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大口徑非球面輪廓加工檢測(cè)一體化裝置與方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12080464

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本發(fā)明屬于光學(xué)精密測(cè)試、精密加工技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種大口徑精密非球面加工檢測(cè)裝置及其方法,可用于精密光學(xué)系統(tǒng)中大型高精度非球面元件面形的檢測(cè)與加工。技術(shù)背景大口徑高精度非球面光學(xué)元件,在航天相機(jī)、天文望遠(yuǎn)鏡等精密光學(xué)系統(tǒng)中起著極其重要的作用。在非球面加工中,為了滿足非球面的面形和粗糙度的設(shè)計(jì)要求,其一般采用加工-檢測(cè)-再加工-再檢測(cè)等制造工藝,在某種程度上,獲得高精度非球面元件的關(guān)鍵在于能否提供可靠的、行之有效的檢測(cè)技術(shù)來(lái)指導(dǎo)加工,尤其是在大口徑光學(xué)非球面的銑磨和研拋階段,非球面面形的高精度測(cè)量是...
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