專(zhuān)利名稱：一種用來(lái)制取四氟化硅的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用來(lái)制取四氟化硅的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐，特別是一種用氟化鹽和二
氧化硅混合煅燒后與濃硫酸反應(yīng)制取四氟化硅的全密封的耐腐蝕的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐。
技術(shù)背景隨著電子和太陽(yáng)能工業(yè)的飛速發(fā)展，多晶硅的使用量迅速增加，而以四氟化硅為 原料的硅烷法制取多晶硅工藝技術(shù)是多晶硅產(chǎn)業(yè)的一項(xiàng)新技術(shù)。國(guó)內(nèi)雖有生產(chǎn)四氟化硅的 工藝技術(shù)，但是產(chǎn)量、質(zhì)量和國(guó)外相比還有相當(dāng)?shù)牟罹?，因此本申?qǐng)人進(jìn)行了中間產(chǎn)物四氟 化硅制取工藝技術(shù)的研究開(kāi)發(fā)，為硅烷法多晶硅工藝技術(shù)的應(yīng)用提供原料保障，在上述工 藝中主反應(yīng)裝置的選用成為關(guān)鍵點(diǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種用來(lái)制取四氟化硅的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐，用于一種用氟化鹽和二氧 化硅混合煅燒后與濃硫酸反應(yīng)生成四氟化硅的全密封的耐腐蝕的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐。 本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是一種用來(lái)制取四氟化硅的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐，包括筒體 (14)、擋托輪裝置(1)、托輪裝置(20)、傳動(dòng)部分、進(jìn)料螺旋輸送機(jī)(3)、進(jìn)料密封(6)、出料 密封(17)、出料螺旋輸送機(jī)(18)、出料小車(chē)(19)和加熱裝置，筒體(14)兩端設(shè)有擋托輪 裝置(1)和托輪裝置(20)，筒體(14)上設(shè)有滾圈1(9)和滾圈11(15)，滾圈1(9)和滾圈 11(15)分別由擋托輪裝置(1)和托輪裝置(20)支撐，傳動(dòng)部分包括傳動(dòng)裝置(2)和大齒 輪(8)，大齒輪(8)設(shè)置在筒體(14)前端，傳動(dòng)裝置(2)與大齒輪(8)連接；筒體(14)內(nèi) 中部設(shè)有內(nèi)返料裝置(12)，筒體(14)尾部設(shè)有抄料板(16);筒體(14)前端的進(jìn)料端設(shè)有 進(jìn)料螺旋輸送機(jī)(3)和進(jìn)料密封(6)，進(jìn)料螺旋輸送機(jī)(3)連接在進(jìn)料密封(6)上并伸入 筒體(14)內(nèi)，筒體(14)后端的出料端設(shè)有出料螺旋輸送機(jī)(18)和出料密封(17)，出料螺 旋輸送機(jī)(18)與出料密封(17)連接；加熱裝置包括夾套(11)和夾套密封(IO)，夾套(11) 兩端設(shè)有夾套密封(IO)，夾套(11)前端設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣口 (23)，夾套(11)尾部設(shè)有出氣口 (13)，夾套(11)底部設(shè)有多組滑動(dòng)支座(21)和一組固定支座(22)。 所述的內(nèi)返料裝置(12)包括殼體(61)，殼體(61)內(nèi)前段設(shè)有內(nèi)螺旋(59)，殼體 (61)內(nèi)中后段設(shè)有外螺旋(62)，殼體(61)與筒體(14)之間設(shè)有用來(lái)抄料的料斗(64)，內(nèi) 返料裝置(12)由固定支腿(63)和活動(dòng)支腿(60)固定在筒體(14)內(nèi)部。 