本實用新型涉及蒸發(fā)源技術領域，尤其涉及一種線性蒸發(fā)源。

背景技術：

在大尺寸AMOLED(Active-matrix Organic Light-Emitting Diode,有機發(fā)光二極管)生產(chǎn)中，需要對AMOLED進行蒸鍍加工。蒸鍍是指將待成膜的物質置于真空中進行蒸發(fā)或升華，使之在工件或基片表面析出的過程。蒸鍍設備主要以線性蒸發(fā)源蒸鍍?yōu)橹?，其主要方式是在高真空條件下通過加熱絲加熱對線性蒸發(fā)源內材料進行升溫，使有機材料從固態(tài)變成氣態(tài)，氣態(tài)有機材料通過蒸發(fā)源的噴嘴中噴射出去，氣態(tài)有機材料遇到坩堝上方的常溫基板后，遇冷凝華在玻璃基板表面，完成蒸鍍加工。

線性蒸發(fā)源的加熱方式一般為恒流加熱，但因坩堝不同位置電阻絲阻值存在差異性，在坩堝加熱過程中坩堝不同位置的熱量和溫度存在差異性，從而使坩堝不同位置升華的有機氣體分子數(shù)量和溫度存在差異性。有機分子熱動能不一致，從而使不同位置噴嘴噴出的有機分子蒸鍍速率不同，導致鍍膜均勻性較差。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型的發(fā)明目的在于提供一種鍍膜均勻性好的線性蒸發(fā)源，采用本實用新型提供的技術方案解決了坩堝不同位置的熱量和溫度存在差異性導致噴嘴噴出的有機分子蒸鍍速率不同的技術問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種線性蒸發(fā)源，包括用于加熱有機材料的密封坩堝、多個設置于所述坩堝上開口的噴嘴、以及在所述坩堝內設置的、且與多個噴嘴形成的平面平行的混合板和分流板；所述噴嘴與所述坩堝內連通；所述混合板和分流板的側邊與所述坩堝的內側壁密封連接，并自所述坩堝的底部至上開口依次設置，將所述坩堝內分隔成加熱腔、混合腔和分流腔；在所述混合板的中心位置開設有連通所述加熱腔和混合腔的通道；在所述分流板上均勻開設有連通所述混合腔和分流腔的通孔。

優(yōu)選的，所述混合板和分流板的形狀與所述坩堝的水平截面形狀相一致。

優(yōu)選的，所述混合板和分流板的形狀為長方形。

優(yōu)選的，所述混合板的下部鏤空，所述通道開設于上部的中間位置；或者上部鏤空，所述通道開設于下部的中間位置。

優(yōu)選的，在所述混合板上的通道的尺寸為所述混合板平面面積的5％～30％。

優(yōu)選的，所述通道的形狀為圓形、橢圓和多邊形中的一種。

優(yōu)選的，所述分流板的下部鏤空，所述通孔分布與所述分流板的下部，呈中間對稱分布。

優(yōu)選的，所述通孔的大小為2mm～50mm。

優(yōu)選的，所述通孔的形狀為圓形、橢圓和多邊形中的一種或多種。

優(yōu)選的，所述混合板和分流板材質為銅或者鈦。

由上可見，應用本實用新型實施例的技術方案，有如下有益效果：本實用新型提供的線性蒸發(fā)源在混合板中心位置開設有通道，蒸鍍氣體通過該通道達到平衡蒸發(fā)源不同位置因加熱不均導致的蒸鍍氣體的溫度差的效果，使混合腔內的有機蒸汽溫度保持一致，然后通過上部的分流板來分流混合后的有機蒸汽，使有機蒸汽從噴嘴吐出后，沉積的有機薄膜更均勻，提升蒸鍍均勻性；鍍膜均勻性可達到2％以內；本實用新型結構簡單，設備制造成本低，可適用于工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)應用。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對本實用新型實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一部分實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例剖視圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚地描述。

