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零收縮LTCC多層陶瓷基板的制備方法與流程

文檔序號(hào):11766197閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種零收縮LTCC多層陶瓷基板的制備方法,該制備方法包括生瓷胚體的層壓制備、在生瓷胚體的上下表面各依次放置一層多孔陶瓷壓板和一層多孔碳化硅壓板,置于壓力裝置中,先升溫排膠,再升溫?zé)Y(jié),升溫?zé)Y(jié)過程中采用壓力輔助燒結(jié),燒結(jié)后去除表面覆蓋物,得到零收縮LTCC多層陶瓷基板。本發(fā)明的制備方法簡(jiǎn)單易行、成本低廉,可有效控制產(chǎn)品收縮率的一致性,收縮率片間重復(fù)性可控制在±0.05%之間。

技術(shù)研發(fā)人員:楊金;鄧斌;萬喜新;周水清;王學(xué)仕;陳慶廣;何永平
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所
技術(shù)研發(fā)日:2017.06.07
技術(shù)公布日:2017.10.20
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