1.一種可移動的線性蒸發(fā)源速率監(jiān)測系統(tǒng),其特征在于:
包括移動裝置、蒸鍍速率監(jiān)測裝置和蒸鍍材料阻擋裝置;
所述移動裝置為與蒸發(fā)源噴嘴并排形成的直線平行的滑軌;
所述監(jiān)測裝置滑動設(shè)置于所述滑軌上,且其監(jiān)測頭朝向所述蒸發(fā)源噴嘴;
所述阻擋裝置包括兩個滾軸、驅(qū)動所述滾軸的驅(qū)動裝置、以及質(zhì)軟的、且繞在兩個所述滾軸上形成環(huán)狀的擋板;所述擋板位于所述滑軌與噴嘴之間,且所述滑軌朝向所述噴嘴投向所述擋板的投影完全落入所述擋板上;所述監(jiān)測裝置固定于所述擋板上,且在所述擋板上開設(shè)有供所述監(jiān)測裝置的監(jiān)測頭伸出的通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可移動的線性蒸發(fā)源速率監(jiān)測系統(tǒng),其特征在于:
所述擋板位于所述噴嘴的噴射軌跡以外。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種可移動的線性蒸發(fā)源速率監(jiān)測系統(tǒng),其特征在于:
所述阻擋裝置包括兩個滾軸、驅(qū)動所述滾軸的驅(qū)動裝置、以及質(zhì)軟的、且繞在兩個所述滾軸上形成環(huán)狀的擋板;
所述驅(qū)動裝置為電機驅(qū)動組件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可移動的線性蒸發(fā)源速率監(jiān)測系統(tǒng),其特征在于:
包括移動裝置、蒸鍍速率監(jiān)測裝置和蒸鍍材料阻擋裝置;
所述監(jiān)測裝置為石英晶體振蕩器組件。
5.一種蒸鍍設(shè)備,其特征在于:
包括權(quán)利要求1-4中任一項所述的線性蒸發(fā)源速率監(jiān)測系統(tǒng)。