亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

一種可移動的線性蒸發(fā)源速率監(jiān)測系統(tǒng)及其蒸鍍設(shè)備的制作方法

文檔序號:12769549閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種可移動的線性蒸發(fā)源速率監(jiān)測系統(tǒng),其特征在于:

包括移動裝置、蒸鍍速率監(jiān)測裝置和蒸鍍材料阻擋裝置;

所述移動裝置為與蒸發(fā)源噴嘴并排形成的直線平行的滑軌;

所述監(jiān)測裝置滑動設(shè)置于所述滑軌上,且其監(jiān)測頭朝向所述蒸發(fā)源噴嘴;

所述阻擋裝置包括兩個滾軸、驅(qū)動所述滾軸的驅(qū)動裝置、以及質(zhì)軟的、且繞在兩個所述滾軸上形成環(huán)狀的擋板;所述擋板位于所述滑軌與噴嘴之間,且所述滑軌朝向所述噴嘴投向所述擋板的投影完全落入所述擋板上;所述監(jiān)測裝置固定于所述擋板上,且在所述擋板上開設(shè)有供所述監(jiān)測裝置的監(jiān)測頭伸出的通孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可移動的線性蒸發(fā)源速率監(jiān)測系統(tǒng),其特征在于:

所述擋板位于所述噴嘴的噴射軌跡以外。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種可移動的線性蒸發(fā)源速率監(jiān)測系統(tǒng),其特征在于:

所述阻擋裝置包括兩個滾軸、驅(qū)動所述滾軸的驅(qū)動裝置、以及質(zhì)軟的、且繞在兩個所述滾軸上形成環(huán)狀的擋板;

所述驅(qū)動裝置為電機驅(qū)動組件。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可移動的線性蒸發(fā)源速率監(jiān)測系統(tǒng),其特征在于:

包括移動裝置、蒸鍍速率監(jiān)測裝置和蒸鍍材料阻擋裝置;

所述監(jiān)測裝置為石英晶體振蕩器組件。

5.一種蒸鍍設(shè)備,其特征在于:

包括權(quán)利要求1-4中任一項所述的線性蒸發(fā)源速率監(jiān)測系統(tǒng)。

當(dāng)前第2頁1 2 3 
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1