本實用新型涉及硅單晶加工領域，尤其涉及一種硅晶體平面磨削裝置。

背景技術：

近年來，硅晶體加工領域提高硅片加工精度，降低硅片厚度，已成為降低硅片成本的重要方法。本實用新型提供了一種硅晶體平面磨削裝置，能有效去除硅晶體方棒表面缺陷，提高方棒四面垂直度、保證方棒尺寸精度，提高方棒表面光潔度，有效的提高了方棒超薄線切的可加工性，降低了硅片的碎片率，提高了單位長度硅晶體方棒的硅片出產率。

技術實現要素：

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種硅晶體平面磨削裝置。

為解決上述問題，本實用新型所采取的技術方案是：

一種硅晶體平面磨削裝置，其關鍵技術在于：其包括拖動行走單元、主軸單元和主軸驅動單元；所述拖動行走單元包括拖動單元底板、拖動單元上板和主軸座，所述拖動單元底板上裝有直線導軌、拖動行走電機和絲杠傳動機構，所述拖動單元上板與所述直線導軌滑動配合，所述絲杠傳動機構與所述拖動單元上板連接，所述主軸座與所述拖動單元上板固定，拖動行走電機通過絲杠傳動機構驅動所述拖動單元上板和主軸座進行水平移動；所述主軸單元包括安裝在主軸座上的主軸，所述主軸的輸入端固定設置有從動帶輪，輸出端通過砂輪架設置有磨削砂輪；所述主軸驅動單元包括固定設置在所述主軸座上的主軸驅動電機和設置在所述主軸驅動電機輸出軸端部的主動帶輪，所述主動帶輪和從動帶輪通過多楔帶傳動連接。

作為本實用新型的進一步改進，還包括外圍防護裝置，所述外圍防護裝置包括主軸防塵罩、導軌防塵罩和電機護罩，所述電機護罩設置在主動帶輪、多楔帶和從動帶輪外部。

作為本實用新型的進一步改進，所述砂輪架通過法蘭固定設置在所述主軸上，所述法蘭上設置有冷卻水噴頭，所述冷卻水噴頭的出水部位與所述磨削砂輪相對應。

作為本實用新型的進一步改進，所述主軸座上通過調節(jié)螺柱設置有電機可調支撐板，所述主軸驅動電機設置在所述電機可調支撐板上。

作為本實用新型的進一步改進，所述拖動單元底板上固定設置有多個行程傳感器，所述拖動單元上板上設置有與所述行程傳感器相適配的行程限位塊。

采用上述技術方案所產生的有益效果在于：

本實用新型涉及一種硅晶體平面磨削裝置，屬于硅單晶加工領域，所述硅晶體平面磨削裝置，通過電機驅動主軸帶動軸端砂輪實現了對硅晶體方棒的磨削加工。本實用新型通過更換不同目數的砂輪對方棒表面進行磨削，實現了對方棒外形尺寸及表面光潔度的修正。

本實用新型結構簡單，電機驅動力強勁，能給予磨削砂輪足夠的驅動力實現對晶硅方棒的磨削及修整。通過對砂輪目數的調整，滿足了對晶硅方棒表面光潔度的要求。

所述拖動行走單元通過電機驅動精密導軌及絲杠，實現了砂輪進給位置的精確控制，確保了晶硅方棒加工尺寸的準確。

所述主軸驅動單元通過多楔帶驅動主軸單元旋轉完成磨削動作，有效地避免了砂輪抱死等對設備的不良影響。

所述外圍防護裝置避免了磨床水、粉塵等惡略作業(yè)環(huán)境對關鍵機械部件的侵蝕，能有效提高設備的使用壽命，電機護罩能對旋轉部件進行安全防護。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型具體實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對具體實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施方式，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖。

圖1是本實用新型的主視結構示意圖。

圖2是本實用新型的側視結構示意圖。

其中：1電機護罩、2主軸驅動電機、3主動帶輪、4多楔帶、5主軸、6從動帶輪、7主軸座、8拖動單元上板、9拖動行走電機、10聯軸器、11拖動單元底板、13絲杠傳動機構、14直線導軌、15導軌防塵罩、16磨頭調整墊、17砂輪架、18磨削砂輪、19冷卻水噴頭、20冷卻水進口、21法蘭、22主軸防塵罩、23調節(jié)螺柱、24電機可調支撐板、25機床護罩、26主軸防塵護罩壓板、27行程限位塊、28行程傳感器、29磨床。

具體實施方式

為使本實用新型的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面結合附圖和具體實施例對實用新型進行清楚、完整的描述。

如圖1和2所示的一種硅晶體平面磨削裝置，其包括拖動行走單元、主軸單元和主軸驅動單元；所述拖動行走單元包括固定在磨床29上的拖動單元底板11、拖動單元上板8和主軸座7，所述拖動單元底板11上裝有直線導軌14、拖動行走電機9和絲杠傳動機構13，所述拖動單元上板8與所述直線導軌14滑動配合，所述絲杠傳動機構13與所述拖動單元上板8連接，所述主軸座7與所述拖動單元上板8固定，主軸座7和拖動單元上板8之間設置有磨頭調整墊16；拖動行走電機9的輸出軸通過聯軸器10與所述絲杠傳動機構13連接，拖動行走電機9通過絲杠傳動機構13驅動所述拖動單元上板8和主軸座7進行水平移動。

所述主軸單元包括安裝在主軸座7上的主軸5，所述主軸5的輸入端固定設置有從動帶輪6，輸出端通過砂輪架17設置有磨削砂輪18；所述砂輪架17通過法蘭21固定設置在所述主軸5上，所述法蘭21上設置有冷卻水噴頭19，所述冷卻水噴頭19的出水部位與所述磨削砂輪18相對應。法蘭21上設置有與所述冷卻水噴頭19相通的冷卻水進口20。

所述主軸驅動單元包括固定設置在所述主軸座7上的主軸驅動電機2和設置在所述主軸驅動電機2輸出軸端部的主動帶輪3，所述主動帶輪3和從動帶輪6通過多楔帶4傳動連接。

本實用新型還包括外圍防護裝置，所述外圍防護裝置包括主軸防塵罩22、導軌防塵罩15、電機護罩1、機床防護罩25和主軸防塵護罩壓板26，所述電機護罩1設置在主動帶輪3、多楔帶4和從動帶輪6外部。所述主軸防塵罩22設置在主軸5的輸出端一側。

所述主軸座7上通過調節(jié)螺柱23設置有電機可調支撐板24，所述主軸驅動電機2設置在所述電機可調支撐板24上，主軸驅動電機2與主軸中心距可通過調節(jié)螺柱23調整。

所述拖動單元底板11上固定設置有多個行程傳感器28，所述拖動單元上板8上設置有與所述行程傳感器28相適配的行程限位塊27。所述行程傳感器28位三個，分別設置在裝置行程的起點、中點和終點位置，行程限位塊27通過觸發(fā)相應位置的行程傳感器28來控制校準位置。

最后應說明的是：以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案，而非對其限制；盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領域的普通技術人員應當理解：其依然可以對前述實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應技術方案的本質脫離本實用新型實施例技術方案的精神和范圍。