拒液性化合物、拒液性聚合物、固化性組合物、涂布用組合物、以及具有固化膜的物品、具 ...的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種固化性組合物、以及具有使該固化性組合物固化而得的固化膜的物品及其制造方法，該固化性組合物能形成絕緣性、拒液性良好、即使照射波長300nm以上的紫外線也能充分地親液化的具有拒液性的固化膜。本發(fā)明使用該固化性組合物來形成固化膜，該固化性組合物包含具有基于下式(m1)表示的拒液性化合物的單元(u1)的拒液性聚合物。[化1]其中，Cf為碳數(shù)1～20的氟代烷基或碳原子間具有醚性氧原子的碳數(shù)1～20的氟代烷基；R1和R2分別獨(dú)立地為氫原子、碳數(shù)1～6的烷基或苯基；X為氧原子、硫原子、氮原子或NH；n為0～4的整數(shù)；m在X為氧原子、硫原子或NH時(shí)為1，在X為氮原子時(shí)為2；Z為R4R5C＝CR3-CO-；R3、R4和R5分別獨(dú)立地為氫原子或甲基。
【專利說明】拒液性化合物、拒液性聚合物、固化性組合物、涂布用組合物、以及具有固化膜的物品、具有親液性區(qū)域和拒液性區(qū)域的圖案的物品及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種能通過紫外線照射而親液化的拒液性化合物、拒液性聚合物、固化性組合物、涂布用組合物、以及具有固化膜的物品、具有親液性區(qū)域和拒液性區(qū)域的圖案的物品及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體元件、顯示器、發(fā) 光元件等領(lǐng)域，多種功能性薄膜已實(shí)用化。功能性薄膜是將具有所需特性的材料配置在所需位置并將其圖案化而得的薄膜。例如，在薄膜晶體管領(lǐng)域，提出了如下所述的制造方法:在基材表面形成具有拒液性的固化膜，對(duì)該固化膜表面局部地照射紫外線以使照射過紫外線的部分親液化，使電極用組合物選擇性地附著于固化膜的經(jīng)親液化的部分，從而形成電極。該方法與基于光刻的方法相比，是能以較少的工序簡便地形成所需圖案的電極的方法，正受到關(guān)注。
[0003]作為形成能通過紫外線照射而親液化的具有拒液性的固化膜的材料，例如提出了下述材料。
[0004](I)包含光催化劑(二氧化鈦等)和粘合劑(有機(jī)聚硅氧烷等)的材料(參照專利文獻(xiàn)I)。
[0005](2)包含能通過紫外線照射而分解、除去的低分子量的含氟化合物的組合物(參照專利文獻(xiàn)2)。
[0006](3)側(cè)鏈上具有疏水性基團(tuán)的聚酰亞胺(參照專利文獻(xiàn)3)。
[0007](4)主鏈上具有硫羥酸酯鍵的聚酰亞胺(參照專利文獻(xiàn)4)。
[0008]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)
[0010]專利文獻(xiàn)1:專利特許第4300012號(hào)公報(bào)
[0011]專利文獻(xiàn)2:國際公開第2005/054256號(hào)
[0012]專利文獻(xiàn)3:日本專利特開2005-310962號(hào)公報(bào)
[0013]專利文獻(xiàn)4:國際公開第2008/133300號(hào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
[0015]用上述(I)的材料形成具有拒液性的固化膜的情況下，光催化劑仍然殘存在該固化膜中。具有功能性薄膜的物品是薄膜晶體管、半導(dǎo)體元件等的情況下，固化膜是絕緣膜，因此絕緣膜中殘存的光催化劑會(huì)對(duì)絕緣膜的特性(絕緣性等)造成不良影響。
[0016]此外，用上述(2)的包含含氟化合物的組合物形成具有拒液性的固化膜的情況下，因?yàn)楹衔锏姆肿恿枯^低，所以含氟化合物均勻地分散在該固化膜中，含氟化合物不會(huì)更多地存在于固化膜的表面(基材的相反側(cè))。因此，固化膜表面的拒液性有時(shí)會(huì)不足。此外，所得的固化膜的絕緣特性有時(shí)會(huì)不足。
[0017]還有，用上述(3)和(4)的聚酰亞胺形成具有拒液性的固化膜的情況下，聚酰亞胺會(huì)吸收較長波長側(cè)的紫外線(例如波長300nm以上的紫外線)。因此，使用高壓汞燈(i線365nm)、YAG激光器(3倍波355nm)等常用作紫外線光源的光源的情況下，靈敏度不足。此外，最近有時(shí)要求與聚酰亞胺相比介電常數(shù)更低的材料。
