技術(shù)總結(jié)
一種蒸鍍裝置，適用于將一種蒸鍍源蒸鍍到一個基板上，并包含一個腔體、一個用于加熱該蒸鍍源并使其蒸鍍到該基板上的加熱模塊、一個供該蒸鍍源置放的供料模塊，及一個設置于該腔體內(nèi)且供該供料模塊安裝的更換模塊。當該供料模塊內(nèi)的蒸鍍源在用完后且須更換時，可通過該更換模塊的作動而使該供料模塊移至該腔體外來作業(yè)，在整個更換過程中不會去觸碰到其余的模塊及零件，避免人為誤觸造成的裝置損壞，而且，在腔體外的操作空間更為寬闊，讓更換過程更為輕松便利。

技術(shù)研發(fā)人員：郭金柱;方振籛;鄭博仁;黃泳釗
受保護的技術(shù)使用者：威欣系統(tǒng)股份有限公司
文檔號碼：201621291055
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.29
技術(shù)公布日：2017.06.06