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一種用于減少活塞環(huán)PVD涂層表面缺陷的屏蔽裝置的制作方法

文檔序號(hào):11901194閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用于減少活塞環(huán)PVD涂層表面缺陷的屏蔽裝置,其特征在于,包括底座(4)及與設(shè)置在其下方的電機(jī)(6)和分度回轉(zhuǎn)裝置(5),所述分度回轉(zhuǎn)裝置(5)上裝有一組傳動(dòng)裝置;所述底座(4)上有一通過螺孔連接的立柱(2)并與所述底座(4)垂直,所述立柱(2)的頂部裝有一通過連接螺孔連接的屏蔽罩(1),且所述屏蔽罩(1)與所述底座(4)平行,所述立柱(2)四周裝有與所述立柱(2)距離相等且平行的一組夾具(3),所述夾具(3)組合體所覆蓋的面積小于或等于其正上方所述屏蔽罩(1)的面積。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于減少活塞環(huán)PVD涂層表面缺陷的屏蔽裝置,其特征在于,所述夾具(3)有一自轉(zhuǎn)立軸,所述傳動(dòng)裝置與該自轉(zhuǎn)立軸一一耦合,并驅(qū)動(dòng)所述夾具(3)相對(duì)于所述底座(4)自轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于減少活塞環(huán)PVD涂層表面缺陷的屏蔽裝置,其特征在于,所述底座(4)與所述電機(jī)(6)的電機(jī)軸固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于減少活塞環(huán)PVD涂層表面缺陷的屏蔽裝置,其特征在于,所述立柱(2)的長(zhǎng)度大于所述夾具(3)的長(zhǎng)度20-30mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于減少活塞環(huán)PVD涂層表面缺陷的屏蔽裝置,其特征在于,所述分度回轉(zhuǎn)裝置(5)上裝有十二等分的傳動(dòng)裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于減少活塞環(huán)PVD涂層表面缺陷的屏蔽裝置,其特征在于,所述屏蔽罩(1)上設(shè)有貫穿缺口(7)。

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