處，可根據(jù)例如下式求出各次主掃描時(shí)，應(yīng)噴出取向膜的材料液滴的芯片的列數(shù)。
n×d1+(n-1)×d2≤L求出滿足上式的n的最大值。
但是，如圖20所示，d1是指沿芯片102的寬度(沿液滴噴出頭52的延伸方向的芯片102的邊長(zhǎng)，更準(zhǔn)確地說(shuō)，是芯片102中應(yīng)形成液晶膜的區(qū)域的寬度)，d2是指芯片102之間的間隔(更準(zhǔn)確地說(shuō)，是相鄰芯片102中的應(yīng)形成液晶膜的區(qū)域之間的間隔)，L是指液滴噴出頭52延伸方向的長(zhǎng)度(更準(zhǔn)確地說(shuō)，是液滴噴出頭52的延伸方向的一端部的噴嘴54與另一端部的噴嘴54之間的長(zhǎng)度)。
在第一次主掃描中，直到其第n列的芯片為止地涂布取向膜的材料液滴，并且不從對(duì)應(yīng)于第(n+1)列芯片位置的噴嘴54中噴出取向膜的材料液滴。
在第二次主掃描中，以其第(n+1)列作為起算點(diǎn)，直到第n列(n+1-1+n)芯片為止地涂布取向膜的材料液滴，并且不從對(duì)應(yīng)于第(n+1-1+n+1)列的芯片位置的噴嘴54中噴出取向膜的材料液滴。
圖20的例子中，2×d1+(2-1)×d2≤L
3×d1+(3-1)×d2＞L為了使上式成立，n的最大值為2。
在第一次主掃描中，直到其第2列的芯片(102a和102b)為止地涂布取向膜的材料液滴，并且不從對(duì)應(yīng)于第(2+1＝3)列的芯片(102c)的位置的噴嘴54中噴出取向膜的材料液滴。
在第二次主掃描中，以其第(2+1＝3)列作為起算點(diǎn)，直到第2列(2+1-1+2)的芯片(102c和102d)為止地涂布取向膜的材料液滴，并且不從對(duì)應(yīng)于第(2+1-1+2+1＝5)列的芯片(102e)的位置的噴嘴54中噴出取向膜的材料液滴。
如上所述，向多列芯片102上涂布取向膜的材料液滴時(shí)的各次主掃描完成滿足n×d1+(n-1)×d2≤L的n的最大值那么多列。因此，沒(méi)有一個(gè)芯片102是通過(guò)多次主掃描涂布上取向膜的材料的。另外，操作者將上述n的值預(yù)先輸入程序中，根據(jù)其輸入的n的值，液滴噴出頭52可涂布取向膜的材料液滴。
即，進(jìn)行單一次主掃描時(shí)，各芯片(涂布區(qū)域)102的單個(gè)芯片102內(nèi)都不會(huì)同時(shí)存在涂布了取向膜材料的區(qū)域和未涂布取向膜材料的區(qū)域。無(wú)論哪個(gè)芯片102，單個(gè)的芯片102都必定是通過(guò)單一次主掃描在其單一芯片102內(nèi)的全部涂布區(qū)域上涂布取向膜的材料的。由此，通過(guò)單一次主掃描在單一涂布區(qū)域的整個(gè)區(qū)域上涂布取向膜的材料，由于其單一涂布區(qū)域上不會(huì)產(chǎn)生取向膜的材料(液狀體)與氣相的界面，因此，掃描的接縫在顯示區(qū)域中不會(huì)表現(xiàn)為不均勻。
另外，圖20的液滴噴出頭52在噴嘴54之間形成一定間距，并設(shè)定主掃描方向的噴出間隔，以便在各芯片102上，取向膜的材料液滴浸潤(rùn)擴(kuò)散前的液滴與相鄰的液滴在浸潤(rùn)擴(kuò)散之前的液滴如圖15所示地重疊。
代替上述作法，圖20的液滴噴出頭52可以在噴嘴54之間形成一定間距，并設(shè)定主掃描方向的噴出間隔，以便在各芯片102上，取向膜的材料液滴浸潤(rùn)擴(kuò)散前的液滴與相鄰的液滴在浸潤(rùn)擴(kuò)散之前的液滴如圖18所示地重疊。此時(shí)，如圖18所示，任意的取向膜材料的上述液滴(圖13及圖17的符號(hào)a)，其外周部遍布周向的全部區(qū)域地與其它取向膜材料的上述液滴(圖13及圖17的符號(hào)a)重疊。
圖24示出了本實(shí)施形態(tài)的變形例。
