本發(fā)明涉及光學(xué)材料制造設(shè)備配套裝置范圍，特別涉及制備cvdzns沉積設(shè)備中的一種沉積箱裝置。
背景技術(shù)：
zns晶體材料具有優(yōu)越的光學(xué)性能，同時(shí)具備耐高溫、耐侵蝕、抗熱沖擊性能強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，是一種廣泛應(yīng)用且備受關(guān)注的紅外光學(xué)材料，主要采用cvd(化學(xué)氣相沉積)進(jìn)行zns晶體材料的生長(zhǎng)。目前所使用的cvdzns沉積爐，在沉積過程中，沉積箱體是靜止在爐內(nèi)的，氣流在箱體內(nèi)的分布不能達(dá)到絕對(duì)均勻，會(huì)使沉積的zns在沉積箱的某個(gè)面或某個(gè)局部出現(xiàn)不均勻的問題，影響cvdzns的整體沉積均勻性，繼而影響產(chǎn)量。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有裝置的上述不足，提供一種用于制備cvdzns的沉積箱裝置，可在沉積過程中邊沉積邊旋轉(zhuǎn)，避免因氣流分布不均造成沉積均勻性差的問題，提高cvdzns的沉積均勻性。
本發(fā)明采取的具體技術(shù)方案是一種用于制備cvdzns的沉積箱裝置，包括沉積箱體、噴嘴托盤、齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、磁流體密封裝置、皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，沉積箱體豎直安裝在齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的從動(dòng)輪輪輻面位置上，與沉積箱體的底部固定連接，電機(jī)帶動(dòng)皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)輪旋轉(zhuǎn)，通過傳動(dòng)桿傳給爐體內(nèi)沉積箱體的齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的從動(dòng)輪在主動(dòng)輪的帶動(dòng)下勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，位于其上的沉積箱體隨之旋轉(zhuǎn)，噴嘴托盤在整個(gè)沉積過程中保持不動(dòng)。
在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述的噴嘴托盤采用耐熱不銹鋼材料制成，托盤盤面尺寸由沉積箱體尺寸來確定，托盤盤面積與沉積箱體底面積之比為1:1.5～2；托盤底座用螺栓固定在鋅坩堝蓋上，底座上部設(shè)有氣管連接預(yù)留口，h2s氣體和鋅蒸氣管道通過預(yù)留口與托盤上的噴嘴相連。
在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述的齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)由主動(dòng)輪、從動(dòng)輪，以及位于從動(dòng)輪輪轂和輪輻下部的滾珠槽組成，沉積箱體豎直安裝在從動(dòng)輪輻上。從動(dòng)輪輪輻面積與沉積箱體底面積之比為1.2～1.5:1，主動(dòng)輪與從動(dòng)輪直徑比為1:5～7，材質(zhì)均為耐熱不銹鋼，滾珠槽寬度和深度與使用的滾珠尺寸相應(yīng)：滾珠槽寬度＝滾珠直徑，滾珠槽深度＝滾珠半徑。
在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述的沉積箱裝置采用齒輪旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使噴嘴托盤與沉積箱體分離。
在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述的皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)由控制箱、伺服電機(jī)、皮帶輪和傳動(dòng)桿組成，控制箱帶plc控制程序，傳動(dòng)桿采用耐熱不銹鋼材質(zhì)，傳動(dòng)桿外徑與主動(dòng)輪轂直徑相匹配。
本發(fā)明的有益效果是：在cvdzns沉積過程中，與目前沉積箱體靜止不動(dòng)相比，采用該裝置可使沉積箱邊沉積邊旋轉(zhuǎn)，避免因氣流分布不均造成沉積箱沉積不均勻的問題，提高cvdzns的整體沉積均勻性和整塊尺寸完整性，在后期加工中減少丟頭，提高材料利用率，繼而提高總體產(chǎn)量
附圖說明
圖1為本發(fā)明一種實(shí)施方式中的cvdzns的沉積箱裝置示意圖。
其中：1代表沉積箱體，2代表噴嘴托盤，3代表齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，4代表磁流體密封裝置，5代表皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明的附圖，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
如圖1所示，一種用于制備cvdzns的沉積箱裝置，包括沉積箱體、噴嘴托盤、齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、磁流體密封裝置、皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，沉積箱體豎直安裝在齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的從動(dòng)輪輪輻面位置上，與沉積箱體的底部固定連接，電機(jī)帶動(dòng)皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)輪旋轉(zhuǎn)，通過傳動(dòng)桿傳給爐體內(nèi)沉積箱體的齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的從動(dòng)輪在主動(dòng)輪的帶動(dòng)下勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，位于其上的沉積箱體隨之旋轉(zhuǎn)，噴嘴托盤在整個(gè)沉積過程中保持不動(dòng)。
