本實(shí)用新型涉及一種蒸鍍裝置，特別是涉及一種對蒸鍍源進(jìn)行加熱并使其蒸鍍到基板上而形成薄膜的蒸鍍裝置。

背景技術(shù)：

已知的蒸鍍裝置包含一個(gè)腔體，及分別安裝在該腔體內(nèi)的一個(gè)加熱模塊及一個(gè)供料模塊。進(jìn)行蒸鍍前，將一個(gè)待蒸鍍的基板傳送至該腔體內(nèi)，再將欲蒸鍍的蒸鍍源放置于該加熱模塊及該供料模塊內(nèi)，并將該腔體抽氣到一個(gè)可鍍膜的真空狀態(tài)。蒸鍍時(shí)，該加熱模塊將該蒸鍍源加熱至氣態(tài)并蒸發(fā)，且散布于該腔體內(nèi)，呈氣態(tài)的蒸鍍源材料會附著于該基板上并形成一層薄膜。而該供料模塊用于補(bǔ)充該蒸鍍源于該加熱模塊內(nèi)的存量，而使該加熱模塊可持續(xù)工作而不間斷。

然而，該蒸鍍裝置的缺點(diǎn)在于，該供料模塊是固定設(shè)置于該腔體內(nèi)，當(dāng)該蒸鍍源的存量已經(jīng)用完而需要更換時(shí)，需要將整個(gè)蒸鍍裝置停機(jī)，并且將該腔體破真空以將新的蒸鍍源放入該供料模塊內(nèi)，而因?yàn)樵撉惑w內(nèi)的空間狹小，作業(yè)人員于該腔體內(nèi)進(jìn)行更換時(shí)，除了操作困難外，也容易因不小心碰撞到周圍的精密零件而造成蒸鍍裝置的損壞，所以已知的蒸鍍裝置在更換蒸鍍源的設(shè)計(jì)上仍有需要改進(jìn)的空間。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種可快速、便利地更換蒸鍍源的蒸鍍裝置。

本實(shí)用新型的蒸鍍裝置，適用于將一種蒸鍍源蒸鍍到一個(gè)基板上，并包含一個(gè)用于容置該基板的腔體、一個(gè)設(shè)置于該腔體內(nèi)并供該蒸鍍源置放的加熱模塊，及一個(gè)設(shè)置于該腔體內(nèi)并供該蒸鍍源置放的供料模塊，該加熱模塊用于加熱該蒸鍍源并使其蒸鍍到該基板上，該供料模塊包括至少一個(gè)用于傳送該蒸鍍源至該加熱模塊的供料單元，該蒸鍍裝置還包含一個(gè)設(shè)置于該腔體內(nèi)并供該供料模塊安裝的更換模塊，該更換模塊能帶動(dòng)該供料模塊進(jìn)出該腔體。

本實(shí)用新型所述的蒸鍍裝置，該加熱模塊包括至少一個(gè)加熱單元，該至少一個(gè)加熱單元具有一個(gè)用于承載該蒸鍍源的承載件，及一個(gè)用于加熱該承載件及該蒸鍍源的加熱件。

本實(shí)用新型所述的蒸鍍裝置，該蒸鍍源是一種線材，該至少一個(gè)供料單元具有一個(gè)用于供該蒸鍍源卷繞儲存的儲料滾輪、一個(gè)用于自該儲料滾輪牽引該蒸鍍源的傳送輪、一個(gè)用于驅(qū)動(dòng)該傳送輪的馬達(dá)、一個(gè)兩端分別鄰近于該加熱模塊及該傳送輪且供該蒸鍍源穿透經(jīng)過的導(dǎo)引管，及一個(gè)位于該傳送輪及該儲料滾輪間且用于導(dǎo)正該蒸鍍源傳送方向的校正件。

本實(shí)用新型所述的蒸鍍裝置，該加熱模塊包括數(shù)個(gè)相鄰的加熱單元，該供料模塊具有數(shù)個(gè)分別對應(yīng)所述加熱單元的供料單元。

本實(shí)用新型的蒸鍍裝置，該更換模塊包括一個(gè)固定地設(shè)置于該腔體內(nèi)的滑軌，以及一個(gè)能移動(dòng)地設(shè)置于該滑軌上，并供該供料模塊安裝的底座。

本實(shí)用新型所述的蒸鍍裝置，該腔體包括一個(gè)界定出一個(gè)腔室的腔壁單元，以及一個(gè)用于打開或關(guān)閉該腔室的閥門，該腔壁單元具有一個(gè)與該閥門間隔相對的基壁，該滑軌自該基壁朝該閥門延伸。

