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工件保持體及成膜裝置的制作方法

文檔序號(hào):11446531閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的表面處理用的工件保持體(20)具備保持器(21)和粘接片(22)。粘接片(22)具有:以第一粘接力粘接于保持器(21)的第一面(22a)(第一粘接層(221));和構(gòu)成為能以比所述第一粘接力大的第二粘接力保持工件(部件主體110)的第二面(22b)(第二粘接層(222))。

技術(shù)研發(fā)人員:中牟田雄;松本昌弘;原田學(xué);高橋康司;影山貴志
受保護(hù)的技術(shù)使用者:株式會(huì)社愛發(fā)科
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.17
技術(shù)公布日:2017.08.29
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