在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述的噴嘴托盤采用耐熱不銹鋼材料制成，托盤盤面尺寸由沉積箱體尺寸來確定，托盤盤面積與沉積箱體底面積之比為1:1.5～2；托盤底座用螺栓固定在鋅坩堝蓋上，底座上部設(shè)有氣管連接預(yù)留口，h2s氣體和鋅蒸氣管道通過預(yù)留口與托盤上的噴嘴相連。
在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述的齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)由主動(dòng)輪、從動(dòng)輪，以及位于從動(dòng)輪輪轂和輪輻下部的滾珠槽組成，沉積箱體豎直安裝在從動(dòng)輪輻上。從動(dòng)輪輪輻面積與沉積箱體底面積之比為1.2～1.5:1，主動(dòng)輪與從動(dòng)輪直徑比為1:5～7，材質(zhì)均為耐熱不銹鋼，滾珠槽寬度和深度與使用的滾珠尺寸相應(yīng)：滾珠槽寬度＝滾珠直徑，滾珠槽深度＝滾珠半徑。
在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述的沉積箱裝置采用齒輪旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使噴嘴托盤與沉積箱體分離。
在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述的皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)由控制箱、伺服電機(jī)、皮帶輪和傳動(dòng)桿組成，控制箱帶plc控制程序，傳動(dòng)桿采用耐熱不銹鋼材質(zhì)，傳動(dòng)桿外徑與主動(dòng)輪轂直徑相匹配。本發(fā)明為一種用于制備cvdzns的沉積箱裝置，如圖1所示，主要包括沉積箱體、噴嘴托盤、齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、磁流體密封裝置、皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。沉積箱體豎直安裝在齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的從動(dòng)輪輪輻面上，電機(jī)帶動(dòng)皮帶輪旋轉(zhuǎn)，通過傳動(dòng)桿傳給爐體內(nèi)沉積箱體下方的齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，從動(dòng)輪在主動(dòng)輪的帶動(dòng)下勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，位于其上的沉積箱體隨之旋轉(zhuǎn)，噴嘴托盤在整個(gè)沉積過程中保持不動(dòng)。
具體實(shí)施時(shí)，沉積箱體由目前cvdzns生產(chǎn)工藝中常用的石墨板拼接。
具體實(shí)施時(shí)，噴嘴托盤采用耐熱不銹鋼材料制成，托盤盤面尺寸由沉積箱體尺寸來確定，托盤盤面積與沉積箱體底面積之比為1:1.5～2，托盤底座用螺栓固定在鋅坩堝蓋上，底座上部設(shè)有氣管連接預(yù)留口，h2s氣體和鋅蒸氣管道通過預(yù)留口與托盤上的噴嘴相連。
具體實(shí)施時(shí)，齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)由主動(dòng)輪、從動(dòng)輪，以及位于從動(dòng)輪輪轂和輪輻下部的滾珠槽組成，沉積箱體豎直安裝在從動(dòng)輪輻上。從動(dòng)輪輪輻面積與沉積箱體底面積之比為1.2～1.5:1，主動(dòng)輪與從動(dòng)輪直徑比為1:5～7，材質(zhì)均為耐熱不銹鋼。滾珠槽寬度和深度依據(jù)所使用的滾珠尺寸來確定：滾珠槽寬度＝滾珠直徑，滾珠槽深度＝滾珠半徑，滾珠可從市場(chǎng)購買常規(guī)型號(hào)。
具體實(shí)施時(shí)，磁流體密封裝置可由市場(chǎng)購買常規(guī)型號(hào)。
具體實(shí)施時(shí)，皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)由控制箱、伺服電機(jī)、皮帶輪和傳動(dòng)桿組成，控制箱帶plc控制程序，傳動(dòng)桿采用耐熱不銹鋼材質(zhì)，傳動(dòng)桿外徑與主動(dòng)輪轂直徑相匹配，伺服電機(jī)、皮帶輪均可從市場(chǎng)購買。
具體實(shí)施時(shí)，沉積箱體豎直安裝在齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的從動(dòng)輪輪輻面上，電機(jī)帶動(dòng)皮帶輪旋轉(zhuǎn)，通過傳動(dòng)桿傳給爐體內(nèi)沉積箱體下方的齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，從動(dòng)輪在主動(dòng)輪的帶動(dòng)下勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，位于其上的沉積箱體隨之旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可根據(jù)需要由控制箱調(diào)節(jié)，噴嘴托盤在整個(gè)沉積過程中保持不動(dòng)。該裝置可使沉積箱邊沉積邊旋轉(zhuǎn)，避免因氣流分布不均造成沉積箱沉積不均勻的問題。提高cvdzns的整體沉積均勻性，提高材料利用率，繼而提高總體產(chǎn)量
以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。