技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可有效防止?fàn)t內(nèi)污染的提拉法晶體生長(zhǎng)爐，包括爐架和爐體，所述爐體上設(shè)置測(cè)溫裝置，所述爐體底部密封設(shè)置爐體座，爐體座固定設(shè)置于爐架上，所述爐體座上設(shè)置有熔融鍋支撐桿，熔融鍋支撐桿上設(shè)置熔融鍋；所述爐體頂部密封設(shè)置的爐體蓋上，設(shè)置有與熔融鍋支撐桿相對(duì)且同軸的提晶桿，所述提晶桿下端設(shè)置籽晶夾持裝置；爐體外部對(duì)應(yīng)于熔融鍋區(qū)域設(shè)置加熱爐套，加熱爐套上方設(shè)置保溫套，保溫套外部設(shè)置絕熱套。本實(shí)用新型通過(guò)外移加熱與控溫組件、水冷爐體部件，大大降低了高溫下?tīng)t體內(nèi)揮發(fā)物產(chǎn)生而導(dǎo)致的爐內(nèi)污染問(wèn)題，有利于改善并掌控爐內(nèi)長(zhǎng)晶工況環(huán)境，提高并穩(wěn)定晶體品質(zhì)。

技術(shù)研發(fā)人員：李照存
受保護(hù)的技術(shù)使用者：昆明沃特爾機(jī)電設(shè)備有限公司
文檔號(hào)碼：201621428634
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.24
技術(shù)公布日：2017.07.11