圖20中，液滴噴出頭52的長(zhǎng)度L大于單一涂布區(qū)域的寬度d1，通過(guò)一次主掃描至少可以涂布1個(gè)涂布區(qū)域的全部區(qū)域。與此相對(duì)，圖24中，在單一的單晶片201上形成單一的基板202。圖24的情況下，涂布區(qū)域(基板202)大于圖20的情況的涂布區(qū)域(芯片102)。為了通過(guò)單一次主掃描來(lái)涂布涂布區(qū)域的全部區(qū)域，必須要在與基板202的寬度d1’相同的范圍內(nèi)形成噴嘴54。
當(dāng)單一的液滴噴出頭52的長(zhǎng)度小于基板202的寬度d1’時(shí)，將多個(gè)液滴噴出頭52A、52B連結(jié)起來(lái)，以便使噴嘴54位于與寬度d1’相同的范圍內(nèi)。而且，如圖20所示，即使當(dāng)單一的液滴噴出頭52的長(zhǎng)度大于涂布區(qū)域(芯片102)的芯片寬度d1時(shí)，為了通過(guò)單一次主掃描來(lái)涂布大范圍的涂布區(qū)域，也可以將多個(gè)液滴噴出頭52連結(jié)起來(lái)。
此時(shí)，可設(shè)置連結(jié)起來(lái)的多個(gè)液滴噴出頭52A、52B的噴嘴54的間距①、③，使其相同并符合規(guī)定的間距(參照?qǐng)D15及圖18)。
進(jìn)而，將多個(gè)液滴噴出頭52A、52B的連結(jié)部的噴嘴間距②設(shè)為與規(guī)定的噴嘴間距①相同的長(zhǎng)度。例如①＝②＝③＝30～40μm。
如上所述，采用本實(shí)施形態(tài)，可實(shí)現(xiàn)下述效果。
當(dāng)噴墨頭進(jìn)行多次掃描，向顯示區(qū)域滴下取向膜的材料時(shí)，在其顯示區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生掃描次數(shù)個(gè)取向膜的材料與空氣的界面，該部分構(gòu)成描繪不均勻，但是，本實(shí)施形態(tài)通過(guò)一次描繪(掃描)，在面板的全部顯示范圍內(nèi)滴下取向膜的材料，因而在顯示區(qū)域內(nèi)沒(méi)有取向膜的材料與空氣的界面，可避免產(chǎn)生取向膜材料的滴下不均勻。
而且，當(dāng)描繪范圍是較大范圍時(shí)，通過(guò)將多個(gè)頭連結(jié)起來(lái)，將其視為一個(gè)頭，從而沒(méi)有描繪的換行操作，也不會(huì)在換行的部分中形成滴下不均勻。
此后，進(jìn)行取向膜16的摩擦(步驟S106)。
接著，如圖3(g)所示，通過(guò)絲網(wǎng)印刷等在取向膜16之上形成密封材料32。此處，密封材料32采用紫外線硬化型樹脂(步驟S107)。
形成密封材料之后，如圖3(h)所示，通過(guò)噴出液滴在取向膜16上涂布液晶33(步驟S108)。此處，作為液滴被噴出的液晶33中混入了構(gòu)成隔離物13的隔離材料。
此處的液晶33的涂布是利用噴墨頭噴出液滴完成的。其液晶的液滴涂布方法及液滴配置方法可采用與前述取向膜的涂布相同的方法。或者，也可以不用與前述取向膜的涂布及配置相同的方法，而是通過(guò)噴墨方式，采用公知的液晶的液滴涂布方法及配置方法。
涂布完液晶液滴之后，一旦形成如圖11及圖3(i)所示的單一薄膜，則進(jìn)入下一個(gè)工序。即，經(jīng)過(guò)使涂布有液晶的濾色片基板10a與相對(duì)基板10b粘合的工序(步驟S109)，電光面板100就完成了。
接著，如圖3(j)所示，在完成的電光面板100上安裝配線及FC(撓性電線)基板7、或驅(qū)動(dòng)IC5(步驟S110)。然后如圖3(k)所示，安裝在移動(dòng)電話或PDA等電子設(shè)備9上，上述電子設(shè)備就完成了(步驟S111)。
本實(shí)施形態(tài)以取向膜的液滴作為對(duì)象，說(shuō)明了噴墨方式的滴下位置。但是，當(dāng)以液晶的液滴作為對(duì)象時(shí)，上述滴下位置更重要。這是因?yàn)樵谌∠蚰ど系蜗乱壕r(shí)表現(xiàn)出的條紋或不均勻是特別嚴(yán)重的問(wèn)題。特別是當(dāng)液晶成為構(gòu)成問(wèn)題的理由時(shí)，應(yīng)當(dāng)考慮液晶與和其接觸的取向膜(例如聚酰亞胺為3％，溶劑為97％)的材料的相容性、及液晶液滴中不包含溶劑，而以原液滴下。
