技術(shù)編號(hào):9321197
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。ITO透明導(dǎo)電薄膜是一類既透明又導(dǎo)電的特殊功能性薄膜,具有禁帶寬、可見光譜區(qū)內(nèi)光的透射率高和電阻率低等共同的光學(xué)和電性能,目前廣泛用于顯示器、各種光電電子器件、觸摸屏、防輻射、建筑的節(jié)能保溫、交通工具上的防霧除霜和太陽能等眾多領(lǐng)域。ITO透明導(dǎo)電薄膜的工業(yè)化生產(chǎn)通常采用物理氣相沉積法。目前物理氣相沉積法制備ITO透明導(dǎo)電薄膜多在真空條件下,加溫到200°c — 350°C左右。使得ITO透明導(dǎo)電薄膜目前多只能沉積在玻璃等可以耐一定溫度的基體上,而不能沉積在...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。