擋托輪裝置(1)由托輪組(24)、擋輪裝置(25)、擋托輪底座(26)、石墨潤(rùn)滑裝置 (27)組成，擋托輪底座(26)上設(shè)有托輪組(24)，托輪組(24)上設(shè)有石墨潤(rùn)滑裝置(27)，擋 托輪底座(26)上與托輪組(24)垂直方向設(shè)有擋輪裝置(25)，擋輪裝置(25)分別擋在大齒 輪(8)和滾圈1(9)兩側(cè)。 傳動(dòng)裝置(2)包括主電機(jī)(28)、主減速機(jī)(29)，主電機(jī)(28)與主減速機(jī)(29)連 接，主電機(jī)(28)對(duì)側(cè)設(shè)有輔助傳動(dòng)電機(jī)(31)，，輔助傳動(dòng)電機(jī)(31)通過(guò)機(jī)械安全離合器 (30)與主減速機(jī)(29)連接，主減速機(jī)(29)的低速端為小齒輪裝置(33)，主減速機(jī)(29)與小齒輪裝置(33)通過(guò)彈性柱銷(xiāo)聯(lián)軸器(32)連接。 所述的進(jìn)料密封(6)和出料密封(17)由下述部分構(gòu)成其包括動(dòng)環(huán)(40)和靜環(huán) (39)，動(dòng)環(huán)(40)連接在動(dòng)環(huán)支撐架(41)上，動(dòng)環(huán)支撐架(41)連接在筒體(14)的前端板 (42)上，靜環(huán)(39)安裝在靜環(huán)支撐架(38)上，動(dòng)環(huán)(40)與靜環(huán)(39)構(gòu)成機(jī)械密封，在靜環(huán) (39)兩側(cè)設(shè)有加油孔(45)，端面設(shè)有油槽(44)，連接進(jìn)料螺旋輸送機(jī)(3)和出料螺旋輸送 機(jī)(18)的管架(36)與靜環(huán)支撐架(38)之間用聚四氟乙烯(PTFE)膨脹節(jié)(37)連接，在管 架(36)上設(shè)有用來(lái)出氣的出氣管(5)，管架(36)安裝在支架(35)上，同時(shí)在支架(35)上 設(shè)有用來(lái)頂緊靜環(huán)(39)的多個(gè)氣缸(34)，在管架(36)、靜環(huán)支撐架(38)、動(dòng)環(huán)支撐架(41) 之間各設(shè)有一個(gè)聚四氟乙烯(PTFE)梯形密封圈(43)。 所述的夾套密封(10)由下述部分構(gòu)成夾套密封(10)包括夾套殼體(49)、壓板 II (50)、石墨盤(pán)根I (51)、壓板I (55)、石墨塊(56)、石墨盤(pán)根II (58)，夾套殼體(49)內(nèi)設(shè)有 保溫層(48)和耐火層(47)，耐火層(47)內(nèi)襯有耐熱內(nèi)襯(46)，壓板11(50)與夾套(11) 用螺栓連接，在壓板11(50)上設(shè)有半圓形和梯形槽，在半圓槽中壓入石墨盤(pán)根I(51)，在梯 形槽中壓入石墨盤(pán)根II(58)，壓板I1(50)外設(shè)有兩層多瓣環(huán)形石墨塊(56)，其內(nèi)孔與筒體 密封面(57)接觸，石墨塊(56)外設(shè)有壓板I (55)，其與壓板11(50)連接將石墨塊(56)夾 在中間，石墨塊(56)上設(shè)有頂桿(52)，頂桿(52)和石墨塊(56)間設(shè)有用來(lái)徑向壓緊石墨 塊(56)的彈簧(53)。 本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn) 1)加熱系統(tǒng)采用內(nèi)保溫夾套，具有較高的熱利用率，回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐的使用，實(shí)現(xiàn)了四 氟化硅大型規(guī)?；a(chǎn)，為硅烷法制取多晶硅提供了原料保障。 