專利名稱：用于硅片制備中的暫時性粘合用粘合劑組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及硅片制備中使用的暫時性粘結(jié)的粘合劑組合物、其制備方法及其用途。
背景技術(shù)：
在硅片制備工業(yè)中，需要對硅錠進(jìn)行切片。通常使用粘合劑通過將硅錠粘結(jié)固定在支撐物上進(jìn)行硅錠切片。在硅錠切片步驟結(jié)束后，需要使硅片與支撐物和粘合劑分離而得到成品硅片。因此，對于用于硅片制備的粘合劑組合物，一方面需要其在硅錠和/或切割后的硅片與支撐物之間的粘結(jié)性應(yīng)足夠強(qiáng)，不造成粘結(jié)失?。涣硪环矫嬉笤谕瓿晒桢V的切片過程后可將粘合劑從硅片上除去，也就是說，這樣的粘合劑組合物是暫時性粘結(jié)的。US4897141A公開了一種從半導(dǎo)體錠制備切片的方法，其通過使用環(huán)氧粘合劑將所述半導(dǎo)體錠粘結(jié)在切割梁上，并將錠切割成片，其包括以下步驟:a)將空心微球與環(huán)氧粘合劑的樹脂部分混合，所述空心微球由硅酸鹽玻璃熔體等制得山)將環(huán)氧粘合劑的固化劑與步驟a)的混合物混合；c)將經(jīng)混合的粘合劑體系涂布在切割梁和/或半導(dǎo)體上；d)將切割梁與硅錠相接觸；e)使粘合劑固化；f)切片；g)通過使半導(dǎo)體切片和切割裝置之間的粘結(jié)斷裂而獲得切片。JP9157628公開了一種暫時性粘結(jié)的粘合劑,其包含一種或多種松香樹脂或改性松香樹脂，其制備方法為將所述松香樹脂或改性松香樹脂與二元酸或苯乙烯-丙烯酸共聚物混合，并將所得混合物溶解在PH 7.5-14的堿性水溶液中。使用時將該粘合劑均勻涂覆在切片上，通過烘烤將粘合劑中的水和其它揮發(fā)性組分揮發(fā)，然后在高于所述樹脂軟化點(diǎn)的溫度下加熱所得切片，使所得切片暫時粘結(jié)并冷卻，在切片加工后用刀具等剝離粘合劑。JP7224270公開了一種暫時固定硅片的粘合劑，其由聚甘油脂肪酸酯、聚甘油與環(huán)氧乙烷的加成物和聚甘油與環(huán)氧丙烷的加成物作為該粘合劑的活性成分。此外，該粘合劑難溶于冷水而易溶于熱水，因此在涂覆后可通過使用熱水去除該粘合劑。雖然現(xiàn)有技術(shù)中已存在上述用于硅錠切片的暫時性粘合劑，但在硅片制備工業(yè)中，從得到更高的硅片良品率的角度考慮，對于結(jié)合了更好的粘結(jié)效果、易于脫膠的暫時性粘結(jié)用粘合劑仍存在需求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明一方面涉及一種粘合劑組合物，其包括組分A和組分B，其特征在于組分A包含環(huán)氧樹脂；組分B包含硫醇、胺和水溶性聚合物。在本發(fā)明的一個實(shí)施方案中，所述水溶性聚合物以分子水平分散于組分B中。在本發(fā)明的另一個實(shí)施方案中，所述環(huán)氧樹脂選自雙酚A型的環(huán)氧樹脂、雙酚F型的環(huán)氧樹脂以及它們的組合。在本發(fā)明的又一個實(shí)施方案中，基于所述粘合劑組合物的總重量，所述環(huán)氧樹脂的含量為25重量％ 40重量％,更優(yōu)選為30重量％ 35重量％。
在本發(fā)明的又一個實(shí)施方案中，所述硫醇是多官能聚硫醇。在本發(fā)明的又一個實(shí)施方案中，基于所述粘合劑組合物的總重量，所述硫醇的含量為20重量％ 30重量％，更優(yōu)選為21.5重量％ 27.5重量％。在本發(fā)明的又一個實(shí)施方案中，所述胺選自N-氨基乙基哌嗪、N，N- 二甲基芐基胺、2，4，6_三(二甲氨基甲基)苯酚以及它們的組合。在本發(fā)明的又一個實(shí)施方案中，基于所述粘合劑組合物的總重量，所述胺的含量為1.5重量％ 4重量％,更優(yōu)選為2.5重量％ -3重量％。在本發(fā)明的又一個實(shí)施方案中，所述水溶性聚合物選自聚乙烯基吡咯烷酮(PVP)、聚乙酸乙烯酯(PVA)以及它們的組合。在本發(fā)明的又一個實(shí)施方案中，所述粘合劑組合物的總重量，所述水溶性聚合物