但是，涉及通過(guò)噴墨的滴下位置的本發(fā)明并不限于液晶的液滴。即，通過(guò)噴墨涂布法噴出的液滴可廣泛應(yīng)用。通過(guò)噴墨涂布法涂布的液滴中可以有各種成分。其中之一包含制造電光面板(液晶顯示裝置及有機(jī)EL面板)時(shí)所必需的，用于構(gòu)成感光樹脂膜(1μm數(shù)量級(jí))、外覆膜(小于等于10μm)、取向膜那樣遍布基板整個(gè)面地一致涂布的所謂致密膜的液滴、及用于構(gòu)成在濾色片和有機(jī)EL材料(發(fā)光材料墨水烘烤后為數(shù)十nm)那樣的在各像素內(nèi)形成層的膜的液滴。而且，噴墨涂布法除了制造電光面板以外，構(gòu)成必要的感光性樹脂膜等液狀膜的液滴等，可在工業(yè)使用中廣泛適用。本發(fā)明可廣泛適用于上述液滴。
(本發(fā)明的適用對(duì)象)作為可適用本發(fā)明所述的電光面板的電子設(shè)備，除了移動(dòng)電話機(jī)以外，還有例如被稱為PDA(個(gè)人數(shù)字助理)的便攜式信息裝置及便攜式個(gè)人計(jì)算機(jī)、個(gè)人計(jì)算機(jī)、數(shù)字照相機(jī)、車載監(jiān)視器、數(shù)字?jǐn)z像機(jī)、液晶電視、取景器型、監(jiān)視器直視型的磁帶錄像機(jī)、汽車駕駛導(dǎo)向裝置、尋呼機(jī)、電子記事簿、臺(tái)式電子計(jì)算機(jī)、文字處理器、工作站、可視電話、POS終端機(jī)等采用電光裝置，即電光面板的設(shè)備。
不用說(shuō)，這些電子設(shè)備中的電子連接構(gòu)造也可適用本發(fā)明。
而且，該電光面板是透射型或反射型的電光面板，可采用圖中未示出的照明裝置作為背燈。另外，有源矩陣型的彩色電光面板也是同樣的。例如，以上說(shuō)明的各實(shí)施形態(tài)中都舉例說(shuō)明了無(wú)源矩陣型的電光面板，但是，本發(fā)明的電光裝置也同樣可適用于有源矩陣型的電光面板(例如，具有TFT(薄膜晶體管)和TFD(薄膜二極管)作為開(kāi)關(guān)元件的電光面板)。而且，不僅透射型和反射型的電光面板，場(chǎng)致發(fā)光裝置、無(wú)機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置、等離子顯示裝置、電泳顯示裝置、場(chǎng)致發(fā)射顯示裝置、LED(發(fā)光二極管)顯示裝置等可控制多個(gè)像素中每個(gè)像素的顯示狀態(tài)的各種電光裝置中都同樣可適用本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種取向膜的液滴噴出方法，是具有沿與掃描方向垂直的方向，隔開(kāi)間隔地配置的多個(gè)噴嘴的液滴噴出頭，從與前述掃描方向垂直的副掃描方向中的特定位置，沿前述掃描方向掃描，從前述多個(gè)噴嘴的各噴嘴中噴出取向膜的液滴的方法，其特征在于，在要涂布前述取向膜的涂布區(qū)域中的一定位置處噴出前述取向膜的液滴，以便不產(chǎn)生前述取向膜與空氣的界面，其中上述一定位置是與前述液滴噴出頭在副掃描動(dòng)作前后的各次前述掃描所噴出的前述取向膜的邊界部分相對(duì)應(yīng)的位置。
2.如權(quán)利要求1所述的取向膜的液滴噴出方法，其特征在于，沿與前述掃描方向垂直的方向設(shè)有多個(gè)前述涂布區(qū)域，進(jìn)行前述液滴噴出頭的作為前述單一次的第特定次的前述掃描時(shí)，進(jìn)行控制，使得在前述多個(gè)噴嘴中，從與前述第特定次的前述掃描中，進(jìn)行前述整個(gè)面涂布的第一前述涂布區(qū)域相對(duì)應(yīng)的前述噴嘴向前述第一涂布區(qū)域噴出前述取向膜的液滴，不從與前述第特定次的前述掃描中，不進(jìn)行前述整個(gè)面涂布的第二前述涂布區(qū)域相對(duì)應(yīng)的前述噴嘴向前述第二涂布區(qū)域噴出前述取向膜的液滴。