本實(shí)用新型的有益效果在于：通過該更換模塊可帶動(dòng)該供料模塊進(jìn)出該腔體，當(dāng)該供料模塊內(nèi)的蒸鍍源用完而須更換時(shí)，可通過該更換模塊的作動(dòng)而使該供料模塊移至該腔體外來作業(yè)，在整個(gè)更換過程中不會去誤觸到其余的模塊及零件，避免人為誤觸造成的裝置損壞，而且，在腔體外的操作空間更為寬闊，讓更換過程更為輕松便利且快速。

附圖說明

本實(shí)用新型的其他的特征及功效，將于參照圖式的實(shí)施方式中清楚地呈現(xiàn)，其中：

圖1是一立體圖，說明本實(shí)用新型蒸鍍裝置的一實(shí)施例；

圖2是一局部剖視圖，說明該實(shí)施例與一基板及一蒸鍍源于安裝后的狀態(tài)；

圖3是一立體圖，說明該蒸鍍源與該實(shí)施例的一腔壁單元、一加熱模塊、一供料模塊，及一更換模塊于安裝后的狀態(tài)；

圖4是一立體圖，說明該蒸鍍源與該實(shí)施例的該供料模塊安裝后的狀態(tài)；

圖5是一立體圖，說明該蒸鍍源與該實(shí)施例的該供料模塊的一供料單元的一馬達(dá)、一傳送輪，及一導(dǎo)引管于安裝后的狀態(tài)；

圖6是一立體圖，說明該蒸鍍源與該實(shí)施例的該腔壁單元、該加熱模塊、該供料模塊及該更換模塊于安裝后，且該供料模塊通過該更換模塊向外移出該腔體的狀態(tài)。

具體實(shí)施方式

參閱圖1至圖3，本實(shí)用新型蒸鍍裝置的一實(shí)施例，適用于將一種蒸鍍源6蒸鍍到一個(gè)基板5上。該蒸鍍源6的材質(zhì)可為純金屬、合金或是金屬氧化物，在本實(shí)施例中，該蒸鍍源6是一種呈長線狀且可卷繞的線材。而該基板5可為玻璃基板，或是半導(dǎo)體制程中的硅晶圓等等。該蒸鍍裝置包含一個(gè)腔體1，及設(shè)置于該腔體1內(nèi)的一個(gè)加熱模塊2、一個(gè)供料模塊3與一個(gè)更換模塊4。

該腔體1包括一個(gè)供該基板5置放的載座14、一個(gè)位于該載座14下方且界定出一個(gè)腔室12的腔壁單元11、一個(gè)用于打開或是關(guān)閉該腔室12的閥門13，及一個(gè)連通于該載座14及該腔室12的通道15。該載座14具有一個(gè)供該基板5置放的載座室141，而該載座室141通過該通道15與該腔室12相連通。該腔壁單元11包括一個(gè)大致水平的底壁111、兩個(gè)由該底壁111的左右相對兩側(cè)向上延伸的側(cè)壁112，及一個(gè)由該底壁111后側(cè)向上延伸且與所述側(cè)壁112相接的基壁113。該閥門13與該基壁113間隔相對地連接于該腔壁單元11的該底壁111及所述側(cè)壁112前側(cè)。該腔壁單元11、該閥門13及該載座14相配合并使該腔室12及該載座室141與外部空間相隔絕。

該加熱模塊2包括九個(gè)彼此前后相鄰且間隔排列的加熱單元21，每一個(gè)加熱單元21具有一個(gè)用于承載該蒸鍍源6的承載件211，及一個(gè)用于加熱該承載件211及該蒸鍍源6的加熱件212。該承載件211為耐高溫且可存放熔融態(tài)金屬的材質(zhì)所組成，例如坩堝或是鎢舟等等。該加熱件212采用的加熱方式可為電阻加熱、電子束加熱或是激光加熱等等。