的含量為I重量％ 3重量優(yōu)選為2重量％。

在本發(fā)明的又一個實(shí)施方案中，組分A和組分B中的至少一個組分還包含填充劑。所述填充劑可以選自氧化鋁、二氧化硅、碳酸鈣以及它們的組合。在本發(fā)明的又一個實(shí)施方案中，基于所述粘合劑組合物的總重量，所述填充劑的
含量為15重量％ 50重量優(yōu)選為25重量％ 40重量％。另一方面，本發(fā)明還涉及制備所述粘合劑組合物的方法。在一個實(shí)施方案中，所述方法包括以下步驟:(I)將所述環(huán)氧樹脂與所述任選的填充劑均勻混合，形成組分A ； (2)將所述水溶性聚合物溶解于所述硫醇中，使其以分子水平分散的形式分散于所述硫醇中而形成預(yù)混合物；然后將所述預(yù)混合物與胺和所述任選的填充劑均勻混合，形成組分B ;和(3)將組分A和組分B混合而形成所述粘合劑組合物。另外，本發(fā)明還涉及所述粘合劑組合物在硅錠切片中的用途。
具體實(shí)施例方式除非另外定義，本文使用的所有技術(shù)和科學(xué)術(shù)語具有與本發(fā)明所屬領(lǐng)域技術(shù)人員通常理解的相同的含義。若存在矛盾，則以本申請?zhí)峁┑亩x為準(zhǔn)。當(dāng)以范圍、優(yōu)選范圍、或者優(yōu)選的數(shù)值上限以及優(yōu)選的數(shù)值下限的形式表述某個量、濃度或其它值或參數(shù)的時候，應(yīng)當(dāng)理解相當(dāng)于具體揭示了通過將任意一對范圍上限或優(yōu)選數(shù)值與任意范圍下限或優(yōu)選數(shù)值結(jié)合起來的任何范圍，而不考慮該范圍是否具體揭示。除非另外指出，本文所列出的數(shù)值范圍旨在包括范圍的端點(diǎn)，和該范圍之內(nèi)的所有整數(shù)和分?jǐn)?shù)。當(dāng)術(shù)語“約”和“大約”用于描述數(shù)值或范圍的端值時，所公開的內(nèi)容應(yīng)理解為包括具體值或所涉及的端值。除非另外說明，本文中所有的百分比、份數(shù)、比值等均是按重量計。本文的材料、方法和實(shí)施例均是示例性的，并且除非特別說明，不應(yīng)理解為限制性的。本發(fā)明詳述如下。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種粘合劑組合物，本發(fā)明涉及一種粘合劑組合物，其包括組分A和組分B，其特征在于組分A包含環(huán)氧樹脂，組分B包含硫醇、胺和水溶性聚合物。
在本發(fā)明的一個優(yōu)選實(shí)施方案中，所述水溶性聚合物以分子水平分散于組分B中。在本發(fā)明中，“分子水平分散”具有本領(lǐng)域技術(shù)人員所知曉的普通含義，特別是指本發(fā)明的水溶性聚合物以接近分子水平或分子水平分散在預(yù)混合物和由其得到的組分B中，所得預(yù)混合物和由其得到的組分B透明且無肉眼可察的顆粒。〈環(huán)氧樹脂〉在本發(fā)明的內(nèi)容中，“環(huán)氧樹脂”指分子結(jié)構(gòu)中含有環(huán)氧基團(tuán)的高分子化合物。固化后的環(huán)氧樹脂具有良好的物理化學(xué)性能，它對金屬和非金屬材料的表面具有優(yōu)異的粘接強(qiáng)度，硬度高，柔韌性較好，對堿及大部分溶劑穩(wěn)定。適用于本發(fā)明的環(huán)氧樹脂包括芳香族縮水甘油環(huán)氧樹脂或脂肪族環(huán)氧樹脂，例如雙酚型或酚醛型環(huán)氧樹脂、其它帶有環(huán)氧基團(tuán)的雙官能和單官能環(huán)氧樹脂及環(huán)氧稀釋劑或其組合，更具體的可以是雙酚A型的環(huán)氧樹脂、雙酚S型的環(huán)氧樹脂、雙酚F型的環(huán)氧樹脂、苯酚清漆型的環(huán)氧樹脂、甲酚清漆型的環(huán)氧樹脂及環(huán)氧稀釋劑或其組合，優(yōu)選雙酚A型的環(huán)氧樹脂、雙酚F型的環(huán)氧樹脂或其組合。