2)傳動(dòng)裝置設(shè)在筒體的前端部，可以最大限度加長(zhǎng)夾套長(zhǎng)度，增大換熱面積，同時(shí) 配以結(jié)構(gòu)合理的夾套密封，提高了熱利用率。 3)在生產(chǎn)四氟化硅的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐中使用內(nèi)返料技術(shù)，減輕了物料對(duì)反應(yīng)爐筒體的 腐蝕，解決了物料在筒體內(nèi)的結(jié)疤，減少了設(shè)備檢修頻率，提高了目的產(chǎn)物的轉(zhuǎn)化率和反應(yīng) 爐的運(yùn)行效率，降低了運(yùn)行成本。 4)在設(shè)備爐頭和爐尾采用PTFE波紋管、機(jī)械密封、梯形PTFE等多種密封組合，使 設(shè)備具有良好的密封性，減少了環(huán)境污染。

圖1為實(shí)用新型回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2為擋托輪裝置結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3為傳動(dòng)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。 圖4為進(jìn)料密封結(jié)構(gòu)示意圖。 圖5為圖4中局部B放大結(jié)構(gòu)示意圖。 圖6為圖1中局部A放大結(jié)構(gòu)示意圖，即夾套密封和夾套結(jié)構(gòu)示意圖。 圖7為內(nèi)返料裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式本實(shí)用新型主要由擋托輪裝置1、傳動(dòng)裝置2、進(jìn)料螺旋輸送機(jī)3、進(jìn)料密封6、齒輪罩7、大齒輪8、滾圈I 9、夾套密封10、夾套11、內(nèi)返料裝置12、筒體14、滾圈I1 15、出料密 封17、出料螺旋輸送機(jī)18、出料小車(chē)19、托輪裝置20等組成。各部分具體組成結(jié)構(gòu)如下 回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐主體為筒體14，在筒體14的中部設(shè)有內(nèi)返料裝置12，內(nèi)返料裝置12 由固定支腿63和活動(dòng)支腿60固定在筒體14內(nèi)部，內(nèi)返料裝置12的前段是內(nèi)螺旋59，中后 段是外螺旋62，尾部設(shè)有用來(lái)抄料的料斗64，內(nèi)螺旋59、外螺旋62均固定在殼體61內(nèi)，料 斗64固定在筒體14與殼體61之間。在筒體14尾部設(shè)有一組用來(lái)出料的抄料板16。同時(shí) 為防止筒體前部主反應(yīng)區(qū)中原料和生成物對(duì)主筒體的腐蝕，在該區(qū)域采用內(nèi)襯特殊材料的 復(fù)合板。 筒體14的兩端分別為擋托輪裝置1和托輪裝置20，它們與安裝在筒體14上的滾 圈I 9和滾圈II 15—起用來(lái)支撐筒體14及操作重量。擋托輪裝置1由托輪組24、擋輪裝 置25、擋托輪底座26、石墨潤(rùn)滑裝置27等組成，擋輪裝置25分別擋在大齒輪8和滾圈I 9 上，控制筒體14的軸向位移。 帶動(dòng)設(shè)備主體轉(zhuǎn)動(dòng)的傳動(dòng)部分設(shè)在筒體14的前端部，該部分包括傳動(dòng)裝置2、大 齒輪8、齒輪罩7。在傳動(dòng)裝置2中主電機(jī)28對(duì)側(cè)設(shè)有輔助傳動(dòng)電機(jī)31，主要在檢修和停車(chē) 時(shí)使用，其與主減速機(jī)29之間通過(guò)機(jī)械安全離合器30連接，主減速機(jī)29的低速端為小齒 輪裝置33，其與主減速機(jī)29之間采用補(bǔ)償位移和緩沖性能好的彈性柱銷(xiāo)聯(lián)軸器32連接。 