技術特征：

技術總結
本申請公開了一種碳化硅復合材料制備方法，包括：取碳納米管和碳化硅粉，二者固體成份比例范圍為2：98到5：95；將碳納米管配制成濃度3％?10％的碳納米管水溶液；將碳化硅粉投入所述碳納米管水溶液，球磨制成碳化硅混合漿料；將所述碳化硅混合漿料制成碳化硅復合坯體；將所述碳化硅復合坯體真空燒結，制成碳化硅復合材料。一種碳化硅復合材料，由碳納米管和碳化硅制成，其中碳納米管的固體含量為2％～5％(質量)，其余為碳化硅。本發(fā)明解決了半導體用碳化硅陶瓷機械加工時崩瓷問題，進一步提高了產品合格率和碳化硅陶瓷韌性，增強了碳化硅材料抗彎強度。

技術研發(fā)人員：徐國勝
受保護的技術使用者：河北盛平電子科技有限公司
技術研發(fā)日：2017.07.10
技術公布日：2017.11.17