本發(fā)明中所使用的環(huán)氧樹脂可以是市售的，如邁圖新材料公司的EP0N828和EPON862 ;陶氏化學(xué)的DER 331等環(huán)氧樹脂。在本發(fā)明的粘合劑組合物中，所述環(huán)氧樹脂的含量為基于所述粘合劑組合物的總重的約25重量％ 約40重量％，優(yōu)選含量為約30重量％ 約35重量％。< 硫醇 >在本發(fā)明中，硫醇泛指具有R-SH結(jié)構(gòu)的化合物，其中R是烷基。適用于本發(fā)明的硫醇包括多官能聚硫醇和多官能單體硫醇，特別優(yōu)選地是多官能聚硫醇。適用于本發(fā)明的多官能單體硫醇包括但不限于二官能單體硫醇、三官能單體硫醇和多官能單體硫醇。適用于本發(fā)明的二官能單體硫醇包括但不限于:二巰基丙酸二甘酸酯、4-叔丁基-1，2-苯二硫醇、雙-(2-巰乙基)(硫醚)、4，4’ -硫代二苯硫醇、苯二硫醇、二巰基乙酸乙二醇酯、二巰基丙酸乙二醇酯-1，2-亞乙基(3-巰基丙酸酯)、聚乙二醇二巰基乙酸酯、聚乙二醇二(3-疏基丙酸酯)、2, 2_雙(疏甲基)-1，3_丙二硫醇、2, 5_ 二疏甲基-1,4_ 二喔燒、雙酚芴雙(乙氧基_3_巰基丙酸酯)、4,8_雙-(巰甲基)-3,6,9- 二喔-1,11-十一烷二硫醇、2_疏甲基-2-甲基-1, 3_丙二硫醇、1，8_ 二疏基_3,6_ 二氧雜羊燒和硫代丙二醇雙巰基乙酸酯。適用于本發(fā)明的三官能單體硫醇包括但不限于三羥甲基丙烷(三巰基丙酸酯)、三羥甲基丙烷三(3-巰基乙酸酯)、三(3-巰丙基)異氰脲酸酯、1，2，3_三巰基丙烷和三(3-羥基丙酸酯)三乙基-1，3，5-三嗪-2，4，6-(1Η，3Η，5Η)三酮。適用于本發(fā)明的多官能單體硫醇為聚(巰丙基甲基)硅氧烷、4-巰甲基-3，6-二噻-1，8-辛二硫醇季戊四醇四(3-巰基乙酸酯)和季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)。適用于本發(fā)明的聚硫醇可具有一個或多個巰基并具有以下的結(jié)構(gòu):T [ (C3H6O) nCH2CH0HCH2SH] 3，其中T是三元醇如三羥甲基丙醇或甘油?？蛇x的是，所述聚硫醇可以是具有如聚酯、聚氨酯、聚丙烯酸酯或聚醚為主鏈的聚硫醇。本發(fā)明中所使用的聚硫醇可以是市售的，如科寧化學(xué)公司的Capcure3800。在本發(fā)明的粘合劑組合物中，基于所述粘合劑組合物的總重量，所述硫醇的含量為約20重量％ 約30重量％，優(yōu)選含量為約21.5重量％ 約27.5重量％。〈胺〉本發(fā)明中所述的胺泛指包含N-H基團(tuán)的化合物。所述胺可選自多元胺和叔胺以及它們的組合。所述多元胺可選自脂族多元胺、芳基脂族多元胺、脂環(huán)族多元胺、芳族多元胺、雜環(huán)多元胺、聚烷氧基多元胺、二氰基二酰胺及其衍生物、氨基酰胺、酰亞胺、酮亞胺以及它們的組合。本發(fā)明中特別優(yōu)選叔胺，其選自三乙基胺、三丁基胺、N-乙基-二異丙基胺、N，N，N’，N’ -四甲基-亞乙基二胺、五甲基-二亞乙基三胺和它們的更高級同系物、N, N, N’，N’ -四甲基-亞丙基二胺、五甲基二亞丙基三胺和它們的更高級同系物、N，N，N’，N’ -四甲基-1, 3-丁二胺、N，N，N’，N’ -四甲基-1，6-己二胺、雙_ ( 二甲基氨基)_甲烷、N，N-二甲基芐基胺、N，N-二甲基-環(huán)己基胺、N-甲基-二環(huán)己基胺、N，N-二甲基-六癸基胺、雙-(N，N- 二乙基氨基乙基)-己二酸酯、N, N- 二甲基-2-苯基乙基胺、二 - (3- 二甲基氨基丙基)胺、1，4-二氮雜二環(huán)[2,2,2]辛烷、1，8-二氮雜雙環(huán)[5,4,0] i^一碳_7_烯、1，5-二氮雜雙環(huán)[4，3，O]壬-5-烯、N-甲基 嗎啉、N-乙基嗎啉、N-椰油基嗎啉、N-氨基乙基哌嗪、N，N’ - 二甲基哌嗪、N-甲基-N’ -二甲基氨基乙基-哌嗪、雙_( 二甲基氨基乙基)_哌嗪、I，3，5-三-(二甲基氨基丙基)-六氫三嗪或雙-(2- 二甲基氨基乙基)-醚、2，4，6-三(二甲氨基甲基)苯酚以及它們的組合；優(yōu)選N-氨基乙基哌嗪、N，N-二甲基芐基胺和2，4，6_三(二甲氨基甲基)苯酚。