分離，極大地減少了真空腔體的開孔和結(jié)構(gòu)復(fù)雜性，使得卷繞機(jī)構(gòu)約束少；各個(gè)組成部分協(xié)調(diào)一致，同步運(yùn)行，工作穩(wěn)定性好，能夠做到獨(dú)立張緊系統(tǒng)和獨(dú)立糾偏系統(tǒng)同步控制。實(shí)現(xiàn)了多層復(fù)合ITO柔性基材安裝和拆卸的自動(dòng)化，減少了對(duì)膜層的損傷，提高了生產(chǎn)效率。
[0028]相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn):
[0029](I)非平衡陰極布置形式和自隔氣的整體式封閉屏蔽罩和各自獨(dú)立的供氣機(jī)構(gòu)，主要是通過低氣壓等離子體的非均勻放電性形式，是在電磁場(chǎng)與等離子體之間通過歐姆加熱、隨機(jī)加熱和二次電子發(fā)射加熱等諸多電子加熱的機(jī)制，間接的微小范圍內(nèi)局部暫時(shí)提高基體表面的瞬時(shí)溫度，來達(dá)到不對(duì)基體進(jìn)行劇烈加熱而保證形成導(dǎo)電薄膜的材料可以最大可能的按要求沉積在基體的表面。
[0030](2)等離子體能在不對(duì)基體加熱的條件下，通過改善物理氣相沉積的工藝參數(shù)和采用更加合理的設(shè)備結(jié)構(gòu)以及經(jīng)過優(yōu)化的磁場(chǎng)布置形式等多種技術(shù)和理論的綜合，促使形成導(dǎo)電薄膜的材料可以最大可能的按要求沉積在基體的表面。為薄膜在基體表面的生長(zhǎng)提供必要而且足夠的活化能。實(shí)現(xiàn)了溫超大面積多層復(fù)合卷繞ITOITO柔性基材全電阻值系列復(fù)合卷繞ITO柔性基材全電阻值系列ITO膜的工業(yè)化生產(chǎn)。
[0031](3)采用物理氣相沉積技術(shù)將透明導(dǎo)電氧化物導(dǎo)電玻璃薄膜在室溫的條件下沉積在PET、PEN、PC等多層復(fù)合的柔性透明塑料基體上，并作為柔性光電子基礎(chǔ)材料而廣泛用于柔性顯示器、各種柔性光電電子器件、柔性共形觸摸屏等領(lǐng)域。
[0032]試驗(yàn)I
[0033]將柔性卷繞基材固定在放料輥上，并通過各軸連接到收料輥。調(diào)節(jié)各層膜材的張力同步協(xié)調(diào)一致，設(shè)定好糾偏同步一致性，選擇薄膜沉積鼓的設(shè)定溫度，設(shè)定基材的運(yùn)行速度為3米/分鐘。將設(shè)定好的多層復(fù)合ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)整體水平移進(jìn)到低真空度的真空腔體內(nèi)，抽真空到額定值，通入工藝氣體，進(jìn)行氣相沉積，其結(jié)果為:復(fù)合卷繞ITO柔性基材全電阻值系列ITO膜表面電阻為100 Ω/ □，透光率為91%，均勻性為±5%。
[0034]試驗(yàn)2
[0035]將柔性卷繞基材固定在放料輥上，并通過各軸連接到收料輥。調(diào)節(jié)各層膜材的張力同步協(xié)調(diào)一致，設(shè)定好糾偏同步一致性，選擇薄膜沉積鼓的設(shè)定溫度，設(shè)定基材的運(yùn)行速度為I米/分鐘。將設(shè)定好的多層復(fù)合ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)整體水平移進(jìn)到低真空度的真空腔體內(nèi)，抽真空到額定值，通入工藝氣體，進(jìn)行氣相沉積，其結(jié)果為:復(fù)合卷繞ITO柔性基材全電阻值系列ITO膜表面電阻為40 Ω/ □，透光率為88%，均勻性為±3%。
[0036]由試驗(yàn)I和試驗(yàn)2可以看出，本發(fā)明生產(chǎn)的復(fù)合卷繞ITO柔性基材全電阻值系列ITO膜的透光率高，均勻性較好，復(fù)合卷繞ITO柔性基材全電阻值系列ITO膜表面電阻均勻穩(wěn)定，一致性能好，偏差小。
[0037]盡管本文較多地使用了放料輥1，自控張緊系統(tǒng)2，表面處理機(jī)構(gòu)3，立式單鼓機(jī)構(gòu)及溫控系統(tǒng)4，自動(dòng)糾偏機(jī)構(gòu)5，收料復(fù)合機(jī)構(gòu)6，收料輥7，卷繞機(jī)底座8，卷繞機(jī)隔板9，放料及分開系統(tǒng)10等術(shù)語，但并不排除使用其它術(shù)語的可能性。使用這些術(shù)語僅僅是為了更方便地描述和解釋本發(fā)明的本質(zhì)；把它們解釋成任何一種附加的限制都是與本發(fā)明精神相違背的。