3.如權(quán)利要求2所述的取向膜的液滴噴出方法，其特征在于，通過(guò)前述第特定次之后的那次前述液滴噴出頭的前述單一次掃描，向前述第二涂布區(qū)域的前述整個(gè)面噴出前述取向膜的液滴。
4.如權(quán)利要求3所述的取向膜的液滴噴出方法，其特征在于，基于前述涂布區(qū)域中要涂布前述取向膜的區(qū)域的寬度，求出前述第一及第二涂布區(qū)域的邊界。
5.如權(quán)利要求4所述的取向膜的液滴噴出方法，其特征在于，進(jìn)而，基于相鄰的前述涂布區(qū)域中的要涂布前述取向膜的區(qū)域彼此之間的間隔，求出前述第一及第二涂布區(qū)域的邊界。
6.如權(quán)利要求2～5中任意一項(xiàng)所述的取向膜的液滴噴出方法，其特征在于，當(dāng)前述涂布區(qū)域中的要涂布前述取向膜的區(qū)域的寬度為d1，相鄰的前述涂布區(qū)域中的要涂布前述取向膜的區(qū)域彼此的間隔為d2，與前述液滴噴出頭的前述掃描方向垂直的前述方向的一端的前述噴嘴與另一端的前述噴嘴之間的長(zhǎng)度為L(zhǎng)時(shí)，求出滿足下式的n的最大值n×d1+(n-1)×d2≤L并基于前述n的最大值，求出前述第一及第二涂布區(qū)域的邊界。
7.如權(quán)利要求1～5中任意一項(xiàng)所述的取向膜的液滴噴出方法，其特征在于，前述涂布區(qū)域?qū)?yīng)于單一面板的整個(gè)顯示區(qū)域，或者對(duì)應(yīng)于單一芯片中要形成取向膜的整個(gè)區(qū)域。
8.如權(quán)利要求6所述的取向膜的液滴噴出方法，其特征在于，前述涂布區(qū)域?qū)?yīng)于單一面板的整個(gè)顯示區(qū)域，或者對(duì)應(yīng)于單一芯片中要形成取向膜的整個(gè)區(qū)域。
9.一種取向膜的液滴噴出裝置，該裝置包含具有沿與掃描方向垂直的方向，隔開(kāi)間隔地配置的多個(gè)噴嘴的液滴噴出頭、和控制部，其特征在于，前述液滴噴出頭從與前述掃描方向垂直的副掃描方向中的特定位置開(kāi)始，沿前述掃描方向掃描，從前述多個(gè)噴嘴的各噴嘴中噴出取向膜的液滴，前述控制部進(jìn)行控制，當(dāng)通過(guò)前述液滴噴出頭在副掃描動(dòng)作前后的各次前述掃描噴出前述取向膜時(shí)，在要涂布前述取向膜的涂布區(qū)域中的一定位置處，通過(guò)前述液滴噴出頭的單一次前述掃描，向前述涂布區(qū)域噴出前述取向膜的液滴，以便不產(chǎn)生前述取向膜與空氣的界面，其中上述一定位置是與前述液滴噴出頭在副掃描動(dòng)作前后的各次前述掃描所噴出的前述取向膜的邊界部分相對(duì)應(yīng)的位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種取向膜的液滴噴出方法及取向膜的液滴噴出裝置，該取向膜的液滴噴出方法，是具有沿與掃描方向垂直的方向，隔開(kāi)間隔地配置的多個(gè)噴嘴的液滴噴出頭，從與前述掃描方向垂直的副掃描方向中的特定位置，沿前述掃描方向掃描，從前述多個(gè)噴嘴的各噴嘴中噴出取向膜的液滴的方法，其中，在要涂布前述取向膜的涂布區(qū)域中的一定位置處噴出前述取向膜的液滴，以便不產(chǎn)生前述取向膜與空氣的界面，其中上述一定位置是與前述液滴噴出頭在副掃描動(dòng)作前后的各次前述掃描所噴出的前述取向膜的邊界部分相對(duì)應(yīng)的位置。
文檔編號(hào)B05D1/26GK1971382SQ20061016939
公開(kāi)日2007年5月30日 申請(qǐng)日期2004年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月20日
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