技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種玻璃基板，在將硅基板和玻璃基板貼合的熱處理工序中，堿性離子不易向上述硅基板擴(kuò)散，上述硅基板產(chǎn)生的殘留應(yīng)變小。本發(fā)明的玻璃基板在50℃～100℃的平均熱膨脹系數(shù)α50/100為2.70ppm/℃～3.20ppm/℃，在200℃～300℃的平均熱膨脹系數(shù)α200/300為3.45ppm/℃～3.95ppm/℃，將200℃～300℃的平均熱膨脹系數(shù)α200/300除以50℃～100℃的平均熱膨脹系數(shù)α50/100而得的值α200/300/α50/100為1.20～1.30，堿金屬氧化物的含量以氧化物基準(zhǔn)的摩爾百分比計(jì)為0％～0.1％。

技術(shù)研發(fā)人員：野村周平;小野和孝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：旭硝子株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2016.02.02
技術(shù)公布日：2017.09.26