回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐的進(jìn)料端和出料端由進(jìn)料螺旋輸送機(jī)3、進(jìn)料密封6、出料螺旋輸送機(jī) 18、出料密封17、出料小車(chē)19等組成，進(jìn)料螺旋輸送機(jī)3連接在進(jìn)料密封6上并伸入筒體 14內(nèi)，插入到內(nèi)返料裝置12的內(nèi)螺旋段。進(jìn)料密封6通過(guò)動(dòng)環(huán)支撐架41連接在筒體14的 前端板42上，動(dòng)環(huán)40連接在動(dòng)環(huán)支撐架41上，其與靜環(huán)39構(gòu)成機(jī)械密封，在靜環(huán)39兩側(cè) 開(kāi)有加油孔45，端面開(kāi)有油槽44，以保證由潤(rùn)滑系統(tǒng)自動(dòng)供給的潤(rùn)滑脂使靜環(huán)39與動(dòng)環(huán)40 端面之間具有良好的潤(rùn)滑和密封，靜環(huán)39安裝在靜環(huán)支撐架38上，連接進(jìn)料螺旋輸送機(jī)3 的管架36與靜環(huán)支撐架38之間用PTFE膨脹節(jié)37連接，以消除由于筒體14受熱而產(chǎn)生的 膨脹量，在管架36上置有用來(lái)出氣的出氣管5，管架36安裝在支架35上，同時(shí)在支架35上 還裝有用來(lái)頂緊靜環(huán)39的多個(gè)氣缸34，在管架36、靜環(huán)支撐架38、動(dòng)環(huán)支撐架41之間各有 一個(gè)PTFE梯形密封圈43，用來(lái)防止粉塵進(jìn)入動(dòng)、靜環(huán)之間和PTFE膨脹節(jié)37中。出料端的 出料密封17、出料螺旋輸送機(jī)18安裝在出料小車(chē)19，在檢修時(shí)只需松開(kāi)出料小車(chē)19的固 定螺栓即可將出料密封17、出料螺旋輸送機(jī)18拉出，出料密封17結(jié)構(gòu)與進(jìn)料密封6相同。 回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐的筒體14外部為由夾套11和夾套密封10組成的加熱裝置，夾套11 的保溫層48和耐火層47位于夾套殼體49的內(nèi)部，在耐火層47內(nèi)襯有耐熱內(nèi)襯46。從夾 套11前端部開(kāi)始按照合理位置布置有多個(gè)進(jìn)氣口 23，出氣口 13位于夾套11尾部，夾套殼 體49下有多組滑動(dòng)支座21和一組固定支座22用來(lái)支撐夾套11。在夾套11兩端各有一夾 套密封IO，夾套密封IO中壓板II 50與夾套11用螺栓連接，在壓板I1 50上開(kāi)有半圓形和 梯形槽各一個(gè)，安裝時(shí)在半圓槽中壓入石墨盤(pán)根I 51，在梯形槽中壓入石墨盤(pán)根I1 58。壓 板II 50外為兩層多瓣環(huán)形石墨塊56，其內(nèi)孔與筒體密封面57接觸。石墨塊56外為壓板 I 55，其與壓板I1 50連接將石墨塊56夾在中間，在壓板I 55和壓板I1 50上裝有固定頂 桿52用的角鋼54，頂桿52和石墨塊56間裝有用來(lái)徑向壓緊石墨塊56的彈簧53。 本實(shí)用新型的工作原理如下 回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)由傳動(dòng)裝置2帶動(dòng)裝在筒體14前端的大齒輪8使筒體14在擋托輪裝置1和托輪裝置20上連續(xù)運(yùn)行，傳動(dòng)裝置2中的主電機(jī)28采用變頻調(diào)速電機(jī)，可以 適應(yīng)不同工況條件下對(duì)轉(zhuǎn)速要求。其具體工作原理如下 在設(shè)備正常生產(chǎn)前，先開(kāi)啟熱風(fēng)系統(tǒng)對(duì)設(shè)備筒體14逐步加熱升溫，在加熱筒體14 的同時(shí)通過(guò)進(jìn)料螺旋輸送機(jī)3向筒體14內(nèi)加入足夠量的硫酸鹽，加入的硫酸鹽在筒體14 中部經(jīng)料斗64抄起進(jìn)入內(nèi)返料裝置殼體61，經(jīng)外螺旋62返回至內(nèi)返料裝置12頭部。 