技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型揭示了一種用于減少活塞環(huán)PVD涂層表面缺陷的屏蔽裝置，包括底座及與設(shè)置在其下方的電機(jī)和分度回轉(zhuǎn)裝置，所述分度回轉(zhuǎn)裝置上裝有一組傳動(dòng)裝置；所述底座上有一通過螺孔連接的立柱并與所述底座垂直，所述立柱的頂部裝有一通過連接螺孔連接的屏蔽罩，且所述屏蔽罩與所述底座平行，所述立柱四周裝有與所述立柱距離相等且平行的一組夾具，所述夾具組合體所覆蓋的面積小于或等于其正上方所述屏蔽罩的面積。本實(shí)用新型的有益效果主要體現(xiàn)在：一次性有效屏蔽設(shè)備內(nèi)部掉落的膜層碎屑等雜質(zhì)，減少涂層缺陷產(chǎn)生，解決了絕大部分的缺陷問題，使其不良率降低到1%不到，良率有了大幅提高，且效果持續(xù)穩(wěn)定，確保高合格率的用于活塞環(huán)PVD涂層的屏蔽裝置。

技術(shù)研發(fā)人員：柏洋;吳其濤;陳海波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：星弧涂層新材料科技（蘇州）股份有限公司
文檔號(hào)碼：201621075471
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.24
技術(shù)公布日：2017.05.17