本發(fā)明中所使用的胺可以是市售的，如Air products公司的產(chǎn)品Ancamine K 54和 Ancamine AEP0在本發(fā)明的粘合劑組合物中，基于所述粘合劑組合物的總重量，所述胺的含量為約1.5重量％ 約4重量優(yōu)選含量為約2.5重量％ 約3重量％。<水溶性聚合物>適用于本發(fā)明的水溶性聚合物選自聚乙烯基吡咯烷酮和聚乙酸乙烯酯以及它們的組合，并且優(yōu)選聚乙烯基吡咯烷酮。本發(fā)明中所使用的水溶性聚合物可以是市售的，如巴斯夫公司的聚乙烯基吡咯烷酮產(chǎn)品PVP K 30。在本發(fā)明的粘合劑組合物中，基于所述粘合劑組合物的總重量，所述水溶性聚合物的含量為約I重量％ 約3重量％，優(yōu)選含量為約2重量％。<填充劑>本發(fā)明的粘合劑組合物中可包含填充劑，其選自氧化鋁、二氧化硅、碳酸鈣以及它們的組合。在一個優(yōu)選實(shí)施方案中，本發(fā)明的粘合劑組合物優(yōu)選包含二氧化硅作為填充劑，其目數(shù)應(yīng)大于約600目，優(yōu)選為約1250 約3000目，以免因填料粒徑影響粘合劑的膠層厚度。在本發(fā)明的粘合劑組合物中，基于所述粘合劑組合物的總重量，所述填充劑的含量為約15重量％ 約50重量優(yōu)選含量為約25重量％ 約40重量％?！粗苽浞椒ā蹈鶕?jù)本發(fā)明的另一方面，提供了制備所述粘合劑組合物的方法，其包括以下步驟:(I)將所述環(huán)氧樹脂與所述填充劑均勻混合，形成組分A ；(2)將所述水溶性聚合物溶解于所述硫醇中，使其以分子水平分散的形式分散于所述硫醇中而形成預(yù)混合物；然后將所述預(yù)混合物與所述胺和所述填充劑均勻混合，形成組分B ;和(3)將組分A和組分B混合而形成所述粘合劑組合物。其中，優(yōu)選在加熱攪拌下進(jìn)行步驟(2)，其溫度范圍為約40°C 約70°C。在步驟(2)所得的預(yù)混合物中，通過肉眼觀察，所得液體是無色透明的，并且無顆粒狀物質(zhì)?！凑澈蟿┙M合物的應(yīng)用〉本發(fā)明的粘合劑組合物可用于需要進(jìn)行暫時性粘結(jié)過程和方法中，如用于硅片切割和用于發(fā)光二極管的藍(lán)寶石切割等。實(shí)施例粘合劑的制備

按照以上所述的制備方法制備本發(fā)明所述的粘合劑組合物。所述粘合劑組合物組分的來源如下:
組分A:環(huán)氧樹脂I Epon 828,邁圖新材料公司；Epon 862,邁圖新材料公司;_Heloxy modifier 62，邁圖新材料公司；Heloxy modifier 68,邁圖新材料公司；Heloxymodifier 48,邁圖新材料公司;_
權(quán)利要求
1.一種粘合劑組合物，其包括組分A和組分B，其特征在于 組分A包含環(huán)氧樹脂； 組分B包含硫醇、胺和水溶性聚合物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘合劑組合物，其中所述水溶性聚合物以分子水平分散于組分B和所述粘合劑組合物中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的粘合劑組合物，其中所述環(huán)氧樹脂選自雙酚A型的環(huán)氧樹脂、雙酚S型的環(huán)氧樹脂、雙酚F型的環(huán)氧樹脂、苯酚清漆型的環(huán)氧樹脂、甲酚清漆型的環(huán)氧樹脂及環(huán)氧稀釋劑以及它們的組合。