[0018]本發(fā)明的目的是提供一種拒液性化合物和拒液性聚合物、以及固化性組合物和涂布用組合物，該拒液性化合物和拒液性聚合物的拒液性良好，通過波長300nm以上的紫外線照射在分子內(nèi)發(fā)生分解，含Cf基的分解殘基能夠脫離，該固化性組合物和涂布用組合物能形成絕緣性和拒液性良好、即使照射波長300nm以上的紫外線也能充分地親液化的具有拒液性的固化膜。
[0019]此外，本發(fā)明的目的是提供一種具有絕緣性和拒液性良好的固化膜的物品、以及絕緣性良好且具有親液性區(qū)域和拒液性區(qū)域的圖案的物品及其制造方法。
[0020]解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案
[0021]本發(fā)明是具有以下[I]~[15]的構(gòu)成的拒液性化合物、拒液性聚合物、固化性組合物、涂布用組合物、以及具有固化膜的物品、具有親液性區(qū)域和拒液性區(qū)域的圖案的物品及其制造方法。
[0022][I]下式(ml)表示的拒液性化合物； [0023][化I]
【權(quán)利要求】
1.下式(ml)表示的拒液性化合物； [化I]
2.拒液性聚合物，其特征在于，具有基于權(quán)利要求1所述的拒液性化合物的單元(ul)。
3.如權(quán)利要求2所述的拒液性聚合物，其特征在于，還包含具有交聯(lián)性官能團(tuán)且不含Cf基的單元(u2)。
4.固化性組合物，其特征在于，包含權(quán)利要求2或3所述的拒液性聚合物。
5.如權(quán)利要求4所述的固化性組合物，其特征在于，還包含自由基聚合引發(fā)劑(D)。
6.如權(quán)利要求4或5所述的固化性組合物，其特征在于，還包含具有交聯(lián)性官能團(tuán)的含氟聚亞芳基預(yù)聚物(A)。
7.如權(quán)利要求6所述的固化性組合物，其特征在于，還包含數(shù)均分子量為140~5000、具有交聯(lián)性官能團(tuán)、不含氟原子的化合物(B)。
8.如權(quán)利要求4~7中任一項(xiàng)所述的固化性組合物，其特征在于，所述含氟聚亞芳基預(yù)聚物(A)是使具有交聯(lián)性官能團(tuán)和酚性羥基的化合物(Xl)以及具有交聯(lián)性官能團(tuán)和氟原子取代芳香環(huán)的化合物(x2)中的任一方或雙方、下式(y)表示的化合物(y)、具有3個(gè)以上酚性羥基的化合物(z)在脫鹵化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)而得的、具有交聯(lián)性官能團(tuán)和醚鍵的預(yù)聚物； [化2]
9.涂布用組合物，其特征在于，包含權(quán)利要求4~8中任一項(xiàng)所述的固化性組合物和溶劑(E)。
10.物品，其特征在于，具有基材以及在基材表面使權(quán)利要求4~8中任一項(xiàng)所述的固化性組合物固化而得的固化膜。
11.物品，其是在固化膜表面具有親液性區(qū)域和拒液性區(qū)域的圖案的物品，其特征在于，該拒液性區(qū)域由使權(quán)利要求4~8中任一項(xiàng)所述的固化性組合物固化而得的固化膜構(gòu)成。
12.在固化膜表面具有親液性區(qū)域和拒液性區(qū)域的圖案的物品的制造方法，其特征在于，包括下述工序(I)~(II): (I)在基材表面涂布權(quán)利要求9所述的涂布用組合物，除去溶劑(E)，進(jìn)行加熱或光照射而形成固化膜的工序； (II)對(duì)所述固化膜表面局部地照射紫外線，得到在固化膜表面具有親液性區(qū)域和拒液性區(qū)域的圖案的物品的工序。
13.如權(quán)利要求12所述的物品的制造方法，其特征在于，在所述工序(II)之后還包括以下工序(III): (III)在所述親液性區(qū)域表面選擇性地附著選自電極用組合物、半導(dǎo)體層用組合物、導(dǎo)體層用組合物、晶體管材料用組合物和樹脂層用組合物的一種以上，形成選自電極、半導(dǎo)體層、導(dǎo)體層、晶體管材料和樹脂層的一種以上的工序。
14.如權(quán)利要求10所述的物品，其特征在于，在所述親液性區(qū)域表面還形成有選自電極、半導(dǎo)體層、導(dǎo)體層、晶體管材料和樹脂層的一種以上。
15.如權(quán)利要求14所述的物品，其特征在于，所述物品是薄膜晶體管。
【文檔編號(hào)】C07C69/708GK103998414SQ201280061108
【公開日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2012年12月13日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月15日
【發(fā)明者】伊藤昌宏, 鶴岡薰 申請(qǐng)人:旭硝子株式會(huì)社