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一種利用多孔硅制備高α相氮化硅的方法與流程

文檔序號:11804348閱讀:來源:國知局
一種利用多孔硅制備高α相氮化硅的方法與流程

技術(shù)特征:
1.一種利用多孔硅制備高α相氮化硅的方法,其特征在于,步驟如下:以多孔硅為原料,在氮?dú)鈿夥障?,依次?jīng)高溫煅燒、研磨處理,得到所述的高α相氮化硅;所述多孔硅的粒徑為1~20μm,孔隙為30~500nm,比表面積大于100m2/g。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多孔硅制備高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述的多孔硅的粒徑為1~10μm,比表面積大于100m2/g,多孔硅孔隙為50~200nm。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多孔硅制備高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述的多孔硅的粒徑為7.5~10μm,比表面積大于100m2/g,多孔硅孔隙為100~200nm。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多孔硅制備高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述高溫煅燒的溫度為1250~1350℃,保溫時(shí)間為15~30h。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多孔硅制備高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述的研磨在行星式球磨機(jī)中進(jìn)行。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多孔硅制備高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述行星式球磨機(jī)的磨球采用熱壓燒結(jié)的氮化硅陶瓷球,磨球直徑為1~10mm,球料比為2~10,球磨介質(zhì)為無水乙醇,球磨時(shí)間為2~10h。
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