技術編號：11887935
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于氮化硅生產(chǎn)技術領域，具體涉及一種氮化硅的制備方法和生產(chǎn)氮化硅的系統(tǒng)。背景技術氮化硅具有機械強度高、熱穩(wěn)定性好、化學穩(wěn)定性好等優(yōu)點，對于現(xiàn)代技術中經(jīng)常遇到的高溫、高速、強腐蝕介質和高磨損的工作環(huán)境，具有特殊的用途。氮化硅在工業(yè)上的用途很廣泛，可應用于冶金、機械、化工、半導體、航空航天和汽車工業(yè)領域，作為渦輪葉片、高溫軸承、高速切削工具、耐熱部件、耐磨耐腐部件等。隨著氮化硅應用范圍的不斷擴大和對氮化硅品質要求的不斷提高，氮化硅粉體的制備越來越受到重視。已經(jīng)商業(yè)化應用的氮化硅制備技術有四種：...
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