技術總結
本發(fā)明公開了一種利用多孔硅制備高α相氮化硅的方法，以多孔硅為原料，在氮氣氣氛下，依次經高溫煅燒、研磨處理，得到所述的高α相氮化硅。本發(fā)明提供了一種利用多孔硅制備高α相氮化硅的方法，高效制備得到了高α相含量、粒徑分布均勻的氮化硅，本制備方法工藝簡單、性能可控，且生產周期短、極大地降低了生產能耗，成本低廉，適合于大規(guī)模的工業(yè)化生產。

技術研發(fā)人員：張亞光;杜寧;張輝;楊德仁
受保護的技術使用者：浙江大學
文檔號碼：201410750725
技術研發(fā)日：2014.12.09
技術公布日：2016.11.30