1.一種具有良好阻擴散及抗氧化性能的復合涂層,其特征在于,包括復合涂層由高熵合金擴散障層和高溫防護涂層構成;
2.根據(jù)權利要求1所述的一種具有良好阻擴散及抗氧化性能的復合涂層,其特征在于,a+b+c+d+e=1,a、b、c、d和e的范圍為0.05~0.35。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種具有良好阻擴散及抗氧化性能的復合涂層,其特征在于,所述高熵合金擴散障層為非晶相結構,厚度為3.8~4.2μm。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種具有良好阻擴散及抗氧化性能的復合涂層,其特征在于,所述高溫防護涂層的厚度為7.4~7.8μm。
5.一種具有良好阻擴散及抗氧化性能的復合涂層的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
6.根據(jù)權利要求5所述的一種具有良好阻擴散及抗氧化性能的復合涂層的制備方法,其特征在于,步驟s3中,在沉積高熵合金擴散障之前對fe-cr基體進行研磨和拋光,拋光后的fe-cr基體分別置于無水乙醇和去離子水中超聲清洗,將清洗好fe-cr基體在室溫環(huán)境下干燥,之后將干燥的fe-cr高溫合金基體安裝在磁控濺射設備的樣品臺上,將步驟s1得到的alcrtatizr高熵合金靶材放置在射頻靶上,得到沉積在fe-cr基體表面的alcrtatizr高熵合金擴散障層。
7.根據(jù)權利要求5所述的一種具有良好阻擴散及抗氧化性能的復合涂層的制備方法,其特征在于,步驟s4中,將步驟s3得到的alcrtatizr高熵合金薄膜樣品安裝在磁控濺射設備的樣品臺上,將步驟s2得到的nialy合金靶材放置在射頻靶上,得到alcrtatizr/nialy復合涂層。
8.根據(jù)權利要求5所述的一種具有良好阻擴散及抗氧化性能的復合涂層的制備方法,其特征在于,在步驟s3中,磁控濺射參數(shù)為:真空度9×10-3~1×10-4pa,fe-cr高溫合金基體的溫度100~200℃,alcrtatizr高熵合金靶材的功率250w,氣壓0.59~0.61pa。
9.根據(jù)權利要求5所述的一種具有良好阻擴散及抗氧化性能的復合涂層的制備方法,其特征在于,在步驟s4中,磁控濺射參數(shù)為:真空度9×10-3~1×10-4pa,alcrtatizr高熵合金薄膜樣品的溫度100~200℃,nialy合金靶材的功率300w,氣壓0.69~0.71pa。
10.一種表面覆有如權利要求1-4任一所述的具有良好阻擴散及抗氧化性能的復合涂層的基體。