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中所述環(huán)氧樹脂選自雙酚A型的環(huán)氧樹脂、雙酚F型的環(huán)氧樹脂以及它們的組合。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中基于所述粘合劑組合物的總重量，所述環(huán)氧樹脂的含量為25重量％ 40重量％。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中基于所述粘合劑組合物的總重量，所述環(huán)氧樹脂的含量為30重量％ 35重量％。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中所述硫醇選自多官能聚硫醇、二官能單體硫醇、三官能單體硫醇、多官能單體硫醇以及它們的組合。
8.根據(jù)前述權(quán) 利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中所述硫醇選自以下硫醇中的一種或多種:二巰基丙酸二甘酸酯、4-叔丁基-1，2-苯二硫醇、雙-(2-巰乙基)(硫醚)、4，4’ -硫代二苯硫醇、苯二硫醇、二巰基乙酸乙二醇酯、二巰基丙酸乙二醇酯-1，2-亞乙基(3-巰基丙酸酯)、聚乙二醇二巰基乙酸酯、聚乙二醇二(3-巰基丙酸酯)、2，2_雙(巰甲基)-1，3_丙二硫醇、2，5- 二巰甲基-1，4- 二噻烷、雙酚芴雙(乙氧基-3-巰基丙酸酯)、4,8-雙-(疏甲基)-3,6,9-二卩基-1,11-十一燒_■硫醇、2-疏甲基-2-甲基-1, 3-丙_■硫醇、1，8_二巰基-3，6-二氧雜辛烷和硫代丙三醇雙巰基乙酸酯、三羥甲基丙烷(三巰基丙酸酯)、三羥甲基丙烷三(3-巰基乙酸酯)、三(3-巰丙基)異氰脲酸酯、1，2，3_三巰基丙烷和三(3-羥基丙酸酯)三乙基-1，3，5-三嗪-2，4，6-(1Η，3Η，5Η)三酮、聚(巰丙基甲基)硅氧烷、4-巰甲基-3，6-二噻-1，8-辛二硫醇季戊四醇四(3-巰基乙酸酯)和季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)、以聚酯為主鏈的聚硫醇、以聚氨酯為主鏈的聚硫醇、以聚丙稀酸酯為主鏈的聚硫醇和以聚醚為主鏈的聚硫醇。
9.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中基于所述粘合劑組合物的總重量，所述硫醇的含量為20重量％ 30重量％。
10.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中基于所述粘合劑組合物的總重量，所述硫醇的含量為21.5重量％ 27.5重量％。
11.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中所述胺選自多元胺、叔胺以及它們的組合。
12.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中所述胺選自以下胺中的一種或多種:脂族多元胺、芳基脂族多元胺、脂環(huán)族多元胺、芳族多元胺、雜環(huán)多元胺、聚烷氧基多元胺、二氰基二酰胺及其衍生物、氨基酰胺、酰亞胺、酮亞胺、三乙基胺、三丁基胺、N-乙基-二異丙基胺、N，N，N’，N’ -四甲基-亞乙基二胺、五甲基-二亞乙基三胺和它們的更高級同系物、N，N, N’，N’ -四甲基-亞丙基二胺、五甲基二亞丙基三胺和它們的更高級同系物、N，N，N’，N’ -四甲基-1，3-丁二胺、N，N，N’，N’ -四甲基-1，6-己二胺、雙_( 二甲基氨基)_甲烷、N，N-二甲基芐基胺、N，N-二甲基-環(huán)己基胺、N-甲基-二環(huán)己基胺、N，N-二甲基-六癸基胺、雙-(N，N-二乙基氨基乙基)-己二酸酯、N, N-二甲基-2-苯基乙基胺、三-(3-二甲基氨基丙基)胺、1，4_ 二氮雜二環(huán)[2，2，2]辛烷、1，8_ 二氮雜雙環(huán)[5，4，0]i^一碳-7-烯、I，5-二氮雜雙環(huán)[4，3，O]壬-5-烯、N-甲基嗎啉、N-乙基嗎啉、N-椰油基嗎啉、N-氨基乙基哌嗪、N，N’ - 二甲基哌嗪、N-甲基-N’ -二甲基氨基乙基-哌嗪、雙_( 二甲基氨基乙基)_哌嗪、I，3, 5- 二 - ( 二甲基氨基丙基)_六氫二嗪或雙_ (2- 二甲基氨基乙基)-醚和2，4，6_三(二甲氨基甲基)苯酚。
