技術(shù)總結(jié)
本實用新型屬于碳化硅生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種帶有托碗的坩堝，該坩堝上設(shè)置有石墨托碗，由于石墨托碗的存在，硅蒸汽的揮發(fā)受到阻擋，可減少對上保溫的侵蝕和晶須的生成，并且即使晶須長大后碰到石墨軸斷裂，也會被托碗接住，防止晶須對溶液的污染，保證晶體生長質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：朱燦;李加林;李長進
受保護的技術(shù)使用者：山東天岳晶體材料有限公司
文檔號碼：201621061550
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.19
技術(shù)公布日：2017.05.17