參閱圖3至圖5，該供料模塊3包括一個(gè)前后向延伸的基座32，以及九個(gè)前后相鄰地安裝在該基座32上，且分別與所述加熱單元21相對應(yīng)的供料單元31。每一個(gè)供料單元31包括一個(gè)供該蒸鍍源6卷繞儲存的儲料滾輪311、一個(gè)用于自該儲料滾輪311牽引該蒸鍍源6的傳送輪312、一個(gè)用于驅(qū)動(dòng)該傳送輪312轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)313、一個(gè)呈長管狀且兩端分別鄰近于該加熱模塊2及該傳送輪312并供該蒸鍍源6穿透經(jīng)過的導(dǎo)引管314，及一個(gè)位于該儲料滾輪311及該傳送輪312間的校正件315，該校正件315具有一個(gè)形成于該蒸鍍源6的行進(jìn)路徑上且用于導(dǎo)正該蒸鍍源6行進(jìn)方向的校正槽316。應(yīng)當(dāng)注意的是，在本實(shí)施例的其他變化態(tài)樣中，該加熱單元21與該供料單元31的數(shù)量搭配不以九個(gè)為限，而彼此間的對應(yīng)數(shù)量也可有所變化，例如一個(gè)加熱單元21對應(yīng)一個(gè)供料單元31，或是一個(gè)加熱單元21對應(yīng)數(shù)個(gè)供料單元31等等。另外，本實(shí)施例的蒸鍍源6數(shù)量可以搭配所述供料單元31的數(shù)量，所以總共可設(shè)有9個(gè)分別卷繞于所述供料單元31上的蒸鍍源6線材。

參閱圖1至圖3，該更換模塊4包括一個(gè)固定地設(shè)置于該底壁111上的滑軌42，及一個(gè)可移動(dòng)地設(shè)置于該滑軌42上，并安裝于該供料模塊3的基座32底部的底座41。該滑軌42的方向是由該基壁113朝該閥門13的方向前后向延伸，當(dāng)該閥門13打開時(shí)，該底座41可受到驅(qū)動(dòng)而沿著該滑軌42的方向朝外移動(dòng)并伸出該腔室12。當(dāng)然，在本實(shí)施例的其他變化態(tài)樣中，該更換模塊4也可采用滾輪與滑槽的方式來帶動(dòng)該供料模塊3移動(dòng)，也能達(dá)到相同的效果。

使用時(shí)，該加熱單元21中的該加熱件212對該承載件211及該承載件211內(nèi)的蒸鍍源6進(jìn)行加熱，該蒸鍍源6被加熱至熔融態(tài)后，部分的蒸鍍源6材料會以氣態(tài)的型式散布于該腔室12及該載座室141內(nèi)，并附著于位于該載座室141內(nèi)的基板5上并形成薄膜。

當(dāng)位于該加熱單元21內(nèi)的蒸鍍源6在持續(xù)加熱蒸鍍下而變少時(shí)，該供料模塊3的該供料單元31會補(bǔ)充新的蒸鍍源6到該加熱單元21內(nèi)。由該馬達(dá)313帶動(dòng)該傳送輪312轉(zhuǎn)動(dòng)，并驅(qū)使該蒸鍍源6通過該導(dǎo)引管314并移動(dòng)到該加熱單元21附近，因該加熱單元21為高溫狀態(tài)，所以該蒸鍍源6會被加熱至熔融態(tài)并落入該承載件211中，達(dá)到持續(xù)補(bǔ)充蒸鍍源6的功效。而當(dāng)該蒸鍍源6被該馬達(dá)313驅(qū)動(dòng)時(shí)，卷繞于該儲料滾輪311內(nèi)的蒸鍍源6會被持續(xù)地牽引而出，并經(jīng)過該校正件315的校正槽316限位后，傳送到該傳送輪312并反復(fù)以上的動(dòng)作。

參閱圖1、圖2及圖6，當(dāng)該供料模塊3的該儲料滾輪311內(nèi)的蒸鍍源6已經(jīng)用完時(shí)，使用者可先通入氣體并解除該腔室12內(nèi)的真空狀態(tài)，此時(shí)可打開該閥門13并朝外拉動(dòng)該供料模塊3，而通過該更換模塊4的該底座41以及該滑軌42的作動(dòng)，該供料模塊3可沿著該滑軌42的方向向外移出該腔室12。此時(shí)，使用者即可輕易地更換每一個(gè)供料單元31內(nèi)的蒸鍍源6，而不會誤觸該腔體1內(nèi)的其他模塊，讓更換上更為方便。

由上述可知，本實(shí)用新型蒸鍍裝置的供料模塊3在更換蒸鍍源6時(shí)，可通過該更換模塊4的作動(dòng)而移至該腔體1外來作業(yè)，在整個(gè)更換過程中不會去觸碰到其余的模塊及零件，避免人為誤觸所造成的裝置損壞，而且作業(yè)人員不用在腔體1內(nèi)的有限空間進(jìn)行更換作業(yè)，在腔體1外的操作空間更為寬闊，讓更換過程更為輕松便利，所以確實(shí)能達(dá)成本實(shí)用新型的目的。

以上所述者，僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例而已，當(dāng)不能以此限定本實(shí)用新型實(shí)施的范圍，即凡依本實(shí)用新型權(quán)利要求書及說明書內(nèi)容所作的簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本實(shí)用新型的范圍。