1.一種可有效防止?fàn)t內(nèi)污染的提拉法晶體生長爐,包括爐架(1)和爐體(5),所述爐體(5)上設(shè)置測溫裝置(8),所述爐體(5)底部密封設(shè)置爐體座(4),爐體座(4)固定設(shè)置于爐架(1)上,所述爐體座(4)上設(shè)置有熔融鍋支撐桿(2),熔融鍋支撐桿(2)上設(shè)置熔融鍋(3);所述爐體(5)頂部密封設(shè)置的爐體蓋(6)上,設(shè)置有與熔融鍋支撐桿(2)相對且同軸的提晶桿(7),所述提晶桿(7)下端設(shè)置籽晶夾持裝置(16);其特征是:所述爐體(5)外部對應(yīng)于熔融鍋(3)區(qū)域設(shè)置加熱爐套(14),加熱爐套(14)上方設(shè)置保溫套(13),保溫套(13)外部設(shè)置絕熱套(15)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述有效防止?fàn)t內(nèi)污染的提拉法晶體生長爐,其特征是:所述爐體(5)為高純石英管式爐體,所述爐體(5)為高純石英管式爐體,其兩端設(shè)置法蘭盤式結(jié)構(gòu)的爐體蓋(6)和爐體座(5),通過密封圈與爐體(5)構(gòu)成密封腔式的爐膛,爐膛連接抽真空系統(tǒng);石英管外部對應(yīng)于熔融鍋(3)設(shè)置加熱爐套(14),所述加熱爐套(14)為感應(yīng)式加熱環(huán)套,其外設(shè)置保溫套(13)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述有效防止?fàn)t內(nèi)污染的提拉法晶體生長爐,其特征是:所述保溫套(13)本體內(nèi)部設(shè)置加熱絲,其外部包敷絕熱材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述有效防止?fàn)t內(nèi)污染的提拉法晶體生長爐,其特征是:所述熔融鍋(3)為高純石墨坩堝,其表面包敷石英質(zhì)護殼。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述有效防止?fàn)t內(nèi)污染的提拉法晶體生長爐,其特征是:所述爐體座(4)、爐體蓋(6)為不銹鋼材料制作,分別與爐體(5)底部或頂端密封配合;所述爐體座(4)和/或爐體蓋(6)之本體內(nèi)分別設(shè)置循環(huán)水冷裝置,連接爐體蓋水冷管接口(6a)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述有效防止?fàn)t內(nèi)污染的提拉法晶體生長爐,其特征是:所述的爐體座(4)上部連接法蘭上設(shè)置爐體座水冷管接口(4c),連通其內(nèi)部的水循環(huán)管路;爐體座(4)下部設(shè)置氣控裝置,包括排氣管(4a)和真空管路接口(4b)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述有效防止?fàn)t內(nèi)污染的提拉法晶體生長爐,其特征是:所述熔融鍋支撐桿(2)與爐體座(4)底端罩蓋密封動配合;熔融鍋支撐桿(2)頂段中心孔與熔融鍋(3)底部支桿靜配合,熔融鍋支撐桿(2)底端連接驅(qū)動機構(gòu);所述提晶桿(7)與爐體蓋(6)上的中心孔密封動配合,提晶桿(7)頂部聯(lián)接提拉裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述有效防止?fàn)t內(nèi)污染的提拉法晶體生長爐,其特征是:所述爐體(5)兩端通過密封卡槽和密封連接件(11)分別與爐體座(4)和爐體蓋(6)密封連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述有效防止?fàn)t內(nèi)污染的提拉法晶體生長爐,其特征是:所述密封連接件(11)為耐高溫密封圈。