技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種具有大范圍可調(diào)矯頑力納米厚度稀土?過渡合金薄膜的制備方法,將稀土貼片與鐵鈷合金靶相貼合形成復(fù)合鑲嵌靶,采用磁控濺射復(fù)合鑲嵌靶或者三元合金靶的方法,通過簡單地控制濺射時間來改變生長薄膜的厚度,實現(xiàn)薄膜特性的連續(xù)變化,有效調(diào)節(jié)制備的稀土?過渡合金薄膜的磁特性,實現(xiàn)矯頑力的大范圍連續(xù)變化。該稀土?過渡合金薄膜的制備方法簡單,操作性強,重復(fù)性好、成本低廉,可在較大范圍內(nèi)調(diào)節(jié)薄膜的磁特性及矯頑力,滿足不同技術(shù)領(lǐng)域的材料需要。
技術(shù)研發(fā)人員:王可;董碩
受保護(hù)的技術(shù)使用者:華僑大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.05.12
技術(shù)公布日:2017.09.22