當(dāng)設(shè)備正式開(kāi)始生產(chǎn)時(shí)，將煅燒后的氟化鹽和二氧化硅的混合料經(jīng)進(jìn)料口 4送入 進(jìn)料螺旋輸送機(jī)3，經(jīng)進(jìn)料螺旋輸送機(jī)3將物料送入內(nèi)返料裝置12的內(nèi)螺旋段，使其與從筒 體14中部返回的物料在內(nèi)返料裝置12內(nèi)充分混合后落在筒體14前端，與從出氣管5進(jìn)入 的濃硫酸混合后反應(yīng)，生成的四氟化硅氣體經(jīng)出氣管5進(jìn)入后序設(shè)備，生成的固體物料經(jīng) 筒體14尾部的抄料板16送入出料螺旋輸送機(jī)18排出。在此過(guò)程中必須有足夠的返料量， 以保證其與濃硫酸形成合理的固液比，從而解決因固液混合后形成糊狀易結(jié)疤和腐蝕筒體 內(nèi)壁的問(wèn)題。從出氣管5中加入的濃硫酸對(duì)管內(nèi)壁粉塵進(jìn)行沖刷，以防止粉塵長(zhǎng)時(shí)間堆積 堵塞出氣管5，同時(shí)濃硫酸也對(duì)四氟化硅氣體進(jìn)行粗洗滌，減輕氣體中粉塵的含量。 設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中，為防止生成的四氟化硅氣體泄漏和外界的空氣進(jìn)入筒體14 內(nèi)，在筒體14前后端設(shè)有進(jìn)料密封6和出料密封17。連接在動(dòng)環(huán)支撐架41上的動(dòng)環(huán)40與 靜環(huán)39構(gòu)成機(jī)械密封，在管架36與靜環(huán)支撐架38之間用PTFE膨脹節(jié)37連接，以消除由 于筒體14受熱而產(chǎn)生的膨脹量，同時(shí)在支架35上裝有多個(gè)氣缸34，通過(guò)調(diào)整氣缸34的壓 力，保證動(dòng)環(huán)40和靜環(huán)39始終緊密接觸，而在靜環(huán)39兩側(cè)開(kāi)的加油孔45和端面開(kāi)的油槽 44，保證了由潤(rùn)滑系統(tǒng)自動(dòng)供給的潤(rùn)滑脂在靜環(huán)39與動(dòng)環(huán)40端面之間形成良好的潤(rùn)滑和 密封。在管架36、靜環(huán)支撐架38、動(dòng)環(huán)支撐架41之間安裝的PTFE梯形密封圈43，可以防止 粉塵進(jìn)入動(dòng)、靜環(huán)之間和PTFE膨脹節(jié)37中。在進(jìn)料螺旋輸送機(jī)3和出料螺旋輸送機(jī)18的 螺旋軸上將螺旋葉片斷開(kāi)，使物料在螺旋輸送機(jī)中形成料封，以防止四氟化硅氣體和外界 的空氣從螺旋輸送機(jī)進(jìn)出。 在筒體14外部安裝的夾套11主要承載給物料加熱的載熱體，熱風(fēng)供給系統(tǒng)輸送 來(lái)的載熱體經(jīng)夾套進(jìn)氣口 23進(jìn)入夾套11內(nèi)，載熱體通過(guò)夾套11與筒體14之間的通道對(duì)筒 體14和物料進(jìn)行加熱并經(jīng)出氣口 13排出。當(dāng)夾套11受熱后，由于中間由固定支座22固 定，使夾套11膨脹時(shí)沿滑動(dòng)支座21向兩端伸長(zhǎng)。夾套密封IO中壓板II 50與夾套11連
接后將石墨盤(pán)根i 5l壓緊在壓板n 50與夾套ii之間，將石墨盤(pán)根n 58壓緊在壓板n
50與夾套11及筒體密封面57之間，從而對(duì)載熱體形成徑向和軸向密封，通過(guò)調(diào)整頂桿52 使彈簧53對(duì)石墨塊56產(chǎn)生徑向力，使石墨塊56始終緊貼在筒體密封面57上，形成軸向動(dòng) 靜密封，減少夾套內(nèi)載熱體與外界的熱交換。
