1.一種大口徑非球面輪廓加工檢測(cè)一體化裝置，其特征在于：包括基座(1)、精密直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)(2)、精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)、直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)誤差激光監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(4)、氣浮工作臺(tái)調(diào)整系統(tǒng)(11)、傳感測(cè)量系統(tǒng)(5)、直線運(yùn)動(dòng)誤差探測(cè)模塊(6)和研拋關(guān)節(jié)臂(7)；
其中，精密直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)(2)、精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)、直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)誤差激光監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(4)、研拋關(guān)節(jié)臂(7)固定在基座(1)上，非球面元件(10)同軸放置于精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)上；精密直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)(2)位于精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)一側(cè)的下方；直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)誤差激光監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(4)與精密直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)(2)平行放置，其直線運(yùn)動(dòng)誤差探測(cè)模塊(6)與傳感測(cè)量系統(tǒng)(5)固結(jié)在一起，隨傳感測(cè)量系統(tǒng)(5)一起運(yùn)動(dòng)；傳感測(cè)量系統(tǒng)(5)固定在和精密直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)(2)的軸套(8)相連的橫向測(cè)量臂(9)上，并可隨軸套(8)作一維直線運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)過程中傳感測(cè)量系統(tǒng)(5)與精密直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)(2)的運(yùn)動(dòng)方向垂直。
2.一種大口徑非球面輪廓加工檢測(cè)一體化方法，其特征在于：利用研拋關(guān)節(jié)臂(7)依據(jù)設(shè)定的工藝加工參數(shù)對(duì)置于精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)上的非球面元件(10)進(jìn)行反復(fù)研拋；利用傳感測(cè)量系統(tǒng)(5)對(duì)非球面元件(10)工作表面進(jìn)行掃描檢測(cè)，在掃描的同時(shí)利用直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)誤差激光監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(4)分離、補(bǔ)償精密直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)(2)的直線運(yùn)動(dòng)誤差，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的直線掃描運(yùn)動(dòng)，得到非球面元件(10)沿母線方向(15)上的輪廓；計(jì)算機(jī)研拋測(cè)量控制系統(tǒng)(12)控制精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)轉(zhuǎn)動(dòng)不同的角度，實(shí)現(xiàn)非球面元件(10)面形輪廓的高精度檢測(cè)；計(jì)算機(jī)研拋測(cè)量控制系統(tǒng)(12)依據(jù)測(cè)得輪廓數(shù)據(jù)來確定研拋關(guān)節(jié)臂(7)的加工路徑和研磨量，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)非球面元件(10)的高精度輪廓一體化加工檢測(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種大口徑非球面輪廓加工檢測(cè)一體化方法，其特征在于：實(shí)現(xiàn)非球面元件(10)輪廓的高精度測(cè)試加工的特征包括以下步驟：
步驟一：驅(qū)動(dòng)精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)進(jìn)行回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，利用傳感測(cè)量系統(tǒng)(5)對(duì)精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)的工作表面輪廓進(jìn)行測(cè)量，得到精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)的位姿參數(shù)，調(diào)整氣浮工作臺(tái)調(diào)整系統(tǒng)(11)使精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)的臺(tái)面無傾斜；
步驟二：將非球面元件(10)置于精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)上，計(jì)算機(jī)研拋測(cè)量控制系統(tǒng)(12)驅(qū)動(dòng)精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)進(jìn)行回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，由固定在和精密直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)(2)的軸套(8)相連的垂直測(cè)量臂(13)上的徑向傳感系統(tǒng)(14)對(duì)非球面元件(10)的徑向輪廓進(jìn)行檢測(cè)，依據(jù)測(cè)量結(jié)果調(diào)整非球面元件(10)位置使其與精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)同軸放置；
步驟三：精密直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)(2)作一維掃描運(yùn)動(dòng)，傳感測(cè)量系統(tǒng)(5)對(duì)非球面元件(10)進(jìn)行一維掃描測(cè)量，測(cè)得非球面元件(10)在此一維方向上的輪廓信息；精密直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)(2)在一維掃描運(yùn)動(dòng)過程中，其直線運(yùn)動(dòng)誤差由直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)誤差激光監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(4)監(jiān)測(cè)，計(jì)算機(jī)研拋測(cè)量控制系統(tǒng)(12)依據(jù)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)分離、補(bǔ)償精密直線氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)(2)的直線運(yùn)動(dòng)誤差，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的直線掃描運(yùn)動(dòng)，得到非球面元件(10)沿一條母線方向(15)上的輪廓；
步驟四：計(jì)算機(jī)研拋測(cè)量控制系統(tǒng)(12)依據(jù)規(guī)劃的掃描路徑控制精密氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(3)旋轉(zhuǎn)一個(gè)設(shè)定角度；
步驟五：重復(fù)步驟三、四，通過傳感測(cè)量系統(tǒng)(5)得到非球面元件(10)沿多條母線方向上的輪廓值，通過擬合得到非球面元件(10)的整體面形輪廓，實(shí)現(xiàn)非球面元件(10)輪廓的高精度檢測(cè)；
步驟六：計(jì)算機(jī)研拋測(cè)量控制系統(tǒng)(12)依據(jù)測(cè)得的輪廓測(cè)量數(shù)據(jù)和設(shè)定的工藝參數(shù)，控制研拋關(guān)節(jié)臂(7)對(duì)非球面元件(10)進(jìn)行研拋加工，重復(fù)測(cè)量步驟三和步驟四，直至非球面元件滿足設(shè)計(jì)精度要求，完成非球面元件(10)的一體化加工檢測(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大口徑非球面輪廓加工檢測(cè)一體化裝置，其特征還在于：傳感測(cè)量系統(tǒng)(5)包括非接觸式傳感測(cè)量系統(tǒng)或者接觸式傳感測(cè)量系統(tǒng)。