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一種具有優(yōu)良場發(fā)射性能的石墨烯/金剛石復合膜及其制備方法與流程

文檔序號:11279300閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
本發(fā)明公開了一種具有優(yōu)良場發(fā)射性能的石墨烯/金剛石復合膜及其制備方法,屬于光電子材料技術領域。其主要步驟為1)在襯底上生長非摻雜的金剛石薄膜;2)在金剛石薄膜襯底上生長一層厚度為100?600?nm的Ni薄膜;3)然后使薄膜在Ar?+H2混合氣氛中退火,金剛石膜中碳原子在Ni層中溶解;4)以0.5~1℃/s的速度降至室溫,碳原子析出到表面重結晶而形成石墨烯,即得所述石墨烯/金剛石復合膜。本發(fā)明直接利用金剛石膜作為石墨烯生長的前驅體,方法簡單,易于操作;所得復合膜中石墨烯與金剛石膜表面可實現原子鍵合,其結合性較強,穩(wěn)定性好。

技術研發(fā)人員:申艷艷;麻根旺;于盛旺;黑鴻君;賀志勇;唐賓;賈鈺欣;張一新
受保護的技術使用者:太原理工大學
技術研發(fā)日:2017.05.05
技術公布日:2017.09.22
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