13.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中所述胺選自N-氨基乙基哌嗪、N，N-二甲基芐基胺和2，4，6_三(二甲氨基甲基)苯酚以及它們的組合。
14.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中基于所述粘合劑組合物的總重量，所述胺的含量為1.5重量％ 4重量％。
15.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中基于所述粘合劑組合物的總重量，所述胺的含量為2.5重量％ 3重量％。
16.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中所述水溶性聚合物選自聚乙烯基吡咯烷酮、聚乙酸乙烯酯 以及它們的組合。
17.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中基于所述粘合劑組合物的總重量，所述水溶性聚合物的含量為I重量％ 3重量％。
18.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中基于所述粘合劑組合物的總重量，所述水溶性聚合物的含量為2重量％。
19.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物，其中組分A和組分B中的至少一個組分還包含填充劑。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的粘合劑組合物，其中所述填充劑選自氧化鋁、二氧化硅、碳酸鈣以及它們的組合。
21.根據(jù)權(quán)利要求19或20所述的粘合劑組合物，其中基于所述粘合劑組合物的總重量，所述填充劑的含量為15重量％ 50重量％。
22.根據(jù)權(quán)利要求19-21任一項所述的粘合劑組合物，其中基于所述粘合劑組合物的總重量,所述填充劑的含量為25重量％ 40重量％。
23.制備根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的粘合劑組合物的方法，其包括以下步驟: (1)將所述環(huán)氧樹脂與所述任選的填充劑均勻混合，形成組分A; (2)將所述水溶性聚合物溶解于所述硫醇中，使其以分子水平分散于所述硫醇中形成預(yù)混合物；然后將所述預(yù)混合物與胺和所述任選的填充劑均勻混合，形成組分B ;和 (3)將組分A和組分B混合而形成所述粘合劑組合物。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法制得的粘合劑組合物。
25.根據(jù)權(quán)利要求1-22和24任一項所述的粘合劑組合物在硅錠切片中的用途。
全文摘要
本發(fā)明涉及硅片制備中所使用的暫時性粘結(jié)的粘合劑組合物、其制備方法及其用途。所述的粘合劑組合物包括組分A和組分B，其中組分A包含環(huán)氧樹脂；組分B包含硫醇、胺和水溶性聚合物。
文檔編號C08G59/56GK103184022SQ20111045952
公開日2013年7月3日 申請日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
發(fā)明者李斌, 沙比爾·阿特瓦拉 申請人:漢高股份有限公司