技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種氮化硅的制備方法和生產(chǎn)氮化硅的系統(tǒng)，制備方法包括以下步驟：(1)在真空條件下，四氯化硅氣體和氨氣反應(yīng)生成含氮硅烷化合物；(2)熱處理，得到氮化硅。本發(fā)明中的氮化硅的制備方法使用真空氣相反應(yīng)的方法替代現(xiàn)有技術(shù)中的液液界面反應(yīng)，降低了原料之間的反應(yīng)速度，且不需要使用有機(jī)溶劑，避免了后續(xù)的復(fù)雜分離工序，工藝簡單，更容易實現(xiàn)含氮硅烷化合物的大規(guī)?；a(chǎn)，也實現(xiàn)了氮化硅的大規(guī)模生產(chǎn)，產(chǎn)能高，在保證生產(chǎn)氮化硅的質(zhì)量的前提下降低了氮化硅的制造成本。

技術(shù)研發(fā)人員：銀波;夏高強(qiáng);范協(xié)誠;宋高杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：新特能源股份有限公司
文檔號碼：201510770205
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.11
技術(shù)公布日：2017.05.17