權(quán)利要求一種用來(lái)制取四氟化硅的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐，包括筒體(14)、擋托輪裝置(1)、托輪裝置(20)、傳動(dòng)部分、進(jìn)料螺旋輸送機(jī)(3)、進(jìn)料密封(6)、出料密封(17)、出料螺旋輸送機(jī)(18)、出料小車(chē)(19)和加熱裝置，筒體(14)兩端設(shè)有擋托輪裝置(1)和托輪裝置(20)，筒體(14)上設(shè)有滾圈I(9)和滾圈II(15)，滾圈I(9)和滾圈II(15)分別由擋托輪裝置(1)和托輪裝置(20)支撐，傳動(dòng)部分包括傳動(dòng)裝置(2)和大齒輪(8)，大齒輪(8)設(shè)置在筒體(14)前端，傳動(dòng)裝置(2)與大齒輪(8)連接；其特征在于筒體(14)內(nèi)中部設(shè)有內(nèi)返料裝置(12)，筒體(14)尾部設(shè)有抄料板(16)；筒體(14)前端的進(jìn)料端設(shè)有進(jìn)料螺旋輸送機(jī)(3)和進(jìn)料密封(6)，進(jìn)料螺旋輸送機(jī)(3)連接在進(jìn)料密封(6)上并伸入筒體(14)內(nèi)，筒體(14)后端的出料端設(shè)有出料螺旋輸送機(jī)(18)和出料密封(17)，出料螺旋輸送機(jī)(18)與出料密封(17)連接；加熱裝置包括夾套(11)和夾套密封(10)，夾套(11)兩端設(shè)有夾套密封(10)，夾套(11)前端設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣口(23)，夾套(11)尾部設(shè)有出氣口(13)，夾套(11)底部設(shè)有多組滑動(dòng)支座(21)和一組固定支座(22)。
2. 如權(quán)利要求1所述的一種用來(lái)制取四氟化硅的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐，其特征在于所述的內(nèi) 返料裝置(12)包括殼體(61)，殼體(61)內(nèi)前段設(shè)有內(nèi)螺旋(59)，殼體(61)內(nèi)中后段設(shè)有 外螺旋(62)，殼體(61)與筒體(14)之間設(shè)有用來(lái)抄料的料斗(64)，內(nèi)返料裝置(12)由固 定支腿(63)和活動(dòng)支腿(60)固定在筒體(14)內(nèi)部。
3. 如權(quán)利要求1所述的一種用來(lái)制取四氟化硅的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐，其特征在于擋托輪裝 置(1)由托輪組(24)、擋輪裝置(25)、擋托輪底座(26)、石墨潤(rùn)滑裝置(27)組成，擋托輪底 座(26)上設(shè)有托輪組(24)，托輪組(24)上設(shè)有石墨潤(rùn)滑裝置(27)，擋托輪底座(26)上與 托輪組(24)垂直方向設(shè)有擋輪裝置(25)，擋輪裝置(25)分別擋在大齒輪(8)和滾圈1(9)
4. 如權(quán)利要求1所述的一種用來(lái)制取四氟化硅的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐，其特征在于傳動(dòng)裝置 (2)包括主電機(jī)(28)、主減速機(jī)(29)，主電機(jī)(28)與主減速機(jī)(29)連接，主電機(jī)(28)對(duì)側(cè) 設(shè)有輔助傳動(dòng)電機(jī)(31)，，輔助傳動(dòng)電機(jī)(31)通過(guò)機(jī)械安全離合器(30)與主減速機(jī)(29) 連接，主減速機(jī)(29)的低速端為小齒輪裝置(33)，主減速機(jī)(29)與小齒輪裝置(33)通過(guò) 彈性柱銷(xiāo)聯(lián)軸器(32)連接。
