1.一種金屬-玻璃封接工藝,其特征在于,包括如下步驟:
步驟1,取分散劑,升溫至100~105℃熔融,保溫條件下緩慢加入封接玻璃粉,攪拌分散均勻,逐漸冷卻凝固,得到小顆?;旌衔?;其中,所述分散劑包括精白蠟;
步驟2,取步驟1得到的小顆粒混合物,壓制成目標(biāo)尺寸的玻璃毛坯;
步驟3,取步驟2得到的玻璃毛坯,進行排蠟處理,得到絕緣玻璃;其中,所述排蠟處理的溫度曲線為:以4.5~5℃/min 的速率勻速升溫至585~600℃→于585~600℃下保溫14~17min→以50~55℃/min的速率勻速降溫至55~60℃;
步驟4,取鐵鈷鎳合金,壓成目標(biāo)尺寸的金屬上蓋和金屬導(dǎo)柱,分別依次經(jīng)拋光除油和刻蝕處理;
步驟5,將金屬上蓋、絕緣玻璃和金屬導(dǎo)柱組合固定,在氮氣保護下進行燒結(jié)處理;其中,所述燒結(jié)處理的溫度曲線為:以65~75℃/min 的速率勻速升溫至570~580℃→以8~11℃/min 的速率勻速升溫至846~852℃→于846~852℃下保溫14~18min→以20~25℃/min的速率勻速降溫至495~510℃→以3~4.5℃/min的速率勻速降溫至250~260℃→以55~70℃/min的速率勻速降溫至20~30℃。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬-玻璃封接工藝,其特征在于,步驟5中所述燒結(jié)處理時,所述金屬上蓋、絕緣玻璃和金屬導(dǎo)柱組合固定在由石墨制成的模具中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬-玻璃封接工藝,其特征在于,按質(zhì)量計,步驟1中所述分散劑和封接玻璃粉的用量比為1:8~11;所述封接玻璃粉包括市售玻璃粉,所述市售玻璃粉DM305、DM308或DM320中的一種或多種。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的金屬-玻璃封接工藝,其特征在于,所述封接玻璃粉還包括額外添加的Al2O3;且按質(zhì)量計,封接玻璃粉中額外添加的Al2O3和市售玻璃粉的用量比為1:15~20。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的金屬-玻璃封接工藝,其特征在于,所述分散劑還包括環(huán)烷油;且按質(zhì)量計,分散劑中的精白蠟和環(huán)烷油的用量比為50~100:1;步驟1中所述小顆粒混合物的尺寸為10~50目。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬-玻璃封接工藝,其特征在于,所述步驟4中,拋光除油的步驟為:第一次預(yù)清洗→第一次拋光→第二次預(yù)清洗→第二次拋光→第三次預(yù)清洗→第四次預(yù)清洗→水洗。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的金屬-玻璃封接工藝,其特征在于,所述第一次預(yù)清洗、第二次預(yù)清洗和第三次預(yù)清洗均采用水溶性表面活性劑的水溶液進行清洗;所述第四次預(yù)清采用PEOM-B-PPON-B-PEOM的水溶液進行清洗,其中m和n均為正整數(shù)且3n>m>1.5n>45。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬-玻璃封接工藝,其特征在于,所述步驟4中,刻蝕所用的刻蝕液包括35~45wt%的HCl、2~5wt%的H3PO4和0.05~0.2wt%的CH3COONa。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的金屬-玻璃封接工藝,其特征在于,所述刻蝕液還包括0.05~0.1wt%的陰離子聚丙烯酰胺。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的金屬-玻璃封接工藝,其特征在于,所述刻蝕液還包括0.1~0.5wt%的乙酸乙酯。