技術(shù)編號：11901354
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種帶有托碗的坩堝，屬于碳化硅生產(chǎn)設備技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)現(xiàn)有的液相法生長碳化硅晶體技術(shù)，都是通過加熱的方式將硅在高純石墨坩堝中融化，形成碳在硅中的溶液，再將頭部貼付有籽晶的石墨軸伸入到溶液中進行生長。由于石墨坩堝為開放式設計，所以在高溫狀態(tài)下，硅會揮發(fā)形成硅蒸汽，在石墨坩堝頂部有保溫材料，硅蒸汽會和多孔的石墨纖維保溫材料反應，生成碳化硅晶須，晶須會逐漸長大，并會和籽晶軸碰撞、折斷進入溶液，隨著溶液的流動，在上保溫生成的晶須可能會帶入晶體生長前沿，形成雜晶，干擾正常的晶體生長進程，使...
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