技術(shù)編號(hào)：3437933
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種用來(lái)制取四氟化硅的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐，特別是一種用氟化鹽和二氧化硅混合煅燒后與濃硫酸反應(yīng)制取四氟化硅的全密封的耐腐蝕的回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐。技術(shù)背景隨著電子和太陽(yáng)能工業(yè)的飛速發(fā)展，多晶硅的使用量迅速增加，而以四氟化硅為 原料的硅烷法制取多晶硅工藝技術(shù)是多晶硅產(chǎn)業(yè)的一項(xiàng)新技術(shù)。國(guó)內(nèi)雖有生產(chǎn)四氟化硅的 工藝技術(shù)，但是產(chǎn)量、質(zhì)量和國(guó)外相比還有相當(dāng)?shù)牟罹?，因此本申?qǐng)人進(jìn)行了中間產(chǎn)物四氟 化硅制取工藝技術(shù)的研究開(kāi)發(fā)，為硅烷法多晶硅工藝技術(shù)的應(yīng)用提供原料保障，在上述工...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。