技術(shù)編號(hào)：12769549
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及蒸發(fā)源技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種可移動(dòng)的線性蒸發(fā)源速率監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及其蒸鍍?cè)O(shè)備。背景技術(shù)在OLED(OrganicLight-EmittingDiode,有機(jī)發(fā)光二極管中)生產(chǎn)中，需要通過蒸鍍?cè)O(shè)備進(jìn)行蒸鍍加工?，F(xiàn)有的蒸鍍?cè)O(shè)備主要分為線源蒸鍍和點(diǎn)源蒸鍍。由于線性源的材料利用率高，大尺寸基板的OLED蒸鍍?cè)O(shè)備基本采用線源蒸鍍的方式。目前蒸鍍?cè)O(shè)備監(jiān)測(cè)膜厚的方法是采用石英晶體振蕩監(jiān)測(cè)法和光學(xué)膜厚監(jiān)測(cè)法結(jié)合方法來監(jiān)測(cè)薄膜生產(chǎn)的準(zhǔn)確性和重復(fù)性，但固定位置的單點(diǎn)石英晶體振蕩監(jiān)測(cè)法很難及時(shí)發(fā)現(xiàn)線性源在生產(chǎn)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。