專利名稱：高純度氬深度純化裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種高純度氬純化裝置。
背景技術：
目前，針對氬氣的純化主要使用鋯鋁16吸氣劑及5A分子篩等作為凈化劑，應用此 種凈化劑設計的純化裝置，一般不能一次性將氬氣純化到99. 9999%，并且其工作溫度高，不 能滿足科學研究、實驗、以及微電子行業(yè)的要求。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型是為了解決現(xiàn)有的氬氣純化裝置無法一次獲得高純度氬氣，氬氣提純 效率較低的問題，從而提出一種高純度氬深度純化裝置。高純度氬深度純化裝置，它包括脫氧干燥床R1、熱交換器E1、吸附劑吸附床R2、一 號水冷卻器E2和過濾器Gl，脫氧干燥床Rl的進氣口是原料氬氣的進氣口，所述脫氧干燥床 Rl的出氣口與熱交換器El的一號進氣口連通，所述熱交換器El的一號出氣口與吸附劑吸 附床R2的進氣口連通，所述吸附劑吸附床R2的出氣口與熱交換器El的二號進氣口連通， 所述熱交換器El的二號出氣口與一號水冷卻器E2的進氣口連通，所述一號水冷卻器E2的 出氣口與過濾器Gl的進氣口連通，所述過濾器Gl的出氣口是高純度氬氣的出氣口。有益效果本實用新型能夠一次脫除氫、總烴、一氧化碳、二氧化碳、氧氣、水、氮氣 等雜質(zhì)，獲得高純度氬氣，氬氣提純效率高，并且獲得的氬氣的純度可達99. 9999%以上。

圖1是本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
具體實施方式
一、結合圖1說明本具體實施方式
，高純度氬深度純化裝置，它包括 脫氧干燥床R1、熱交換器E1、吸附劑吸附床R2、一號水冷卻器E2和過濾器G1，脫氧干燥床 Rl的進氣口是原料氬氣的進氣口，所述脫氧干燥床Rl的出氣口與熱交換器El的一號進氣 口連通，所述熱交換器El的一號出氣口與吸附劑吸附床R2的進氣口連通，所述吸附劑吸附 床R2的出氣口與熱交換器El的二號進氣口連通，所述熱交換器El的二號出氣口與一號水 冷卻器E2的進氣口連通，所述一號水冷卻器E2的出氣口與過濾器Gl的進氣口連通，所述 過濾器Gl的出氣口是高純度氬氣的出氣口。本實施方式的裝置是利用過度金屬間化合物能夠和被純化氣體中的雜質(zhì)起反應， 將雜質(zhì)由氣態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)楣虘B(tài)化合物，從而使氬氣得到純化?；镜倪^程的原理是首先將氣體脫氧干燥處理，初步去除氣體中的氧、水和二氧化碳，具體反應原理如 下 深度除氧和水、二氧化碳，在吸附劑吸附床R2內(nèi)完成，常溫下工作，加熱再生，再 生溫度為300°C，再生氣體由氬氣和適量的氫氣組成。經(jīng)過脫氧干燥處理后進一步純化處理，利用吸附劑吸附床R2進一步吸附氧氣、二 氧化碳、一氧化碳、氮氣等，其原理是過渡金屬間化合物和氬氣中雜質(zhì)氣體反應生成固態(tài) 化合物，因此達到除雜質(zhì)的目的。吸附反應原理如下