5. 如權(quán)利要求1所述的一種用來(lái)制取四氟化硅的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐，其特征在于所述的進(jìn) 料密封(6)和出料密封(17)由下述部分構(gòu)成其包括動(dòng)環(huán)(40)和靜環(huán)(39)，動(dòng)環(huán)(40)連 接在動(dòng)環(huán)支撐架(41)上，動(dòng)環(huán)支撐架(41)連接在筒體(14)的前端板(42)上，靜環(huán)(39)安 裝在靜環(huán)支撐架(38)上，動(dòng)環(huán)(40)與靜環(huán)(39)構(gòu)成機(jī)械密封，在靜環(huán)(39)兩側(cè)設(shè)有加油 孔(45)，端面設(shè)有油槽(44)，連接進(jìn)料螺旋輸送機(jī)(3)和出料螺旋輸送機(jī)(18)的管架(36) 與靜環(huán)支撐架(38)之間用聚四氟乙烯(PTFE)膨脹節(jié)(37)連接，在管架(36)上設(shè)有用來(lái) 出氣的出氣管(5)，管架(36)安裝在支架(35)上，同時(shí)在支架(35)上設(shè)有用來(lái)頂緊靜環(huán) (39)的多個(gè)氣缸(34)，在管架(36)、靜環(huán)支撐架(38)、動(dòng)環(huán)支撐架(41)之間各設(shè)有一個(gè)聚 四氟乙烯(PTFE)梯形密封圈(43)。
6. 如權(quán)利要求1所述的一種用來(lái)制取四氟化硅的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐，其特征在于所述的夾 套密封(10)由下述部分構(gòu)成夾套密封(10)包括夾套殼體(49)、壓板11(50)、石墨盤(pán)根 1(51)、壓板I(55)、石墨塊(56)、石墨盤(pán)根II(58)，夾套殼體(49)內(nèi)設(shè)有保溫層(48)和耐 火層(47)，耐火層(47)內(nèi)襯有耐熱內(nèi)襯(46)，壓板11(50)與夾套(11)用螺栓連接，在壓板11(50)上設(shè)有半圓形和梯形槽，在半圓槽中壓入石墨盤(pán)根I(51)，在梯形槽中壓入石墨 盤(pán)根II(58)，壓板I1(50)外設(shè)有兩層多瓣環(huán)形石墨塊(56)，其內(nèi)孔與筒體密封面(57)接 觸，石墨塊(56)外設(shè)有壓板I (55)，其與壓板11(50)連接將石墨塊(56)夾在中間，石墨塊 (56)上設(shè)有頂桿(52)，頂桿(52)和石墨塊(56)間設(shè)有用來(lái)徑向壓緊石墨塊(56)的彈簧 (53)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種用來(lái)制取四氟化硅的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐，由下述部分構(gòu)成，筒體內(nèi)中部設(shè)有內(nèi)返料裝置；筒體前端的進(jìn)料端設(shè)有進(jìn)料螺旋輸送機(jī)和進(jìn)料密封，筒體后端的出料端設(shè)有出料螺旋輸送機(jī)和出料密封；加熱裝置由夾套和夾套密封構(gòu)成。本實(shí)用新型在爐頭和爐尾采用PTFE波紋管、機(jī)械密封、梯形PTFE等多種密封組合，具有良好的密封性，加熱系統(tǒng)采用內(nèi)保溫夾套，具有較高的熱利用率，在筒體內(nèi)采用內(nèi)返料技術(shù)，解決了筒體易結(jié)疤和腐蝕問(wèn)題，提高了設(shè)備運(yùn)行效率，降低了運(yùn)行成本。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了四氟化硅大型規(guī)模化生產(chǎn)，為硅烷法制取多晶硅提供了原料保障。
文檔編號(hào)C01B33/107GK201447364SQ20092003445
公開(kāi)日2010年5月5日 申請(qǐng)日期2009年9月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月4日
發(fā)明者何建祥, 許澤華 申請(qǐng)人:西安三瑞實(shí)業(yè)有限公司