線性蒸發(fā)源的加熱方式一般為恒流加熱，在坩堝加熱過程中坩堝不同位置的熱量和溫度存在差異性，從而使坩堝不同位置升華的有機氣體分子數(shù)量和溫度存在差異性。有機分子熱動能不一致，從而使不同位置噴嘴噴出的有機分子蒸鍍速率不同，導致鍍膜均勻性較差。

請參見圖1，為了解決上述技術問題，本實施例公開了一種線性蒸發(fā)源，其包括坩堝10、噴嘴20、混合板30和分流板40。

坩堝10內的底部用于放置并加熱有機材料，令有機材料從固態(tài)升華成氣態(tài)，為避免有機氣體泄漏，該坩堝10需是密封設置。

噴嘴20設置于坩堝10的上開口處，并與坩堝10內連通，噴嘴20的數(shù)量為多個，且形成一個平面。

混合板30和分流板40設置在坩堝10內，并且與多個噴嘴20形成的平面平行，混合板30和分流板40自坩堝10的底部至上開口依次設置，將坩堝10內分隔成加熱腔11、混合腔12和分流腔13。

由于該線性蒸發(fā)源在工作過程中，加熱腔11、混合腔12和分流腔13內會充滿有機氣體，為了避免有機氣體泄漏，混合板30和分流板40的側邊均需要與坩堝的內側壁密封連接。混合板30和分流板40的形狀與坩堝10的水平截面形狀相一致。坩堝10的形狀為長方形，混合板30和分流板40的形狀則為與之對應的長方形。為了避免坩堝10內的高溫對混合板30和分流板40造成影響，混合板30和分流板40材質可以為銅或鈦等耐高溫材料。

在混合板30的中心位置開設有連通加熱腔11和混合腔12的通道31；在分流板40上均勻開設有連通混合腔12和分流腔13的通孔41。

其中在混合板30上的通道31的尺寸為混合板30平面面積的5％～30％，其形狀可以為不規(guī)則形狀，也可以為規(guī)則形狀，如圓形、橢圓和多邊形中的一種?；旌习?0的下部鏤空，通道31開設于上部的中間位置；或者上部鏤空，通道31開設于下部的中間位置。

在分流板40上的通孔41的大小為2mm～50mm，其形狀同樣可以為不規(guī)則形狀，也可以為規(guī)則形狀，與通道31不同的是，該通孔41的形狀可以同時存在多種，如圓形、橢圓和多邊形中的一種或多種。分流板40的下部鏤空，通孔41分布與分流板40的下部，呈中間對稱分布。

本實施例提供的線性蒸發(fā)源工作過程如下，將固態(tài)有機材料放置在坩堝10內的底部，即在加熱腔11內，坩堝10對固態(tài)有機材料進行加熱，使有機材料從固態(tài)變成氣態(tài)，有機氣體蔓延至整個加熱腔11內，由于坩堝10內不同位置的熱量和溫度存在差異性，造成加熱腔11內的有機氣體熱動能不一致，熱動能不一致的有機氣體從混合板30的通道31內通過，在通道31內進行初步混合，初步混合后的有機氣體進入混合腔12后進一步混合，形成熱動能一致的有機氣體，再通過分流板40的通孔41，使得熱動能一致的有機氣體均勻分布在分流腔13內，熱動能一致的有機氣體通過噴嘴20噴出，形成速率相同的有機氣體束，使得蒸鍍速率相同，提高鍍膜均勻性。

本實施例提供的線性蒸發(fā)源在混合板30中心位置開設有通道31，蒸鍍氣體通過該通道31達到平衡蒸發(fā)源不同位置因加熱不均導致的蒸鍍氣體的溫度差的效果，使混合腔11內的有機蒸汽溫度保持一致，然后通過上部的分流板40來分流混合后的有機蒸汽，使有機蒸汽從噴嘴20吐出后，沉積的有機薄膜更均勻，提升蒸鍍均勻性；鍍膜均勻性可達到2％以內；本實用新型結構簡單，設備制造成本低，可適用于工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)應用。

以上所述的實施方式，并不構成對該技術方案保護范圍的限定。任何在上述實施方式的精神和原則之內所作的修改、等同替換和改進等，均應包含在該技術方案的保護范圍之內。