[0038]以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理、主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書、說明書及其等效物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種獨(dú)立可整體行走立式多層ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)，其特征在于:所述獨(dú)立可整體行走立式多層ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)包括卷繞機(jī)底座，所述卷繞機(jī)底座上設(shè)置有多層分開的放料機(jī)構(gòu)、自控張緊機(jī)構(gòu)、同步卷繞機(jī)構(gòu)、立式單鼓機(jī)構(gòu)和收料機(jī)構(gòu)； 所述放料機(jī)構(gòu)、自控張緊機(jī)構(gòu)、同步卷繞機(jī)構(gòu)、立式單鼓機(jī)構(gòu)、收料機(jī)構(gòu)均與自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)相連接； 所述放料機(jī)構(gòu)為放料輥和放料及分開系統(tǒng)，所述收料機(jī)構(gòu)為收料復(fù)合機(jī)構(gòu)和收料輥； 所述放料及分開系統(tǒng)、立式單鼓機(jī)構(gòu)、同步卷繞機(jī)構(gòu)、收料復(fù)合機(jī)構(gòu)上均設(shè)置有各自獨(dú)立的同步驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的獨(dú)立可整體行走立式多層ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)，其特征在于:所述自控卷繞系統(tǒng)內(nèi)部設(shè)置有表面處理機(jī)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的獨(dú)立可整體行走立式多層ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)，其特征在于:所述自控卷繞系統(tǒng)內(nèi)部設(shè)置有對(duì)分開后各層ITOITO柔性基材的卷繞進(jìn)程有實(shí)時(shí)同步的自動(dòng)糾偏機(jī)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的獨(dú)立可整體行走立式多層ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)，其特征在于:所述立式單鼓內(nèi)還設(shè)置有薄膜沉積時(shí)的鼓表面的溫度控制機(jī)構(gòu)。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種獨(dú)立可整體行走立式多層復(fù)合ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)，所述獨(dú)立可整體行走立式多層復(fù)合ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)包括卷繞機(jī)底座，所述卷繞機(jī)底座上設(shè)置有多層分開的放料機(jī)構(gòu)、自控張緊機(jī)構(gòu)、同步卷繞機(jī)構(gòu)、立式單鼓機(jī)構(gòu)和收料機(jī)構(gòu)；所述放料機(jī)構(gòu)、自控張緊機(jī)構(gòu)、同步卷繞機(jī)構(gòu)、立式單鼓機(jī)構(gòu)、收料機(jī)構(gòu)均與自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)相連接；所述放料機(jī)構(gòu)為放料輥和放料及分開系統(tǒng)，所述收料機(jī)構(gòu)為收料復(fù)合機(jī)構(gòu)和收料輥；所述放料及分開系統(tǒng)、立式單鼓機(jī)構(gòu)、同步卷繞機(jī)構(gòu)、收料復(fù)合機(jī)構(gòu)上均設(shè)置有各自獨(dú)立的同步驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，設(shè)計(jì)合理，工作穩(wěn)定性好,在常溫下可以工作。<pb pnum="1" />
【IPC分類】C23C14/56, C23C14/08
【公開號(hào)】CN105039925
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510431622
【發(fā)明人】莊志杰, 周鈞, 劉戰(zhàn)合
【申請(qǐng)人】賽柏利安工業(yè)技術(shù)（蘇州）有限公司
【公開日】2015年11月11日
【申請(qǐng)日】2015年7月21日