權利要求高純度氬深度純化裝置，其特征是它包括脫氧干燥床(R1)、熱交換器(E1)、吸附劑吸附床(R2)、一號水冷卻器(E2)和過濾器(G1)，脫氧干燥床(R1)的進氣口是原料氬氣的進氣口，所述脫氧干燥床(R1)的出氣口與熱交換器(E1)的一號進氣口連通，所述熱交換器(E1)的一號出氣口與吸附劑吸附床(R2)的進氣口連通，所述吸附劑吸附床(R2)的出氣口與熱交換器(E1)的二號進氣口連通，所述熱交換器(E1)的二號出氣口與一號水冷卻器(E2)的進氣口連通，所述一號水冷卻器(E2)的出氣口與過濾器(G1)的進氣口連通，所述過濾器(G1)的出氣口是高純度氬氣的出氣口。
2.根據(jù)權利要求1所述的高純度氬深度純化裝置，其特征在于它還包括二號水冷卻器 (E3)，所述二號水冷卻器(E3)的進氣口與脫氧干燥床(Rl)的出氣口連通，所述二號水冷卻 器(E3)的出氣口是廢氣排放口 ；所述二號水冷卻器(E3)的入水口與一號水冷卻器(E2)的 出水口連通。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的高純度氬深度純化裝置，其特征在于它還包括原料氬氣 通過或截止閥門(FOl)和六號閥門(F06)，在脫氧干燥床(Rl)的進氣口處設置原料氬氣通 過或截止閥門(FO1)，在熱交換器(E1)的一號進氣口處設置六號閥門(F06 )。
4.根據(jù)權利要求3所述的高純度氬深度純化裝置，其特征在于它還包括氫氣通過或截 止閥門(F04 )，在脫氧干燥床(Rl)的進氣口處還設置氫氣通過或截止閥門(F04 )。
5.根據(jù)權利要求1、2或4所述的高純度氬深度純化裝置，其特征在于它還包括產(chǎn)品 氬氣通過或截止閥門(F02)，在過濾器(Gl)的出氣口處設置所述產(chǎn)品氬氣通過或截止閥門 (F02)。
6.根據(jù)權利要求5所述的高純度氬深度純化裝置，其特征在于它還包括分析用氬 氣通過或截止閥門(F03)，在過濾器(Gl)的出氣口處還設置分析用氬氣通過或截止閥門 (F03)。
7.根據(jù)權利要求1、2、4或6所述的高純度氬深度純化裝置，其特征在于它還包括一號 控溫儀(B)，所述一號控溫儀(B)的溫度控制信號輸出端與吸附劑吸附床(R2)的溫度控制 信號輸入端連接。
8.根據(jù)權利要求7所述的高純度氬深度純化裝置，其特征在于它還包括二號控溫儀 (A)，所述二號控溫儀(A)的溫度控制信號輸出端與脫氧干燥床(Rl)的溫度控制信號輸入 端連通。
9.根據(jù)權利要求1、2、4、6或8所述的高純度氬深度純化裝置，其特征在于它還包括原 料氬氣流量計(FI01)，所述原料氬氣流量計(FIOl)設置在脫氧干燥床(Rl)的進氣口處。
10.根據(jù)權利要求9所述的高純度氬深度純化裝置，其特征在于它還包括再生氫氣流 量計(FI02 )，所述再生氫氣流量計(FI02 )設置在脫氧干燥床(Rl)的進氣口處。
專利摘要高純度氬深度純化裝置，它涉及一種高純度氬純化裝置。它解決現(xiàn)有的氬氣純化裝置無法一次獲得高純度氬氣，氬氣提純效率較低的問題。它的脫氧干燥床的進氣口是原料氬氣的進氣口，其出氣口與熱交換器的一號進氣口連通，熱交換器的一號出氣口與吸附劑吸附床的進氣口連通，吸附劑吸附床的出氣口與熱交換器的二號進氣口連通，所述熱交換器的二號出氣口與一號水冷卻器的進氣口連通，所述一號水冷卻器的出氣口與過濾器的進氣口連通，所述過濾器的出氣口是高純度氬氣的出氣口。本實用新型用于獲得高純度氬氣場合。
文檔編號C01B23/00GK201694842SQ20102024288
公開日2011年1月5日 申請日期2010年6月30日 優(yōu)先權日2010年6月30日
發(fā)明者劉宏, 曹素英 申請人:哈爾濱黎明氣體有限公司