技術(shù)編號(hào)：12769531
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及蒸發(fā)源技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種線性蒸發(fā)源。背景技術(shù)在大尺寸AMOLED(Active-matrixOrganicLight-EmittingDiode,有機(jī)發(fā)光二極管)生產(chǎn)中，需要對(duì)AMOLED進(jìn)行蒸鍍加工。蒸鍍是指將待成膜的物質(zhì)置于真空中進(jìn)行蒸發(fā)或升華，使之在工件或基片表面析出的過程。蒸鍍?cè)O(shè)備主要以線性蒸發(fā)源蒸鍍?yōu)橹?，其主要方式是在高真空條件下通過加熱絲加熱對(duì)線性蒸發(fā)源內(nèi)材料進(jìn)行升溫，使有機(jī)材料從固態(tài)變成氣態(tài)，氣態(tài)有機(jī)材料通過蒸發(fā)源的噴嘴中噴射出去，氣態(tài)有機(jī)材料遇到坩堝上方的常溫基...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。